Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Transferroboter im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Nutzlast bis Wafergröße eingeordnet.
Ein typisches Transferroboter wird durch die Baugruppe aus Roboterarm und Endeffektor beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.
Automatisiertes Robotersystem für präzises Wafer-Handling und den Transport zwischen Prozessstationen in der Halbleiterfertigung.
Der Transferroboter verwendet mehrachsige Roboterarme mit Endeffektoren (typischerweise Vakuum- oder Kantengreifer), um Wafer aufzunehmen, zu platzieren und zu transportieren. Er wird von speicherprogrammierbaren Steuerungen gesteuert und in Fabrikautomatisierungssysteme integriert, um synchron mit Prozesswerkzeugen zu arbeiten. Der Roboter folgt vordefinierten Pfaden und Sequenzen, um Partikelerzeugung zu minimieren und den Durchsatz zu maximieren. Das Steuerungssystem koordiniert Armbewegungen, Greiferbetätigung und Kommunikation mit anderen Geräten, um präzise Positionierung und Timing zu gewährleisten. Das Design des Roboters umfasst Merkmale zur Reduzierung von Partikelabrieb, wie abgedichtete Gelenke und geeignete Materialien. Das Funktionsprinzip beruht auf Feedback von Sensoren und Encodern, um hohe Wiederholbarkeit zu erreichen. Der Roboter ist für spezifische Wafer-Handling-Aufgaben programmiert, und sein Betrieb ist für Reinraumbedingungen optimiert.
| Parameter | Typischer Bereich | Hinweise & Auswahlkriterien |
|---|---|---|
| Nutzlast | 5–15 kg | Maximum wafer cassette weight |
| Wafergröße | 150–300 mm | Compatible with 6, 8, 12 inch wafersSEMI M1 |
| Wiederholgenauigkeit | ±0.02 mm | Critical for process alignment |
| Maximale Geschwindigkeit | 1.5–3.0 m/s | Higher speed reduces throughput time |
| Betriebstemperatur | 15–35 °C | Cleanroom environment typical |
| Relative Luftfeuchtigkeit | 45–65 % | Non-condensing |
| Schutzart | IP54–IP65 | Dust and water resistanceIEC 60529 |
| Versorgungsspannung | 24 ±10% V DC | Stable power required |
| Leistungsaufnahme | 500–1000 W | Peak during acceleration |
| Stellfläche | 1.2–2.5 m² | Depends on configuration |
| Gewicht | 200–500 kg | Including base and arm |
| Reinraumklasse | ISO 3–5 | Particle emission controlISO 14644-1 |
Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.
Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme
Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.
Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.
| Betriebsdruck: | Atmosphärisch (Reinraumumgebung) |
| Durchflussrate: | Nicht zutreffend für dieses System |
| Betriebstemperatur: | 15-30°C (Reinraumumgebung) |
1 Unternehmen führen dieses Produkt in ihrem eigenen Sortiment. Die Unternehmensangaben stammen von der jeweils eigenen Website; jede Karte nennt die Grundlage der Zuordnung.
Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.
Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.
Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.
Die Nutzlastkapazität liegt typischerweise im Bereich von 5–15 kg, hängt jedoch vom spezifischen Modell und der Konfiguration ab. Verifizieren Sie immer die genaue Kapazität mit dem Hersteller für Ihre Anwendung.
Der Roboter ist kompatibel mit Wafern von 150–300 mm (6, 8 und 12 Zoll) gemäß SEMI M1. Bestätigen Sie jedoch die genaue Wafergrößenkompatibilität für das spezifische Modell.
Der Roboter ist für Reinraumumgebungen mit Reinraumklasse ISO 3–5 gemäß ISO 14644-1 ausgelegt. Verifizieren Sie die tatsächliche Reinraumklasse des Modells, das Sie verwenden möchten.
Wartungssignale umfassen erhöhte Positionierfehler, ungewöhnliche Vibrationen, ungewöhnliche Geräusche oder erhöhte Partikelzahlen. Regelmäßige Kalibrierung und Inspektion werden empfohlen, um eine optimale Leistung zu gewährleisten.
CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.
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