Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird HF-Leistungsgenerator im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Ausgangsleistung bis Frequenz eingeordnet.
Ein typisches HF-Leistungsgenerator wird durch die Baugruppe aus HF-Oszillator und Leistungsverstärker beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.
Ein Gerät, das hochfrequente elektrische Leistung zur Plasmaerzeugung und -steuerung in Halbleiterfertigungsprozessen erzeugt und liefert.
Der HF-Leistungsgenerator wandelt niederfrequente Wechselspannung in hochfrequente HF-Leistung unter Verwendung von Halbleiter- oder Röhren-Oszillatorschaltungen um. Diese HF-Leistung wird dann über Impedanzanpassungsnetzwerke zu den Elektroden der Prozesskammer übertragen, wo sie Prozessgase ionisiert, um Plasma zu erzeugen. Der Generator hält eine stabile Ausgangsleistung durch Rückkopplungsregelungssysteme aufrecht, die Vorwärts- und reflektierte Leistung überwachen.
| Parameter | Typischer Bereich | Hinweise & Auswahlkriterien |
|---|---|---|
| Ausgangsleistung | 100–1000 W | Selectable to match plasma process requirements |
| Frequenz | 13.56 MHz | Standard RF frequency for plasma processing |
| Frequenzgenauigkeit | ±0.01 % | Ensures stable plasma conditions |
| Ausgangsleistungsstabilität | ±0.5 % | Critical for process repeatability |
| Eingangsspannung | 180–264 V AC | Universal input for global use |
| Eingangsfrequenz | 47–63 Hz | Compatible with mains supplies |
| Effizienz | ≥85 % | Higher efficiency reduces cooling requirements |
| Betriebstemperatur | 0–40 °C | Derate above 40°C |
| Lagertemperatur | -20–70 °C | Non-operational storage |
| Luftfeuchtigkeit | ≤90 % RH | Non-condensing |
| Schutzart | IP54 | Protection against dust and water sprayIEC 60529 |
| Kühlmethode | Air | Forced air cooling |
| Abmessungen (B×H×T) | 440×88×500 mm | 19-inch rack mountable, 2U height |
| Gewicht | ≤15 kg | Lightweight for easy installation |
Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.
Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme
Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.
Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.
| Betriebsdruck: | Atmosphärischer Betrieb, Prozesskammerdruckbereich 500-1000 mTorr |
| Weitere Spezifikationen: | Durchflussrate: 50-500 sccm Prozessgasdurchfluss, Schlammkonzentration: Nicht anwendbar (trockenes Plasmaverfahren), Frequenzbereich: 13,56 MHz oder 2,45 MHz Standard, Leistungsausgang: Typisch 100 W bis 5000 W |
| Betriebstemperatur: | 10 °C bis 40 °C Betriebsumgebung, 0 °C bis 50 °C Lagerung |
1 Unternehmen führen dieses Produkt in ihrem eigenen Sortiment. Die Unternehmensangaben stammen von der jeweils eigenen Website; jede Karte nennt die Grundlage der Zuordnung.
Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.
Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.
Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.
Das Verzeichnis listet einen Ausgangsleistungsbereich von 100–1000 W auf, der an die Plasma-Prozessanforderungen angepasst werden kann. Der genaue Bereich kann jedoch je nach Modell variieren; bitte mit dem Hersteller bestätigen.
Die Standardfrequenz beträgt 13,56 MHz, die üblicherweise für die Plasmaverarbeitung verwendet wird. Andere industrielle Frequenzen können verfügbar sein, aber dieser Wert sollte für das spezifische Modell verifiziert werden.
Der Generator akzeptiert eine Eingangsspannung von 180–264 V AC und eine Eingangsfrequenz von 47–63 Hz, was ihn weltweit mit Netzspannungen kompatibel macht. Überprüfen Sie immer das Typenschild für genaue Nennwerte.
Die IP-Schutzart ist IP54 nach IEC 60529, was Schutz gegen Staub und Spritzwasser bietet. Die Kühlung erfolgt durch Zwangsluft. Diese Spezifikationen sind Referenzwerte und sollten für das tatsächliche Gerät bestätigt werden.
CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.
Informationen zu Einsatzbereich, Spezifikationsgrenzen, Lieferantentypen und RFQ-Vorbereitung anfragen.
Herstellerprofile mit passender Produkt- und Prozesskompetenz vergleichen.