Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Massenstromregler

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Massenstromregler im Bereich Maschinen- und Anlagenbau anhand von Standardkonfiguration bis Schwerlastanforderung eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Massenstromregler wird durch die Baugruppe aus Sensorrohr/Bypass und Thermofühler beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Ein Präzisionsinstrument, das den Durchfluss von Gasen in einem Trägergasversorgungssystem misst und regelt.

Technische Definition

Eine kritische Komponente innerhalb des Trägergasversorgungssystems, die den Massenstrom von Trägergasen (wie Stickstoff, Helium oder Argon) zu Analysegeräten oder Prozesskammern präzise misst und reguliert. Es gewährleistet eine konstante und genaue Gaszufuhr, die für die Aufrechterhaltung der Prozessstabilität, Wiederholbarkeit und Analysegenauigkeit in verschiedenen industriellen und Laboranwendungen unerlässlich ist.

Funktionsprinzip

Typischerweise arbeitet es nach dem thermischen Prinzip: Ein kleiner Teil des Gasstroms wird durch ein Sensorrohr umgeleitet. Der Sensor misst den durch das strömende Gas verursachten Wärmeübergang (Temperaturdifferenz), der proportional zum Massenstrom ist. Diese Messung wird mit einem Sollwert verglichen, und ein internes Regelventil wird elektronisch nachgeregelt, um den gewünschten Durchfluss aufrechtzuerhalten.

Hauptmaterialien

Edelstahl (Gehäuse & benetzte Teile) Silizium (Sensorchip)

Komponenten / BOM

Leitet einen kleinen, bekannten Teil des Hauptgasstroms zur thermischen Messung ab.
Material: Edelstahl oder Spezialglas
Misst die Temperaturdifferenz, die durch den Gasfluss verursacht wird, um die Massenstromrate zu bestimmen.
Material: Dünnschicht-Platin oder Silizium
Regelt den Gasfluss basierend auf dem Sensorsignal, um den Sollwert zu erreichen.
Material: Edelstahl, Elastomer (Dichtungen)
Verarbeitet Sensorsignale, vergleicht mit Sollwert und steuert das Stellventil.
Material: Leiterplatte, elektronische Bauteile

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Partikelverschmutzung über 0,3 µm im Prozessgasstrom Verstopfung der Durchflusssensor-Düse, die zu einer 15 %igen Durchflussratenabweichung führt Einbau eines 0,1 µm absolut bewerteten Gasfilters mit Differenzdrucküberwachung bei 0,5 psi Alarmgrenzwert
Kondensatbildung aufgrund eines Gastauppunkts, der die Umgebungstemperatur um 3 °C übersteigt Korrosion des Coriolis-Sensorrohrs mit 0,1 mm/Jahr Rate, die einen Massendurchfluss-Messfehler von 2,5 % verursacht Implementierung eines Gasvorwärmungssystems, das 5 °C über dem Taupunkt mit PID-Regelung bei ±0,5 °C Genauigkeit hält

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
0-100 sccm bei 0-100 psig Einlassdruck, 10-40 °C Umgebungstemperatur
Belastungs- und Ausfallgrenzen
Durchflussgenauigkeitsverschlechterung über ±0,8 % des Endwertes bei 25 °C oder Ansprechzeit über 2 Sekunden für 10-90 % Sprungänderung
Thermische Ausdehnungsdifferenz zwischen Sensor-Kapillarrohr (Edelstahl 316L, CTE 16,0 µm/m·K) und Gehäuse (Aluminium 6061, CTE 23,6 µm/m·K), die einen Nullpunkt-Drift über die Spezifikation von 0,05 %/°C verursacht
Fertigungskontext
Massenstromregler wird innerhalb von Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Industrielles Ökosystem und Lieferkette

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Traglast:Bis zu 100 bar (typisch), 150 bar (Hochdruckmodelle)
Verstellbereich / Reichweite:0-10 sccm bis 0-500 slm (Standardbereiche), kundenspezifische Bereiche verfügbar
Einsatztemperatur:-20 °C bis 70 °C (Betrieb), -40 °C bis 85 °C (Lagerung)
Montage- und Anwendungskompatibilität
Saubere, trockene Gase (N2, O2, Ar)Korrosive Gase mit benetzten Teilen aus Hastelloy C-276Reaktive Gase mit Oberflächenpassivierung (z.B. NF3, Cl2)
Nicht geeignet: Partikelbeladene Gase oder Suspensionen (verursachen Sensorverstopfung und Drift)
Auslegungsdaten
  • Erforderlicher Durchflussbereich (Minimum und Maximum)
  • Prozessgaszusammensetzung und -reinheit
  • Betriebsdruck- und Temperaturbedingungen

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Sensor-Drift
Cause: Verschmutzung der thermischen Sensorelemente durch Prozessgase oder Partikel, die zu ungenauen Durchflussmesswerten führt.
Ventilklemmung oder Leckage
Cause: Verschleiß des Ventilsitzes oder der Dichtung aufgrund von Partikelabrieb, chemischer Korrosion oder thermischer Zyklen, was zu einem Ausfall der Durchflussregelung führt.
Wartungsindikatoren
  • Hörbares Zischen oder unregelmäßiges Strömungsgeräusch, das auf Ventilleckage oder Verstopfung hinweist.
  • Sichtbare Verschmutzung oder Verfärbung am Sensor oder Ventilbaugruppe, die auf Prozessflüssigkeitseintritt oder Degradation hindeutet.
Technische Hinweise
  • Implementieren Sie regelmäßige Kalibrierungen mit zertifizierten Standards, um Sensor-Drift frühzeitig zu erkennen und zu korrigieren.
  • Verwenden Sie hochreine Filter vorgeschaltet und stellen Sie eine saubere, trockene Instrumentenluft-/Gasversorgung sicher, um Partikel- und Feuchtigkeitsschäden zu verhindern.

Compliance & Manufacturing Standards

Reference Standards
ISO 5167-1:2022 Messung des Durchflusses von Fluiden mit DifferenzdruckgerätenANSI/ISA-75.05.01-2000 Gleichungen zur Auslegung von RegelventilenDIN EN 60534-2-1 Stellventile für die Prozessregelung - Durchflussfähigkeit
Manufacturing Precision
  • Durchflussgenauigkeit: +/-0,5 % des Endwertes
  • Wiederholbarkeit: +/-0,1 % des Endwertes
Quality Inspection
  • Dichtheitsprüfung bei 150 % des maximalen Betriebsdrucks
  • Kalibrierungsverifizierung gegen NIST-rückführbare Standards

Hersteller, die dieses Produkt fertigen

Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

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Häufige Fragen

Welche Materialien werden im Aufbau dieses Massenstromreglers verwendet?

Dieser Massenstromregler verfügt über ein Gehäuse und benetzte Teile aus Edelstahl für Langlebigkeit und Korrosionsbeständigkeit sowie einen Silizium-Sensorchip für präzise Gasdurchflussmessung.

Wie hält dieser Massenstromregler die Genauigkeit bei der Gasdurchflussmessung aufrecht?

Der Regler verwendet ein thermisches Sensorsystem mit Bypass, um Gasdurchflussraten präzise zu messen, mit elektronischen Steuerungen, die das Regelventil kontinuierlich nachstellen, um Ihre gewünschten Durchflussparameter beizubehalten.

Für welche industriellen Anwendungen ist dieser Massenstromregler geeignet?

Dieses Präzisionsinstrument ist ideal für Anwendungen im Maschinen- und Anlagenbau, die eine geregelte Gaszufuhr erfordern, einschließlich Trägergassystemen, Prozesssteuerung und allen Anwendungen, die eine genaue Gaslieferung benötigen.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.05 · Maschinen- und Anlagenbau

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.

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