Präzisionspositioniertisch

Der Präzisionspositioniertisch ist eine kritische Komponente eines optischen Oberflächenanalysators und verantwortlich für die präzise Positionierung optischer Elemente (wie Linsen, Spiegel oder der zu prüfenden Probe) mit Submikrometer- oder Nanometergenauigkeit. Er ermöglicht dem Analysator präzise Scans, Messungen und Ausrichtungen, die für die Oberflächentopographieanalyse erforderlich sind, und gewährleistet Wiederholbarkeit und Genauigkeit bei der Datenerfassung. Der Tisch besteht typischerweise aus einem Aluminiumlegierungskörper, Edelstahlführungen und -spindeln sowie keramischen Lagerelementen. Der Standard-XY-Verfahrweg beträgt 100–200 mm, Sonderbereiche sind verfügbar. Die Positioniergenauigkeit beträgt ±0,1 µm unidirektional, die bidirektionale Wiederholbarkeit ±0,05 µm. Die Regelung mit linearem Encoder bietet eine Auflösung von 0,01 µm. Der Tisch unterstützt eine maximale Last von 10–20 kg in horizontaler Ausrichtung, mit einer maximalen Geschwindigkeit von 50–100 mm/s bei voller Last. Über den gesamten Verfahrweg betragen Geradheit und Ebenheit jeweils ±0,5 µm, und Nicken, Rollen und Gieren jeweils ±2 Bogensekunden. Die Betriebstemperatur liegt zwischen 10–40 °C (nicht kondensierend) und die relative Luftfeuchtigkeit zwischen 20–80 % RH (nicht kondensierend). Der Tisch hat eine Schutzart von IP54 gemäß IEC 60529, was Staub- und Spritzwasserschutz bedeutet. Je nach Konfiguration beträgt das Gewicht 15–25 kg. Diese Komponente ist für Anwendungen mit hoher Präzision und Stabilität unerlässlich, wie z. B. Halbleiterinspektion, Messtechnik und Forschung. Bei der Auswahl eines Tisches sollten Sie modellspezifische Werte und Normen mit dem Hersteller oder Lieferanten verifizieren, da die aufgeführten Parameter Referenzbereiche für typische Konfigurationen sind.