Technische Definition
Die Objektivlinse ist eine kritische optische Komponente in einem interferometrischen Optikkopf, die dafür verantwortlich ist, Licht von der Messoberfläche zu sammeln und auf den Detektor des Interferometers zu fokussieren. Sie bestimmt die Auflösung, den Arbeitsabstand und das Sichtfeld des Systems und ermöglicht präzise berührungslose Oberflächenmessungen durch Interferenzmuster. Dieser Verzeichniseintrag umfasst Objektivlinsen, die in der optischen Interferometrie verwendet werden, typischerweise in der Oberflächenmesstechnik, Profilometrie und anderen Präzisionsmessanwendungen. Die Linse ist für sichtbares Licht (400–700 nm) ausgelegt und in Brennweiten von 10 bis 50 mm, numerischen Aperturen von 0,10 bis 0,90 und Arbeitsabständen von 0,5 bis 20 mm erhältlich. Die freie Apertur reicht von 5 bis 30 mm, und die Linse erreicht eine Transmission von mindestens 95% über den angegebenen Wellenlängenbereich. Die Oberflächenebenheit ist als λ/10 (Peak-to-Valley) bei 632,8 nm spezifiziert, und die Oberflächenqualität beträgt 20-10 Scratch-Dig gemäß MIL-PRF-13830B, mit Bezug auf ISO 10110. Der Zentrierfehler ist auf 3 Bogenminuten oder weniger begrenzt. Die Linse arbeitet in einem Temperaturbereich von -40°C bis 85°C und kann zwischen -50°C und 100°C in nicht kondensierender Umgebung gelagert werden. Das Gewicht variiert je nach Größe und Material zwischen 50 und 200 g. Das Montagegewinde ist M25×0,75 gemäß ISO 68-1. Zu den hinterlegten Materialien gehören optisches Glas und Quarzglas. Diese Spezifikationen sind typische Bereiche; tatsächliche Werte müssen für das spezifische Modell und die Anwendung bestätigt werden. Die Objektivlinse ist eine Komponente, kein vollständiges System, und erfordert die Integration in einen interferometrischen Optikkopf. Für die Beschaffung verifizieren Sie modellspezifische Parameter und Normen mit dem rechtlichen Hersteller oder Lieferanten.
Funktionsprinzip
Die Objektivlinse funktioniert, indem sie einfallende Lichtstrahlen bricht und an einem Brennpunkt konvergieren lässt. In interferometrischen Systemen sammelt sie Licht, das von der Zieloberfläche reflektiert wird, und leitet es so, dass es sich mit einem Referenzstrahl überlagert, wodurch Interferenzstreifen entstehen, die Informationen über die Oberflächenhöhe kodieren. Die numerische Apertur und die Brennweite der Linse bestimmen die Auflösung und die Schärfentiefe des Systems. Eine höhere numerische Apertur verbessert die Auflösung, reduziert jedoch die Schärfentiefe, während eine längere Brennweite den Arbeitsabstand vergrößert, aber möglicherweise die Vergrößerung verringert. Die Linse muss korrekt ausgerichtet sein, um den Zentrierfehler zu minimieren, der die Messgenauigkeit beeinflusst. Das Funktionsprinzip beruht auf der Wellennatur des Lichts; jede Abweichung im optischen Pfad aufgrund von Oberflächenmerkmalen verändert das Interferenzmuster und ermöglicht so eine präzise Höhenmessung. Die Linse ist für den Einsatz in kontrollierter Umgebung ausgelegt, und ihre Leistung kann außerhalb des angegebenen Betriebstemperaturbereichs abnehmen. Regelmäßige Inspektion der Oberflächenqualität und Sauberkeit ist unerlässlich, um die Messintegrität zu erhalten.
