Fertigungsprofil Knoten
Prozesskammer
Dokumentierte Fertigungskapazität
Eine abgedichtete Kammer in Wafer-Fertigungsanlagen, in der Halbleiterherstellungsprozesse wie Abscheidung, Ätzen oder thermische Behandlung unter kontrollierten Bedingungen ablaufen.
URN
URN:CNFX:NODE:HTC-VACUUM:PROCESS_CHAMBER