Strukturierte Komponentendaten · 2026

Substrat/Scheibenkörper

Präzisionsgefertigtes Metallbauteil als Träger für Sputtertargets in PVD-Beschichtungsanlagen.

Technische Definition und Einsatzkontext
Ein typisches Substrat/Scheibenkörper wird in Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen nach Material, Toleranz, Montage- und Anwendungskompatibilität sowie Ausfallrisiko bewertet.

Der Substrat/Scheibenkörper ist ein präzisionsgefertigtes Metallbauteil, das als Rückgrat von Anodenscheiben-/Target-Baugruppen in PVD-Beschichtungsanlagen dient. Er fungiert als Montageplattform für Sputtertarget-Materialien (typischerweise Metalle oder Keramiken) und gewährleistet eine effiziente Wärmeableitung während Hochleistungs-Beschichtungsprozessen. Dieses Bauteil behält seine Maßhaltigkeit unter thermischen Wechselbelastungen und mechanischen Spannungen bei und bietet eine zuverlässige elektrische Verbindung. Der Substrat/Scheibenkörper funktioniert nach den Prinzipien der Wärmeleitung und mechanischen Unterstützung. Während des Sputterns leitet er Wärme vom Targetmaterial durch seine konstruierte Geometrie und Materialeigenschaften ab und verhindert so ein thermisches Durchgehen. Seine ebene Oberfläche gewährleistet eine gleichmäßige Verbindung des Targetmaterials, während seine strukturelle Integrität die Kompatibilität mit der Vakuumdichtung in der Beschichtungskammer aufrechterhält.

Komponentenspezifikationen

Definition
Der Substrat/Scheibenkörper ist ein präzisionsgefertigtes Metallbauteil, das als Rückgrat von Anodenscheiben-/Target-Baugruppen in PVD-Beschichtungsanlagen dient. Er fungiert als Montageplattform für Sputtertarget-Materialien (typischerweise Metalle oder Keramiken) und gewährleistet eine effiziente Wärmeableitung während Hochleistungs-Beschichtungsprozessen. Dieses Bauteil behält seine Maßhaltigkeit unter thermischen Wechselbelastungen und mechanischen Spannungen bei und bietet eine zuverlässige elektrische Verbindung.

Der Substrat/Scheibenkörper funktioniert nach den Prinzipien der Wärmeleitung und mechanischen Unterstützung. Während des Sputterns leitet er Wärme vom Targetmaterial durch seine konstruierte Geometrie und Materialeigenschaften ab und verhindert so ein thermisches Durchgehen. Seine ebene Oberfläche gewährleistet eine gleichmäßige Verbindung des Targetmaterials, während seine strukturelle Integrität die Kompatibilität mit der Vakuumdichtung in der Beschichtungskammer aufrechterhält.
Funktionsprinzip
Das Substrat/Scheibenkörper arbeitet nach den Prinzipien der Wärmeleitung und mechanischen Unterstützung. Beim Sputtern leitet es Wärme vom Targetmaterial durch seine konstruierte Geometrie und Materialeigenschaften ab und verhindert so ein thermisches Durchgehen. Seine flache Oberfläche gewährleistet eine gleichmäßige Bindung des Targetmaterials, während seine strukturelle Integrität die Vakuumdichtheitskompatibilität in der Abscheidungskammer aufrechterhält.
Materialien
Hochreines sauerstofffreies Kupfer (C10100/C10200)Aluminiumlegierungen (6061-T6) oder Edelstahl (316L) mit einer Wärmeleitfähigkeit >200 W/m·K. Kupfervarianten umfassen oft diffusionsgebundene Trägerplatten für eine verbesserte Verbindung.
Durchmesser
100-500mm
Ebenheit
<0.05mm
Dicke
10-50mm
Oberflächenrauheit
Ra < 0.8μm
Wärmeleitfähigkeit
>200W/m·K
Wasserkühlkanäle
Standard
Maximale Betriebstemperatur
300°C
Normen
ASTM B152SEMI F47

Branchentaxonomie & Aliasse

Gebräuchliche Handelsnamen, technische Kennungen und Suchbegriffe für Substrat/Scheibenkörper.

Übergeordnete Produkte

Diese Komponente wird in den folgenden Industrieprodukten eingesetzt.

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Massnahme

Unzureichender Kühlmittelfluss->Überhitzung des Targets und vorzeitiger Ausfall->Implementierung von Durchflusssensoren und thermischer Überwachung mit automatischen Abschaltprotokollen
Schlechte Oberflächenvorbereitung->Bindungsfehler des Targetmaterials->Standardisierung der Oberflächenreinigungsverfahren und Implementierung von Bindungsfestigkeitstests
Materialverunreinigungen->Reduzierte Wärmeleitfähigkeit und Ausgasung->Beschaffung von Materialien von zertifizierten Lieferanten mit Materialrückverfolgbarkeit

Industrielles Ökosystem und technische Bewertung

Montage- und Anwendungskompatibilität
Dieser Substrat/Scheibenkörper ist für DC/RF-Magnetronsputtersysteme, Rotationskathodensysteme und planare Magnetronquellen ausgelegt. Vor der Bestellung überprüfen Sie bitte die Anforderungen an Durchmesser, Ebenheit und Wärmeleitfähigkeit und stellen Sie die Kompatibilität mit Ihrer Sputterausrüstung sicher.
Engineering-Risiken
  • Thermospannungsrisse
  • Delamination des Targetmaterials
  • Korrosion der Kühlkanäle
  • Lichtbogenbildung an Grenzflächen

Konformität und Prüfung

Toleranz
±0,1 mm Abmessung, ±0,05° Ebenheit
Prüfverfahren
Helium-Lecktest (<1×10⁻⁹ mbar·L/s), thermische Zyklen (100 Zyklen), Ultraschall-Bindungstest

Hersteller für diese Komponente

Relevante Herstellerprofile aus der CNFX-Komponentenfähigkeitstabelle.

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

Verwandte Komponenten

Häufige Fragen

Was ist die Hauptfunktion des Substrat/Scheibenkörpers?

Er bietet strukturelle Unterstützung für das Sputtertargetmaterial und leitet die während des PVD-Prozesses erzeugte Wärme effizient ab, um eine Targetdegradation zu verhindern.

Warum wird für diese Komponente üblicherweise Kupfer verwendet?

Kupfer bietet eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit (>400 W/m·K) und gute Bearbeitbarkeit, was es ideal für die Wärmeableitung in Hochleistungs-Sputteranwendungen macht.

Wie beeinflusst diese Komponente die Beschichtungsqualität?

Ein ordnungsgemäßes Wärmemanagement durch den Substrat/Scheibenkörper gewährleistet konsistente Targetabtragsraten, was zu gleichmäßiger Schichtdicke und verbesserter Haftung der Beschichtung führt.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Component Index · Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.

Beschaffungsinformationen anfragen für Substrat/Scheibenkörper

Informationen zu Einsatzbereich, Spezifikationsgrenzen, Lieferantentypen und RFQ-Vorbereitung anfragen.

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URN:CNFX:ME:UNIT:SUBSTRATE_DISC_BODY
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