Strukturierte Komponentendaten · 2026

Chamber Body

Main structural housing for vacuum processing chambers in industrial applications

Technische Definition und Einsatzkontext
Ein typisches Chamber Body wird in Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Toleranz, Montage- und Anwendungskompatibilität sowie Ausfallrisiko bewertet.

The chamber body is the primary pressure vessel that creates and maintains the vacuum environment required for processes like thin-film deposition, plasma etching, heat treatment, and semiconductor manufacturing. It provides structural integrity, thermal stability, and leak-tight containment for vacuum operations.

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Komponentenspezifikationen

Definition
The chamber body is the primary pressure vessel that creates and maintains the vacuum environment required for processes like thin-film deposition, plasma etching, heat treatment, and semiconductor manufacturing. It provides structural integrity, thermal stability, and leak-tight containment for vacuum operations.
Funktionsprinzip
The chamber body operates by creating a sealed environment where internal pressure is reduced below atmospheric levels using vacuum pumps. This low-pressure environment minimizes gas molecule collisions, enabling controlled processes like material deposition, surface modification, and contamination-free manufacturing.
Materialien
Stainless steel (304L316L)aluminum alloys (6061-T6)titanium alloysor specialized ceramics for high-temperature applications. Materials are selected based on corrosion resistanceoutgassing propertiesthermal conductivityand magnetic permeability requirements.
Leak Rate
< 10^-9 mbar·L/s
Surface Finish
Ra < 0.8 μm
Wall Thickness
10-50 mm
Traglast
10^-3 to 10^-9 Torr
Einsatztemperatur
-196°C to 1200°C
Port Configurations
CF, KF, ISO flanges
Normen
ISO 2861ISO 1609DIN 28400ASME BPVC Section VIII

Branchentaxonomie & Aliasse

Gebräuchliche Handelsnamen, technische Kennungen und Suchbegriffe für Chamber Body.

vacuum chamber bodyprocessing chamberpressure vesselsemiconductor equipmentthin-film depositionplasma etching chambervacuum furnaceChamber BodyMaschinen- und Anlagenbau Chamber Body

Uebergeordnete Produkte

Diese Komponente wird in den folgenden Industrieprodukten eingesetzt.

Sammelkammer
Ein spezieller Behälter innerhalb einer Abfallauffangwanne oder eines Abfallbehälters, der dazu dient, gesammelte Abfallstoffe aufzunehmen, zu enthalten und vorübergehend zu lagern.
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Verteilerkammer
Eine Kammer innerhalb eines Sprühverteilers, die Fluid von einem einzelnen Einlass empfängt und gleichmäßig auf mehrere Auslässe verteilt.
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Schwimmerkammer
Eine Kammer, die einen Schwimmer enthält, der sich mit Änderungen des Flüssigkeitsstands bewegt, zur Messung oder Regelung von Flüssigkeitsständen in Tanks oder Behältern.
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Fluidkammer
Der innere Hohlraum in einem Pumpenkopf oder Fluidende, in dem das Fluid während des Pumpzyklus vorübergehend aufgenommen und unter Druck gesetzt wird.
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Hydraulikflüssigkeitskammer
Der abgedichtete Bereich innerhalb eines Dämpfungszylinders, der Hydraulikflüssigkeit enthält und unter Druck setzt, um Kraft zu übertragen und Energie zu absorbieren.
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Ausgangskammer
Der druckbeaufschlagte Luftraum in einem pneumatischen Relais/Verstärker, der das verstärkte Ausgangssignal an nachgeschaltete Komponenten liefert.
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FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Massnahme

Improper flange machining or surface finish->Vacuum leaks leading to process contamination->Implement precision machining standards and regular leak testing protocols
Thermal cycling without proper expansion joints->Cracking or warping of chamber structure->Design with thermal expansion compensation and controlled heating/cooling rates

Industrielles Ökosystem und technische Bewertung

Kompatibel mit
Sputtering SystemsCVD ReactorsPlasma EtchersVacuum FurnacesElectron Microscopes
Austauschteile
Kurt J. LeskerPfeiffer VacuumEdwards VacuumULVACApplied Materials
0
Vacuum leaks compromising process quality
1
Thermal stress causing material fatigue
2
Contamination from outgassing materials
3
Structural failure under pressure differentials

Konformität und Prüfung

tolerance
±0.1 mm for sealing surfaces, ±0.5° for angular alignment
test method
Helium leak detection per ASTM E493, pressure testing per ASME BPVC, surface roughness measurement per ISO 4287

Hersteller für diese Komponente

Relevante Herstellerprofile aus der CNFX-Komponentenfähigkeitstabelle.

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Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

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磨料颗粒
Hard, sharp particles used in grinding wheels for material removal and surface finishing in industrial applications.
磨料入口端口
Abrasive inlet port is a precision component in blast chambers that controls abrasive media entry for surface treatment processes.
研磨层
Abrasive layer is the active surface component of grinding plates that performs material removal through friction and cutting action.
磨料介质/工作面
Abrasive media for surface finishing, polishing, and material removal in industrial applications.
检修盖
A removable cover providing access to internal components of a draft gear housing for maintenance and inspection.
样品室检修门
Access door for sample chambers providing secure entry while maintaining environmental isolation.

Haeufige Fragen

What are the critical design considerations for vacuum chamber bodies?

Key considerations include material selection for minimal outgassing, proper flange design for leak-tight seals, thermal management for process stability, and structural integrity to withstand pressure differentials during evacuation and processing cycles.

How do you maintain vacuum integrity in chamber bodies?

Vacuum integrity is maintained through precision machining of sealing surfaces, proper selection of gasket materials (elastomers or metal seals), thorough cleaning to remove contaminants, and regular leak testing using helium mass spectrometry.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX Industrial Component Index · Maschinen- und Anlagenbau

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
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