Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Plasmaquelle im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von HF Leistung bis HF Frequenz eingeordnet.
Ein typisches Plasmaquelle wird durch die Baugruppe aus RF-Anpassungsnetzwerk und Elektrode beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.
Ein Gerät, das Plasma für Halbleiterverarbeitungsanwendungen erzeugt und steuert
Die Plasmaquelle erzeugt Plasma, indem elektromagnetische Energie (HF, Mikrowelle oder Gleichstrom) auf ein Gas in einer Vakuumkammer angewendet wird. Die Energie ionisiert die Gasmoleküle und erzeugt ein reaktives Plasma mit Ionen, Elektronen und neutralen Spezies. Diese Partikel interagieren mit der Halbleiteroberfläche, um Prozesse wie Ätzen, Abscheidung oder Reinigung durchzuführen. Die Quelle steuert Plasmadichte, Gleichmäßigkeit und Energie durch Anpassung von Parametern wie HF-Leistung, Gasflussrate und Kammerdruck. Dies ermöglicht präzise nanoskopische Fertigung.
| Parameter | Typischer Bereich | Hinweise & Auswahlkriterien |
|---|---|---|
| HF Leistung | 300–3000 W | Determines plasma density and etch/deposition rate |
| HF Frequenz | 13.56 MHz | Standard industrial frequency for plasma processingIEC 60063 |
| Gasdurchfluss | 10–500 sccm | Controls plasma chemistry and uniformity |
| Anpassungsimpedanz | 50 Ω | Standard RF system impedanceIEC 60063 |
| Leistungsstabilität | ±1 % | Ensures process repeatability |
| Kühlwasserdurchfluss | 5–20 L/min | Required for thermal management |
| Kühlwassertemperatur | 15–25 °C | Maintains stable operation |
| Betriebstemperatur | 5–40 °C | Ambient temperature range |
| Relative Luftfeuchtigkeit | 20–80 % | Non-condensing |
| Eingangsspannung | 200–240 V AC | Single phaseIEC 60038 |
| Eingangsfrequenz | 50–60 Hz | Auto-switchingIEC 60038 |
| Gewicht | 15–25 kg | Depends on configuration |
| Abmessungen (B×T×H) | 300×400×200 mm | Typical rack-mount size |
Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.
Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme
Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.
Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.
| Betriebsdruck: | 1 mTorr - 10 Torr |
| Durchflussrate: | 10-1000 sccm |
| Betriebstemperatur: | 20-400°C |
Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.
Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.
Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.
Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.
Der Referenz-HF-Leistungsbereich beträgt 300–3000 W, aber der genaue Wert hängt vom Modell und den Prozessanforderungen ab. Verifizieren Sie immer mit dem Hersteller.
Die HF-Frequenz und die Anpassungsimpedanz referenzieren IEC 60063, und die Eingangsspannung und -frequenz referenzieren IEC 60038. Dies sind Beschaffungsreferenzen, keine Zertifizierungen.
Die in den Unterlagen aufgeführten Materialien umfassen Quarz, Aluminium, Edelstahl und Keramik. Spezifische Güten sind nicht aufgeführt und müssen mit dem Lieferanten bestätigt werden.
Der Betriebsdruckbereich beträgt 1,0–1,6 MPa. Dies ist jedoch ein Referenzbereich; bestätigen Sie die tatsächliche Anforderung für Ihre Anwendung mit dem Hersteller.
CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.
Informationen zu Einsatzbereich, Spezifikationsgrenzen, Lieferantentypen und RFQ-Vorbereitung anfragen.
Herstellerprofile mit passender Produkt- und Prozesskompetenz vergleichen.