Strukturierte Komponentendaten · 2026

Kammerkörper

Der Kammerkörper ist der primäre Druckbehälter, der die Vakuumumgebung erzeugt und aufrechterhält.

Technische Definition und Einsatzkontext
Ein typisches Kammerkörper wird in Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Toleranz, Montage- und Anwendungskompatibilität sowie Ausfallrisiko bewertet.

Der Kammerkörper ist der primäre Druckbehälter, der die für Prozesse wie Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen, Wärmebehandlung und Halbleiterfertigung erforderliche Vakuumumgebung erzeugt und aufrechterhält. Er bietet strukturelle Integrität, thermische Stabilität und leckdichte Abdichtung für Vakuumbetrieb. Der Kammerkörper funktioniert, indem er eine abgedichtete Umgebung schafft, in der der Innendruck mittels Vakuumpumpen unter den Atmosphärendruck abgesenkt wird. Diese Niederdruckumgebung minimiert Kollisionen von Gasmolekülen und ermöglicht kontrollierte Prozesse wie Materialabscheidung, Oberflächenmodifikation und kontaminationsfreie Fertigung.

Komponentenspezifikationen

Definition
Der Kammerkörper ist der primäre Druckbehälter, der die für Prozesse wie Dünnschichtabscheidung, Plasmaätzen, Wärmebehandlung und Halbleiterfertigung erforderliche Vakuumumgebung erzeugt und aufrechterhält. Er bietet strukturelle Integrität, thermische Stabilität und leckdichte Abdichtung für Vakuumbetrieb.

Der Kammerkörper funktioniert, indem er eine abgedichtete Umgebung schafft, in der der Innendruck mittels Vakuumpumpen unter den Atmosphärendruck abgesenkt wird. Diese Niederdruckumgebung minimiert Kollisionen von Gasmolekülen und ermöglicht kontrollierte Prozesse wie Materialabscheidung, Oberflächenmodifikation und kontaminationsfreie Fertigung.
Funktionsprinzip
The chamber body operates by creating a sealed environment where internal pressure is reduced below atmospheric levels using vacuum pumps. This low-pressure environment minimizes gas molecule collisions, enabling controlled processes like material deposition, surface modification, and contamination-free manufacturing.
Materialien
Edelstahl (304L316L)Aluminiumlegierungen (6061-T6)Titanlegierungen oder spezielle Keramiken für Hochtemperaturanwendungen. Die Materialien werden basierend auf KorrosionsbeständigkeitAusgasungseigenschaftenWärmeleitfähigkeit und Anforderungen an die magnetische Permeabilität ausgewählt.
Leak Rate
< 10^-9 mbar·L/s
Surface Finish
Ra < 0.8 μm
Wall Thickness
10-50 mm
Traglast
10^-3 to 10^-9 Torr
Einsatztemperatur
-196°C to 1200°C
Port Configurations
CF, KF, ISO flanges
Normen
ISO 2861ISO 1609DIN 28400ASME BPVC Section VIII

Branchentaxonomie & Aliasse

Gebräuchliche Handelsnamen, technische Kennungen und Suchbegriffe für Kammerkörper.

Uebergeordnete Produkte

Diese Komponente wird in den folgenden Industrieprodukten eingesetzt.

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Massnahme

Improper flange machining or surface finish->Vacuum leaks leading to process contamination->Implement precision machining standards and regular leak testing protocols
Thermal cycling without proper expansion joints->Cracking or warping of chamber structure->Design with thermal expansion compensation and controlled heating/cooling rates

Industrielles Ökosystem und technische Bewertung

0
Vacuum leaks compromising process quality
1
Thermal stress causing material fatigue
2
Contamination from outgassing materials
3
Structural failure under pressure differentials

Konformität und Prüfung

tolerance
±0.1 mm for sealing surfaces, ±0.5° for angular alignment
test method
Helium leak detection per ASTM E493, pressure testing per ASME BPVC, surface roughness measurement per ISO 4287

Hersteller für diese Komponente

Relevante Herstellerprofile aus der CNFX-Komponentenfähigkeitstabelle.

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

Verwandte Komponenten

Haeufige Fragen

What are the critical design considerations for vacuum chamber bodies?

Key considerations include material selection for minimal outgassing, proper flange design for leak-tight seals, thermal management for process stability, and structural integrity to withstand pressure differentials during evacuation and processing cycles.

How do you maintain vacuum integrity in chamber bodies?

Vacuum integrity is maintained through precision machining of sealing surfaces, proper selection of gasket materials (elastomers or metal seals), thorough cleaning to remove contaminants, and regular leak testing using helium mass spectrometry.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Component Index · Maschinen- und Anlagenbau

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.

Beschaffungsinformationen anfragen für Kammerkörper

Informationen zu Einsatzbereich, Spezifikationsgrenzen, Lieferantentypen und RFQ-Vorbereitung anfragen.

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Fertigung für Kammerkörper?

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Kammerkörper/Gehäuse
URN:CNFX:ME:UNIT:CHAMBER_BODY