Strukturierte Komponentendaten · 2026

Stufenplattform (Oberplatte)

Die Stufenplattform (Oberplatte) ist die starre, präzisionsgefertigte, ebene Komponente, die die obere Fläche eines Präzisionspositioniertisches bildet.

Technische Definition und Einsatzkontext
Ein typisches Stufenplattform (Oberplatte) wird in Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Toleranz, Montage- und Anwendungskompatibilität sowie Ausfallrisiko bewertet.

Die Stufenplattform (Oberplatte) ist die starre, präzisionsgefertigte, ebene Komponente, die die obere Fläche eines Präzisionspositioniertisches bildet. Sie bietet eine stabile Montageschnittstelle für Werkstücke, Vorrichtungen oder Werkzeuge und gewährleistet minimale Durchbiegung und Vibration während hochpräziser linearer oder rotatorischer Bewegungen. Sie ist so konstruiert, dass sie Ebenheit und Parallelität innerhalb von Mikrometertoleranzen einhält, und integriert sich mit dem Antriebsmechanismus des Tisches (wie Kugelgewindetrieben, Linearmotoren oder piezoelektrischen Aktuatoren), um eine kontrollierte Positionierung in X-, Y- oder Z-Achsen zu ermöglichen. Üblich in der Halbleiterfertigung, Mikroskopie und Automatisierung, verfügt sie oft über Montagebohrungen, T-Nuten oder Vakuumkanäle zur sicheren Befestigung. Die Oberplatte fungiert als lasttragende Fläche, die die mechanische Bewegung des Tisches in präzise Positionierung der montierten Gegenstände umsetzt. Sie koppelt kinematisch mit der Basis und dem Antriebssystem des Tisches und behält ihre Steifigkeit bei, um Verformung unter Last zu verhindern. Ihre Ebenheit stellt sicher, dass sich das Werkstück ohne Winkelfehler bewegt, während ihr Material und Design Vibrationen aus externen Quellen oder von Tischaktuatoren dämpfen, wodurch die Positioniergenauigkeit erhalten bleibt.

Komponentenspezifikationen

Definition
Die Stufenplattform (Oberplatte) ist die starre, präzisionsgefertigte, ebene Komponente, die die obere Fläche eines Präzisionspositioniertisches bildet. Sie bietet eine stabile Montageschnittstelle für Werkstücke, Vorrichtungen oder Werkzeuge und gewährleistet minimale Durchbiegung und Vibration während hochpräziser linearer oder rotatorischer Bewegungen. Sie ist so konstruiert, dass sie Ebenheit und Parallelität innerhalb von Mikrometertoleranzen einhält, und integriert sich mit dem Antriebsmechanismus des Tisches (wie Kugelgewindetrieben, Linearmotoren oder piezoelektrischen Aktuatoren), um eine kontrollierte Positionierung in X-, Y- oder Z-Achsen zu ermöglichen. Üblich in der Halbleiterfertigung, Mikroskopie und Automatisierung, verfügt sie oft über Montagebohrungen, T-Nuten oder Vakuumkanäle zur sicheren Befestigung.

Die Oberplatte fungiert als lasttragende Fläche, die die mechanische Bewegung des Tisches in präzise Positionierung der montierten Gegenstände umsetzt. Sie koppelt kinematisch mit der Basis und dem Antriebssystem des Tisches und behält ihre Steifigkeit bei, um Verformung unter Last zu verhindern. Ihre Ebenheit stellt sicher, dass sich das Werkstück ohne Winkelfehler bewegt, während ihr Material und Design Vibrationen aus externen Quellen oder von Tischaktuatoren dämpfen, wodurch die Positioniergenauigkeit erhalten bleibt.
Funktionsprinzip
The top plate functions as the load-bearing surface that translates the stage's mechanical motion into precise positioning of mounted items. It couples kinematically with the stage's base and drive system, maintaining rigidity to prevent deformation under load. Its flatness ensures that the workpiece moves without angular deviation, while its material and design dampen vibrations from external sources or stage actuators, preserving positioning accuracy.
Materialien
Typischerweise Aluminiumlegierung (z.B. 6061-T6 oder 7075-T6) für leichtgewichtige Steifigkeitoder Edelstahl (z.B. 304 oder 316) für höhere Lastkapazität und Korrosionsbeständigkeit. Kann Keramikverbundstoffe oder Granit für ultrahohe Stabilität in metrologischen Anwendungen enthalten. Oberflächenbehandlungen wie Eloxieren (Aluminium) oder Passivieren (Stahl) verbessern die Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit.
Flatness
≤5 μm over 300 mm
Stiffness
≥100 N/μm
Parallelism
≤10 μm
Load Capacity
50-500 kg
Mounting Options
M6 threaded holes, T-slots, vacuum grooves
Oberflächenrauheit Ra
Ra ≤0.8 μm
Thermal Expansion Coefficient
23.6 × 10⁻⁶/°C (aluminum)
Normen
ISO 230-1ISO 10791-1DIN 876DIN 862

Branchentaxonomie & Aliasse

Gebräuchliche Handelsnamen, technische Kennungen und Suchbegriffe für Stufenplattform (Oberplatte).

Übergeordnete Produkte

Diese Komponente wird in den folgenden Industrieprodukten eingesetzt.

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Massnahme

Inadequate flatness due to machining errors or material stress relief->Reduced positioning accuracy and repeatability->Implement post-machining stress relief processes and verify flatness with laser interferometry or coordinate measuring machines (CMM).
Vibration from external sources or stage actuators->Oscillations degrading positional stability->Use damping materials, optimize structural design for stiffness, and isolate the stage from vibration sources.
Thermal expansion from environmental temperature changes->Dimensional changes leading to drift in positioning->Select low-expansion materials, implement temperature control systems, or use thermal compensation algorithms in the stage controller.

Industrielles Ökosystem und technische Bewertung

0
Thermal deformation under temperature fluctuations
1
Vibration-induced positioning errors
2
Wear or corrosion reducing surface integrity
3
Overloading causing permanent deformation
4
Misalignment during installation

Konformität und Prüfung

tolerance
Flatness tolerance ≤5 μm, parallelism ≤10 μm per ISO 230-1 standards for geometric accuracy of machine tools
test method
Flatness tested via laser interferometer or CMM; surface roughness measured with profilometer; load capacity verified through static and dynamic load testing.

Hersteller für diese Komponente

Relevante Herstellerprofile aus der CNFX-Komponentenfähigkeitstabelle.

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

Verwandte Komponenten

Häufige Fragen

What is the primary function of a Stage Platform (Top Plate) in a precision positioning stage?

It provides a stable, flat mounting surface for workpieces or tools, ensuring accurate translation of the stage's motion without introducing errors from deflection or vibration.

How does material choice affect the performance of a top plate?

Aluminum offers lightweight rigidity and good thermal conductivity, while steel provides higher load capacity and durability. Material selection impacts stiffness, thermal stability, and compatibility with specific environments (e.g., cleanrooms or corrosive settings).

What tolerances are critical for a top plate in high-precision applications?

Flatness and parallelism are most critical, typically held within microns, to prevent angular errors during positioning. Surface roughness also affects mounting stability and repeatability.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Component Index · Maschinen- und Anlagenbau

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.

Beschaffungsinformationen anfragen für Stufenplattform (Oberplatte)

Informationen zu Einsatzbereich, Spezifikationsgrenzen, Lieferantentypen und RFQ-Vorbereitung anfragen.

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URN:CNFX:ME:UNIT:STAGE_PLATFORM_TOP_PLATE_