Sense-Elektroden, auch als Kammantriebe oder ineinandergreifende Finger bekannt, sind mikroelektromechanische Systeme (MEMS) in 3-Achsen-Gyroskopen.
Sense-Elektroden, auch als Kammantriebe oder ineinandergreifende Finger bekannt, sind mikroelektromechanische Systeme (MEMS) in 3-Achsen-Gyroskopen. Sie bilden variable Kondensatoren, die die durch Coriolis-Kräfte induzierte Bewegung zwischen stationären (Stator) und beweglichen (Rotor) Kammfingern erfassen. Wenn sich das Gyroskop dreht, verschiebt die Coriolis-Kraft die Prüfmasse, wodurch sich die Kapazität zwischen den Kammfingern ändert, die in elektrische Signale umgewandelt wird, die proportional zur Winkelgeschwindigkeit sind. Funktioniert nach dem kapazitiven Messprinzip. Stationäre Kammfinger sind auf dem Substrat fixiert, während bewegliche Finger an einer Prüfmasse befestigt sind, die über Federn aufgehängt ist. Während der Rotation verursacht die Coriolis-Beschleunigung eine Schwingung der Prüfmasse senkrecht zur Antriebsrichtung, wodurch sich die Überlappungsfläche oder der Spalt zwischen den Kammfingern ändert und somit die Kapazität moduliert wird. Diese Kapazitätsänderung wird durch integrierte Schaltungen gemessen, um die Winkelgeschwindigkeit zu berechnen.
Gebräuchliche Handelsnamen, technische Kennungen und Suchbegriffe für Sense-Elektroden/Kämme.
Diese Komponente wird in den folgenden Industrieprodukten eingesetzt.
Ursache → Fehlermodus → Engineering-Massnahme
Relevante Herstellerprofile aus der CNFX-Komponentenfähigkeitstabelle.
Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.
Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.
Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.
Antriebselektroden erzeugen eine kontrollierte Schwingung der Prüfmasse, während Sense-Elektroden die durch Coriolis induzierte Verschiebung erfassen. Beide verwenden Kammstrukturen, haben aber unterschiedliche Funktionen im Gyroskopbetrieb.
Silizium bietet hervorragende mechanische Eigenschaften (hoher Elastizitätsmodul, geringe innere Reibung), Kompatibilität mit IC-Fertigungsprozessen und gute elektrische Leitfähigkeit bei Dotierung, was es ideal für MEMS-Strukturen macht.
CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.
Informationen zu Einsatzbereich, Spezifikationsgrenzen, Lieferantentypen und RFQ-Vorbereitung anfragen.
Herstellerprofile mit passender Bearbeitungs- oder Montagefähigkeit vergleichen.