Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Gasversorgungssystem im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Gasdurchflussbereich bis Durchflussregelgenauigkeit eingeordnet.
Ein typisches Gasversorgungssystem wird durch die Baugruppe aus Massenstromregler und Gaspaneel beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.
Ein Präzisionssystem, das Prozessgase an Halbleiterfertigungsanlagen mit kontrolliertem Durchfluss, Druck und Reinheit liefert.
Das System verwendet Massendurchflussregler (MFCs) zur Regelung der Gasdurchflussraten, Druckregler zur Aufrechterhaltung des Systemdrucks, Ventile zum Umschalten und Isolieren von Gasen, Filter zur Entfernung von Partikeln und spezielle Rohrleitungen (oft aus Edelstahl oder elektropolierten Rohren), um Kontamination zu verhindern. Fortschrittliche Systeme können Gasschränke, Spülsysteme und Sicherheitsverriegelungen umfassen, um gefährliche Gase zu handhaben. Die MFCs messen und steuern den Gasdurchfluss über einen thermischen Sensor und regeln ein Proportionalventil. Druckregler halten den gewünschten Ausgangsdruck aufrecht, indem sie die Öffnung einer Membran oder eines Kolbens einstellen. Filter entfernen Partikel bis zu 0,003 µm. Das gesamte System ist darauf ausgelegt, die Gasreinheit zu erhalten und Lecks zu verhindern, mit einer maximalen Heliumleckrate von 1×10^-9 sccm. Ein ordnungsgemäßer Betrieb erfordert die Einhaltung der spezifizierten Eingangsdruck-, Temperatur- und Feuchtigkeitsbereiche.
| Parameter | Typischer Bereich | Hinweise & Auswahlkriterien |
|---|---|---|
| Gasdurchflussbereich | 0-100 sccm | Pro MFC; mehrere MFCs können für höheren Gesamtdurchfluss zusammengeschaltet werden. |
| Durchflussregelgenauigkeit | ±1% of set point % | Für MFCs; Wiederholbarkeit ±0,2 % vom Messbereichsendwert.SEMI E12 |
| Druckregelbereich | 0-100 psig | Eingangsdruck bis 150 psig; Ausgangssollwert einstellbar. |
| Druckregelgenauigkeit | ±0.5 psig | Für nachgeschaltete Druckregler. |
| Partikelfiltrationsgrad | 0.003 µm | HEPA- oder ULPA-Filter; 99,9999999 % Abscheidung.SEMI E49 |
| Dichtheitsintegrität | 1×10^-9 sccm He | Maximale Helium-Leckrate für das montierte System.SEMI E58 |
| Werkstoffe | 316L stainless steel, electropolished; PTFE, PFA, Kalrez, Viton seals | Medienberührte Teile müssen mit den Prozessgasen kompatibel sein.ASTM A270, SEMI F20 |
| Oberflächengüte (innen) | ≤ 0.25 µm Ra | Elektropolierte Rohre und Komponenten.SEMI F19 |
| Betriebstemperaturbereich | 10-50 °C | Umgebungstemperatur; Gasheizung kann für bestimmte Prozesse erforderlich sein. |
| Maximaler Betriebsdruck | 150 psig | Auslegungsdruck für Gaspaneele und Schränke.ASME B31.3 |
| Anschlussgrößen | 1/4, 3/8, 1/2 Zoll | VCR- oder Face-Seal-Verschraubungen; Rohraußendurchmesser.SEMI E58 |
| Einschaltdauer | Continuous | Für 24/7-Betrieb ausgelegt; Lebensdauer > 10 Jahre. |
| Erforderliche Versorgungen | 24 VDC, 0.5-1.0 MPa N2 purge, 0.5 MPa instrument air | Elektrische und pneumatische Versorgung. |
| Umgebungstemperatur | 10-50 °C | Außerhalb dieses Bereichs: Kondensation oder Dichtungsverschlechterung unter 10 °C; Elastomererweichung über 50 °C. |
| Eingangsdruck | 20-150 psig | Außerhalb dieses Bereichs: Unter 20 psig kann MFC-Unterversorgung auftreten; über 150 psig besteht Risiko von Komponentenschäden. |
| Gasreinheit | ≥ 99.999% (5.0 grade) | Außerhalb dieses Bereichs: Geringere Reinheit kann den Prozess verunreinigen und MFCs beschädigen. |
| Durchflussrate | 0-100 sccm per MFC | Außerhalb dieses Bereichs: Überschreitung des Bereichs führt zu ungenauer Durchflussmessung; unter 2 % vom Messbereichsendwert kann instabil sein. |
| Luftfeuchtigkeit | 0-90% RH non-condensing | Außerhalb dieses Bereichs: Kondensation kann Korrosion und elektrische Kurzschlüsse verursachen. |
Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.
Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme
Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.
Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.
| Betriebsdruck: | 0 bis 100 psig (max. Betriebsdruck), 150 psig (Prüfdruck) |
| Durchflussrate: | 0,1 bis 100 SLM (Standardliter pro Minute) |
| Betriebstemperatur: | -20 °C bis 150 °C |
1 Unternehmen führen dieses Produkt in ihrem eigenen Sortiment. Die Unternehmensangaben stammen von der jeweils eigenen Website; jede Karte nennt die Grundlage der Zuordnung.
Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.
Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.
Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.
Der Durchflussbereich beträgt typischerweise 0-100 sccm pro Massendurchflussregler (MFC). Mehrere MFCs können für höhere Gesamtdurchflussraten zusammengeschaltet werden. Der genaue Bereich hängt vom spezifischen Modell und der Konfiguration ab.
Relevante Normen umfassen SEMI E12 (Durchflussregelgenauigkeit), SEMI E49 (Partikelfiltration), SEMI E58 (Leckintegrität und Anschlussgrößen), SEMI F19 (Oberflächengüte), SEMI F20 (Materialien), ASTM A270 (Rohrleitungen) und ASME B31.3 (Druckrohrleitungen). Diese Normen dienen als Beschaffungsreferenz; die Konformität ist mit dem Hersteller zu verifizieren.
Empfohlene Bedingungen umfassen eine Umgebungstemperatur von 10-50 °C, einen Eingangsdruck von 20-150 psig, eine Gasreinheit von mindestens 99,999% (5.0-Qualität) und eine Luftfeuchtigkeit von 0-90% relativer Luftfeuchtigkeit ohne Kondensation. Ein Betrieb außerhalb dieser Bereiche kann Probleme wie MFC-Unterversorgung, Komponentenschäden oder Kontamination verursachen.
Die Leckintegrität ist als maximale Heliumleckrate von 1×10^-9 sccm für das zusammengebaute System gemäß SEMI E58 spezifiziert. Dies wird durch die Verwendung hochwertiger Dichtungen, elektropolierter Rohre und ordnungsgemäßer Montageverfahren erreicht. Die Verifizierung sollte vom Hersteller oder Lieferanten durchgeführt werden.
CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.
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