Präzisionsgefertigtes Metallbauteil als Träger für Sputtertargets in PVD-Beschichtungsanlagen.
Der Substrat/Scheibenkörper ist ein präzisionsgefertigtes Metallbauteil, das als Rückgrat von Anodenscheiben-/Target-Baugruppen in PVD-Beschichtungsanlagen dient. Er fungiert als Montageplattform für Sputtertarget-Materialien (typischerweise Metalle oder Keramiken) und gewährleistet eine effiziente Wärmeableitung während Hochleistungs-Beschichtungsprozessen. Dieses Bauteil behält seine Maßhaltigkeit unter thermischen Wechselbelastungen und mechanischen Spannungen bei und bietet eine zuverlässige elektrische Verbindung. Der Substrat/Scheibenkörper funktioniert nach den Prinzipien der Wärmeleitung und mechanischen Unterstützung. Während des Sputterns leitet er Wärme vom Targetmaterial durch seine konstruierte Geometrie und Materialeigenschaften ab und verhindert so ein thermisches Durchgehen. Seine ebene Oberfläche gewährleistet eine gleichmäßige Verbindung des Targetmaterials, während seine strukturelle Integrität die Kompatibilität mit der Vakuumdichtung in der Beschichtungskammer aufrechterhält.
Gebräuchliche Handelsnamen, technische Kennungen und Suchbegriffe für Substrat/Scheibenkörper.
Diese Komponente wird in den folgenden Industrieprodukten eingesetzt.
Ursache → Fehlermodus → Engineering-Massnahme
Relevante Herstellerprofile aus der CNFX-Komponentenfähigkeitstabelle.
Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.
Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.
Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.
Er bietet strukturelle Unterstützung für das Sputtertargetmaterial und leitet die während des PVD-Prozesses erzeugte Wärme effizient ab, um eine Targetdegradation zu verhindern.
Kupfer bietet eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit (>400 W/m·K) und gute Bearbeitbarkeit, was es ideal für die Wärmeableitung in Hochleistungs-Sputteranwendungen macht.
Ein ordnungsgemäßes Wärmemanagement durch den Substrat/Scheibenkörper gewährleistet konsistente Targetabtragsraten, was zu gleichmäßiger Schichtdicke und verbesserter Haftung der Beschichtung führt.
CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.
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