Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Massenstromregler

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Massenstromregler im Bereich Maschinen- und Anlagenbau anhand von Durchflussbereich bis Genauigkeit eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Massenstromregler wird durch die Baugruppe aus Sensorrohr/Bypass und Thermofühler beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Ein Präzisionsinstrument, das die Durchflussrate von Gasen in einem Trägergasversorgungssystem misst und regelt.

Vollständige Spezifikationen anzeigen Geeignete Fertigungsquellen prüfen
Massenstromregler in einer industriellen Fertigungsumgebung
Repräsentative Produktabbildung. Aussehen und Spezifikationen mit dem Hersteller bestätigen.

Produktspezifikationen

Technische Details und Fertigungskontext für Massenstromregler

Technische Definition

Dieser Massenstromregler ist eine Komponente für Trägergasversorgungssysteme, die den Massenstrom von Gasen wie Stickstoff, Helium oder Argon präzise misst und regelt. Er ist für die Integration in Analysegeräte oder Prozesskammern vorgesehen und gewährleistet eine konsistente und genaue Gaszufuhr. Diese Stabilität ist entscheidend für die Aufrechterhaltung von Prozessstabilität, Wiederholbarkeit und analytischer Genauigkeit in industriellen und Laboranwendungen. Das Gerät arbeitet nach dem thermischen Prinzip: Ein kleiner Teil des Gasstroms wird durch ein Sensorrohr geleitet, wo der Sensor die durch das strömende Gas verursachte Wärmeübertragung misst, die proportional zum Massenstrom ist. Diese Messung wird mit einem Sollwert verglichen, und ein internes Regelventil wird elektronisch angepasst, um den gewünschten Durchfluss aufrechtzuerhalten. Gehäuse und mediumberührte Teile bestehen aus Edelstahl, mit einem Silizium-Sensorchip. Zu den wichtigsten Parametern gehören: Durchflussbereich 0–100 SLM, Genauigkeit ±1,0 % vom Messbereich, Wiederholbarkeit ±0,2 % vom Messbereich, Ansprechzeit 1–2 Sekunden, Betriebstemperatur -10 bis 50 °C, Versorgungsspannung 24 V DC ±10 %, Leistungsaufnahme ≤4 W, analoge Ausgangs- und Eingangssignale 0–5 V DC, Leckrate ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, Schutzart IP40 (gemäß IEC 60529), mediumberührte Werkstoffe 316L Edelstahl (optional Hastelloy) und Gewicht 1,5–2,0 kg. Diese Werte sind Referenzbereiche und müssen für das spezifische Modell und die Anwendung verifiziert werden. Bestätigen Sie modellspezifische Werte und Normen immer mit dem Hersteller oder Lieferanten vor der Beschaffung oder Verwendung.

Funktionsprinzip

Der Massenstromregler arbeitet nach dem thermischen Prinzip. Ein kleiner Teil des Gasstroms wird durch ein Sensorrohr geleitet. Der Sensor misst die durch das strömende Gas verursachte Wärmeübertragung (Temperaturdifferenz), die proportional zum Massenstrom ist. Diese Messung wird mit einem Sollwert verglichen, und ein internes Regelventil wird elektronisch angepasst, um den gewünschten Durchfluss aufrechtzuerhalten. Das Gerät benötigt eine stabile Stromversorgung und eine ordnungsgemäße Installation, um einen genauen Betrieb zu gewährleisten.

Hauptmaterialien

Edelstahl (Gehäuse & benetzte Teile), Silizium (Sensorchip)
Technische Parameter
ParameterTypischer BereichHinweise & Auswahlkriterien
Durchflussbereich0–100 SLMStandard range; other ranges available on request
Genauigkeit±1.0 % FSFull scale accuracy at calibration conditions
Wiederholbarkeit±0.2 % FSUnder constant conditions
Ansprechzeit1–2 sTo within 2% of setpoint
Betriebstemperatur-10–50 °CFor electronics; sensor may have wider range
Versorgungsspannung24 ±10% V DCVerpolungsgeschützt
Leistungsaufnahme≤4 WAt nominal supply voltage
Analoger Ausgang0–5 V DCLinear with flow rate
Analoger Eingang0–5 V DCSetpoint control signal
Leckrate≤1×10⁻⁹ Pa·m³/sHelium leak test
SchutzartIP40Indoor use onlyIEC 60529
Medienberührte Materialien316LStainless steel; optional HastelloyASTM A276
Gewicht1.5–2.0 kgDepending on fittings

Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.

Komponenten / BOM
  • Sensorrohr/Bypass
    Leitet einen kleinen, bekannten Teil des Hauptgasstroms zur thermischen Messung ab.
    Material: Edelstahl oder Spezialglas
  • Thermofühler
    Misst die Temperaturdifferenz, die durch den Gasfluss verursacht wird, um die Massenstromrate zu bestimmen.
    Material: Dünnschicht-Platin oder Silizium
  • Steuerventil
    Regelt den Gasfluss basierend auf dem Sensorsignal, um den Sollwert zu erreichen.
    Material: Edelstahl, Elastomer (Dichtungen)
  • Elektronik/Steuerung
    Verarbeitet Sensorsignale, vergleicht mit Sollwert und steuert das Stellventil.
    Material: Leiterplatte, elektronische Bauteile

Anwendung und Auswahl

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Betriebsdruck:Bis zu 100 bar (typisch), 150 bar (Hochdruckmodelle)
Durchflussrate:0-10 sccm bis 0-500 slm (Standardbereiche), kundenspezifische Bereiche verfügbar
Betriebstemperatur:-20 °C bis 70 °C (Betrieb), -40 °C bis 85 °C (Lagerung)
Montage- und Anwendungskompatibilität
Saubere, trockene Gase (N2, O2, Ar)Korrosive Gase mit benetzten Teilen aus Hastelloy C-276Reaktive Gase mit Oberflächenpassivierung (z.B. NF3, Cl2)
Nicht geeignet: Partikelbeladene Gase oder Suspensionen (verursachen Sensorverstopfung und Drift)
Auslegungsdaten
  • Erforderlicher Durchflussbereich (Minimum und Maximum)
  • Prozessgaszusammensetzung und -reinheit
  • Betriebsdruck- und Temperaturbedingungen
Ergänzende technische Angaben

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
0-100 sccm bei 0-100 psig Einlassdruck, 10-40 °C Umgebungstemperatur
Belastungs- und Ausfallgrenzen
Durchflussgenauigkeitsverschlechterung über ±0,8 % des Endwertes bei 25 °C oder Ansprechzeit über 2 Sekunden für 10-90 % Sprungänderung
Thermische Ausdehnungsdifferenz zwischen Sensor-Kapillarrohr (Edelstahl 316L, CTE 16,0 µm/m·K) und Gehäuse (Aluminium 6061, CTE 23,6 µm/m·K), die einen Nullpunkt-Drift über die Spezifikation von 0,05 %/°C verursacht
Fertigungskontext
Massenstromregler wird innerhalb von Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Risiken, Wartung und Normen

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Sensor-Drift
Ursache: Verschmutzung der thermischen Sensorelemente durch Prozessgase oder Partikel, die zu ungenauen Durchflussmesswerten führt.
Ventilklemmung oder Leckage
Ursache: Verschleiß des Ventilsitzes oder der Dichtung aufgrund von Partikelabrieb, chemischer Korrosion oder thermischer Zyklen, was zu einem Ausfall der Durchflussregelung führt.
Wartungsindikatoren
  • Hörbares Zischen oder unregelmäßiges Strömungsgeräusch, das auf Ventilleckage oder Verstopfung hinweist.
  • Sichtbare Verschmutzung oder Verfärbung am Sensor oder Ventilbaugruppe, die auf Prozessflüssigkeitseintritt oder Degradation hindeutet.
Technische Hinweise
  • Implementieren Sie regelmäßige Kalibrierungen mit zertifizierten Standards, um Sensor-Drift frühzeitig zu erkennen und zu korrigieren.
  • Verwenden Sie hochreine Filter vorgeschaltet und stellen Sie eine saubere, trockene Instrumentenluft-/Gasversorgung sicher, um Partikel- und Feuchtigkeitsschäden zu verhindern.

Konformität und Fertigungsnormen

Referenznormen
ISO 5167-1:2022 Messung des Durchflusses von Fluiden mit DifferenzdruckgerätenANSI/ISA-75.05.01-2000 Gleichungen zur Auslegung von RegelventilenDIN EN 60534-2-1 Stellventile für die Prozessregelung - Durchflussfähigkeit
Fertigungsgenauigkeit
  • Durchflussgenauigkeit: +/-0,5 % des Endwertes
  • Wiederholbarkeit: +/-0,1 % des Endwertes
Qualitätsprüfung
  • Dichtheitsprüfung bei 150 % des maximalen Betriebsdrucks
  • Kalibrierungsverifizierung gegen NIST-rückführbare Standards
Fehleranalyse

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Partikelverschmutzung über 0,3 µm im Prozessgasstrom → Verstopfung der Durchflusssensor-Düse, die zu einer 15 %igen Durchflussratenabweichung führt → Einbau eines 0,1 µm absolut bewerteten Gasfilters mit Differenzdrucküberwachung bei 0,5 psi Alarmgrenzwert
Kondensatbildung aufgrund eines Gastauppunkts, der die Umgebungstemperatur um 3 °C übersteigt → Korrosion des Coriolis-Sensorrohrs mit 0,1 mm/Jahr Rate, die einen Massendurchfluss-Messfehler von 2,5 % verursacht → Implementierung eines Gasvorwärmungssystems, das 5 °C über dem Taupunkt mit PID-Regelung bei ±0,5 °C Genauigkeit hält

Beschaffungscheckliste

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Prüfen Sie diese Unterlagen vor einer Bestellung.

Technische Dokumentation
Aktuelle Zeichnungen, Revisionsstand und Spezifikationsblatt anfordern.
Fertigungsfähigkeit
Anlagen, Prozessgrenzen und nachvollziehbare Fertigungsbelege prüfen.
Prüfbarkeit
Prüfmethoden, Messmittel und rückverfolgbare Prüfberichte bestätigen.
Lieferantentransparenz
Rechtsträger, Standort, Zertifikatsumfang und direkte Kontakte prüfen.

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

Hersteller von Massenstromregler

4 Unternehmen führen dieses Produkt in ihrem eigenen Sortiment. Die Unternehmensangaben stammen von der jeweils eigenen Website; jede Karte nennt die Grundlage der Zuordnung.

Dalian Zero Instrument Technology Co., Ltd.
Dalian · CN
Fertigt außerdem: Pressure Gauge/Sensor、Force Sensor、Level Controller und 2 weitere
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Coriolis mass flow controller”
Quellseite ansehen ↗ zeroinstrument.com · geprüft am 2026-09-08
Profil ansehen Anfrage senden
Shanghai Cixi Instrument Co., Ltd.
· CN
Fertigt außerdem: Level Transmitter、Flow Controller、Vacuum Gauge und 9 weitere
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Gas-mass-flow-controller”
Quellseite ansehen ↗ cixifm.com · geprüft am 2026-09-17
Profil ansehen Anfrage senden
Shanghai Ziasiot Technology
· CN
Fertigt außerdem: Signal Processor、Pressure Gauge/Sensor、Water Level Sensor und 9 weitere
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Mass Flow Controller”
Quellseite ansehen ↗ ziasiot.com · geprüft am 2026-08-26
Profil ansehen Anfrage senden
Silver Automation Instruments
Nanjing · CN
Fertigt außerdem: Pressure Gauge/Sensor、Level Transmitter、Flow Meter und 9 weitere
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Digital mass flow controllers”
Quellseite ansehen ↗ silverinstruments.com · geprüft am 2026-09-17
Profil ansehen Anfrage senden

Vergleichen Sie Produktumfang und Quellenangaben. Nennen Sie bei Ihrer Anfrage Spezifikationen, Menge und Liefertermin.

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Beschaffungsinformationen anfragenfür Massenstromregler

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Häufige Fragen

Was ist das Funktionsprinzip dieses Massenstromreglers?

Er verwendet das thermische Prinzip: Ein Teil des Gases strömt durch ein Sensorrohr, und die Wärmeübertragung wird gemessen, um den Massenstrom zu bestimmen. Der Regler passt ein internes Ventil an, um den Sollwert zu erreichen.

Was sind die typischen Durchfluss- und Genauigkeitsspezifikationen?

Der Standard-Durchflussbereich beträgt 0–100 SLM, mit einer Genauigkeit von ±1,0 % vom Messbereich und einer Wiederholbarkeit von ±0,2 % vom Messbereich. Dies sind Referenzwerte; bestätigen Sie diese für Ihr spezifisches Modell.

Welche Materialien werden verwendet?

Gehäuse und mediumberührte Teile bestehen aus Edelstahl (316L), mit einem Silizium-Sensorchip. Optional ist Hastelloy für mediumberührte Teile erhältlich. Verifizieren Sie die Materialkompatibilität für Ihr Gas und Ihre Anwendung.

Was sind die elektrischen und umgebungsbezogenen Anforderungen?

Die Versorgungsspannung beträgt 24 V DC ±10 %, die Leistungsaufnahme ≤4 W, und die analogen Signale sind 0–5 V DC. Die Betriebstemperatur liegt bei -10 bis 50 °C, und die Schutzart ist IP40. Nur für Innenräume geeignet.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.11 · Maschinen- und Anlagenbau

Zugehörige Ausrüstung

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Trägergasversorgungssystem
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Gasversorgungssystem
Integrationsdetails ansehen

Industrielles Ökosystem und Lieferkette

Ergänzende Systeme
Nachgelagerte Anwendungen
Spezialwerkzeuge

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Massenstromregler Trägergas thermisches Prinzip Durchflussregelung industrielle Komponente

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.

Zusammengestellt und quellengeprüft vom CNFX-Redaktionsteam. Jeder Hersteller oben verweist auf die Seite der firmeneigenen Website, auf der das Produkt aufgeführt ist, mit dem Datum unserer Prüfung.Quellen und Prüfung · Seite aktualisiert am 2026-10-13

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