Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Vakuumkammerkörper

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Vakuumkammerkörper im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Innendurchmesser bis Innenhöhe eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Vakuumkammerkörper wird durch die Baugruppe aus Hauptgehäuse und Flansche beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Die Hauptstrukturhülle einer Vakuumkammer, die dazu dient, eine kontrollierte Niederdruckumgebung aufrechtzuerhalten.

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Vakuumkammerkörper in einer industriellen Fertigungsumgebung — Repräsentative Produktabbildung. Aussehen und Spezifikationen mit dem Hersteller bestätigen.

Produktspezifikationen

Technische Details und Fertigungskontext für Vakuumkammerkörper

Technische Definition

Der Vakuumkammerkörper ist die primäre strukturelle Komponente der Präzisions-optischen-Linsenbeschichtungskammer. Er dient als abgedichtetes Gehäuse, das den Beschichtungsprozess beherbergt und die erforderliche Hochvakuumumgebung aufrechterhält, um Kontamination zu verhindern und eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung auf optischen Linsen zu gewährleisten. Seine Integrität ist entscheidend für die Erzielung der präzisen optischen Eigenschaften, die in Hochleistungslinsensystemen erforderlich sind. Der Körper wird typischerweise aus Edelstahlqualitäten wie 304 oder 316L gefertigt, wobei 316L eine bessere Korrosionsbeständigkeit bietet. Zu den wichtigsten Dimensionsparametern gehören ein Innendurchmesser von 300 bis 1200 mm, eine Innenhöhe von 300 bis 1500 mm und eine Wandstärke von 8 bis 30 mm. Das Enddruckvermögen liegt zwischen 1e-3 und 1e-5 Pa, mit einer Leckrate von 1e-9 bis 1e-10 Pa·m³/s, was eine zuverlässige Vakuumdichtung gewährleistet. Die Oberflächenrauheit ist mit Ra 0,4–0,8 μm spezifiziert, um Ausgasung und Partikelkontamination zu minimieren. Der Betriebstemperaturbereich beträgt -20 bis 150 °C, und der Auslegungsdruck für externen Vakuumbetrieb beträgt 0,1–0,5 MPa, unter Bezugnahme auf GB 150. Das Gewicht des Körpers variiert zwischen 50 und 500 kg, was Handhabung und Installation beeinflusst. Diese Werte sind Referenzbereiche des Verzeichnisses und müssen für das spezifische Modell und die Anwendung mit dem rechtlichen Hersteller oder Lieferanten bestätigt werden. Das Design und die Materialauswahl des Körpers sind entscheidend für die Aufrechterhaltung der Vakuumintegrität und die Erzielung der erforderlichen Beschichtungsqualität.

Funktionsprinzip

Der Vakuumkammerkörper bietet eine gasdichte Abdichtung, um das Innenvolumen von der äußeren Atmosphäre zu isolieren. Er ist mit Vakuumpumpen verbunden, die Luft und andere Gase evakuieren und so eine Niederdruckumgebung erzeugen. Dies ermöglicht Prozesse wie physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) oder chemische Gasphasenabscheidung (CVD), um optische Linsen ohne Störung durch atmosphärische Partikel oder reaktive Gase zu beschichten. Die strukturelle Integrität und Oberflächengüte des Körpers sind entscheidend, um das erforderliche Vakuumniveau zu erreichen und aufrechtzuerhalten, und verhindern Lecks und Ausgasung, die den Beschichtungsprozess beeinträchtigen könnten.

Hauptmaterialien

Edelstahl (z.B. 304, 316L)

Technische Parameter

Parameter	Typischer Bereich	Hinweise & Auswahlkriterien
Innendurchmesser	300–1200 mm	Determines the maximum workpiece size.
Innenhöhe	300–1500 mm	Determines the maximum workpiece height.
Wanddicke	8–30 mm	Affects structural strength and weight.
Enddruck	1e-3–1e-5 Pa	Lower pressure requires better seals and surface finish.
Leckrate	1e-9–1e-10 Pa·m³/s	Critical for maintaining vacuum integrity.
Werkstoff	304/316L	316L offers better corrosion resistance.ASTM A240
Oberflächenrauheit	Ra 0.4–0.8 μm	Smoother surfaces reduce outgassing and particle contamination.
Betriebstemperatur	-20–150 °C	Exceeding limits may degrade seals and material properties.
Auslegungsdruck	0.1–0.5 MPa	External pressure rating for vacuum service.GB 150
Gewicht	50–500 kg	Affects handling and installation requirements.

Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.

Komponenten / BOM

Hauptgehäuse
Bildet den primären zylindrischen oder rechteckigen Druckbehälter.
Material: Edelstahl
Flansche
Bereitstellung von Montageflächen zur Abdichtung mit Türen, Sichtfenstern und Anschlussbaugruppen.
Material: Edelstahl
Stützstruktur/Füße
Bietet stabile Montage und Nivellierung für die Kammer auf einem Rahmen oder Boden.
Material: Edelstahl

Anwendung und Auswahl

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen

Betriebsdruck:	Atmosphärendruck bis 10^-9 Torr (ultrahochvakuumfähig)
Weitere Spezifikationen:	Leckrate < 1x10^-9 mbar·L/s, Oberflächenrauheit < 0,8 µm Ra für die Abdichtung
Betriebstemperatur:	-40°C bis 200°C (typisch für Edelstahl, variiert mit Material)

Montage- und Anwendungskompatibilität

Hochreine Gase (Argon, Stickstoff)Plasmaprozesse (Ätzen, Abscheidung)Halbleiterprozesschemikalien (innerhalb der Materialgrenzen)

Nicht geeignet: Flusssäure (HF) oder andere hochkorrosive Halogene ohne spezielle Auskleidung

Auslegungsdaten

Erforderliches Innenvolumen (L oder m³)
Maximaler Betriebsdruckunterschied (atm oder Pa)
Anschluss-/Verbindungsanforderungen (Anzahl, Größe, Flanschtyp)

Ergänzende technische Angaben

Technische Bewertung

Betriebsbereich

1e-6 bis 1e-3 mbar (1e-4 bis 0,1 Pa)

Belastungs- und Ausfallgrenzen

1,0 mbar (100 Pa) Innendruckdifferenz, die 0,5 bar (50 kPa) Außendruck überschreitet

Beulinstabilität aufgrund der Euler-Knicklast, die die Materialstreckgrenze (σ_y ≥ 250 MPa für 316L Edelstahl) bei Druckdifferenz ΔP > 50 kPa überschreitet

Fertigungskontext

Vakuumkammerkörper wird innerhalb von Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Risiken, Wartung und Normen

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache

Vakuumleck

Ursache: Ermüdungsrissbildung an Schweißnähten oder Flanschdichtungen aufgrund von thermischen Zyklen und Druckdifferenzen, oft verstärkt durch unsachgemäße Dichtungsinstallation oder Materialverschlechterung.

Korrosion/Pitting

Ursache: Chemischer Angriff durch Prozessrückstände oder Feuchtigkeitseintritt, insbesondere in Edelstahlkammern, führt zu Wanddünnung und potenziellem Bruch unter Vakuumbelastung.

Wartungsindikatoren

Hörbares Zischen oder Pfeifen während des Abpumpvorgangs, das auf Lufteintritt hinweist
Sichtbare Kondensation oder Frostflecken auf der Kammeraußenseite, die auf thermische Lecks oder schlechte Isolierung hindeuten

Technische Hinweise

Regelmäßige Heliumleckprüfung mit Massenspektrometrie zur Erkennung von Mikrolecks vor deren Eskalation implementieren
Passivierungsbehandlungen auf Innenflächen anwenden und strenge Feuchtigkeitskontrolle im Vakuumsystem zur Verhinderung korrosiver Ablagerungen aufrechterhalten

Konformität und Fertigungsnormen

Referenznormen

ISO 21358:2020 Vakuumtechnik - Vakuummessgeräte - Kalibrierung von MembranvakuummessgerätenANSI/ASTM E595-15 Standardprüfverfahren für Gesamtmassenverlust und gesammelte flüchtige kondensierbare Materialien aus Ausgasung in einer VakuumumgebungDIN 28400-1:2016 Vakuumtechnik - Begriffe und Definitionen - Teil 1: Allgemeine Begriffe

Fertigungsgenauigkeit

Leckrate: <1×10⁻⁹ mbar·L/s
Oberflächenrauheit: Ra ≤ 0,8 µm

Qualitätsprüfung

Heliumlecktest
Restgasanalyse (RGA)

Fehleranalyse

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Zyklische thermische Belastung durch 293K bis 473K Ausheizzyklen → Ermüdungsrissausbreitung an Schweißnähten über 2 mm Länge → Finite-Elemente-Analyse-optimierte Versteifungsrippen mit 5 mm Kehlnähten unter Verwendung von ER316L Zusatzwerkstoff

Heliumpermeationsrate > 1e-9 mbar·L/s durch 10 mm dickes Aluminium 6061-T6 → Druckanstieg auf 5e-4 mbar innerhalb von 24 Stunden, der die Spezifikation für Reinraumklasse 100 verletzt → Doppel-O-Ring-Dichtungsdesign mit 70 Shore A Viton-Dichtungen und Heliumleckdetektion bei 1e-10 mbar·L/s Empfindlichkeit

Beschaffungscheckliste

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Prüfen Sie diese Unterlagen vor einer Bestellung.

Technische Dokumentation

Aktuelle Zeichnungen, Revisionsstand und Spezifikationsblatt anfordern.

Fertigungsfähigkeit

Anlagen, Prozessgrenzen und nachvollziehbare Fertigungsbelege prüfen.

Prüfbarkeit

Prüfmethoden, Messmittel und rückverfolgbare Prüfberichte bestätigen.

Lieferantentransparenz

Rechtsträger, Standort, Zertifikatsumfang und direkte Kontakte prüfen.

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

Hersteller von Vakuumkammerkörper

Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.

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Häufige Fragen

Welche Materialien werden für den Vakuumkammerkörper verwendet?

Der Vakuumkammerkörper wird typischerweise aus Edelstahlqualitäten wie 304 oder 316L hergestellt, wie im Verzeichnis aufgeführt. 316L bietet eine bessere Korrosionsbeständigkeit. Die Materialqualität sollte für die spezifische Anwendung mit dem Hersteller bestätigt werden.

Welchen Enddruck kann der Kammerkörper erreichen?

Der Enddruckbereich liegt zwischen 1e-3 und 1e-5 Pa, abhängig von Design und Abdichtung. Dies ist ein Referenzbereich; der tatsächlich erreichbare Druck muss mit dem Hersteller für das spezifische Modell verifiziert werden.

Wie hält der Kammerkörper ein Vakuum aufrecht?

Der Körper bietet ein gasdichtes Gehäuse, das mit Vakuumpumpen verbunden ist. Die Pumpen evakuieren Luft und Gase und erzeugen so eine Niederdruckumgebung. Die Integrität des Körpers, einschließlich Dichtungen und Oberflächengüte, ist entscheidend, um Lecks zu verhindern und das Vakuum aufrechtzuerhalten.

Welche Schlüsselparameter sind vor dem Kauf zu verifizieren?

Zu den Schlüsselparametern gehören Innendurchmesser, Innenhöhe, Wandstärke, Enddruck, Leckrate, Materialqualität, Oberflächenrauheit, Betriebstemperatur, Auslegungsdruck und Gewicht. Bestätigen Sie diese Werte immer mit dem rechtlichen Hersteller oder Lieferanten für Ihre spezifische Anwendung.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.11 · Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen