Elektrische Durchführungen

Elektrische Durchführungen sind Komponenten in Vakuumprozesskammern, die die Übertragung von elektrischer Leistung, Signalen und Daten von externen Quellen zu internen Geräten wie Heizungen, Sensoren oder Elektroden ermöglichen, während die Vakuumdichtheit der Kammer erhalten bleibt. Sie verhindern Gasleckagen und Kontamination und gewährleisten stabile Vakuumbedingungen für Prozesse wie Halbleiterfertigung, Dünnschichtabscheidung und Oberflächenanalyse. Diese Durchführungen verwenden hermetische Dichtungstechniken, typischerweise Glas-Metall- oder Keramik-Metall-Dichtungen, um leitfähige Stifte oder Kabel. Das Dichtungsmaterial wird sowohl mit dem Leiter als auch mit dem Kammerflansch verschmolzen, wodurch eine vakuumdichte Barriere entsteht. Die elektrische Isolierung zwischen Leitern und Kammerwand wird durch dielektrische Materialien aufrechterhalten, während die mechanische Festigkeit Druckunterschiede standhält. Übliche Materialien umfassen Edelstahl für Flansche, Kupfer- oder Legierungsleiter, Glas- oder Keramikisolierung und Kovar- oder Nickel-Eisen-Legierungen für angepasste Wärmeausdehnung. Die primäre Spezifikation ist der Flanschdurchmesser oder die Standardgröße, ausgedrückt in Millimetern (z. B. CF oder ISO-K). Für jede Anwendung sind modellspezifische Abmessungen, elektrische Nennwerte und Kompatibilität mit der vorgesehenen Vakuumumgebung mit dem Hersteller oder Lieferanten zu verifizieren. Dieser Verzeichniseintrag dient nur zur Referenz und impliziert keine Zertifizierung oder Konformität.

Elektrische Durchführungen verwenden hermetische Dichtungstechniken, wie Glas-Metall- oder Keramik-Metall-Dichtungen, um leitfähige Stifte oder Kabel. Das Dichtungsmaterial wird sowohl mit dem Leiter als auch mit dem Kammerflansch verschmolzen, wodurch eine vakuumdichte Barriere entsteht. Die elektrische Isolierung zwischen Leitern und Kammerwand wird durch dielektrische Materialien aufrechterhalten, während die mechanische Festigkeit Druckunterschiede standhält.