Vakuumkammerkörper

Der Vakuumkammerkörper ist die primäre strukturelle Komponente der Präzisions-optischen-Linsenbeschichtungskammer. Er dient als abgedichtetes Gehäuse, das den Beschichtungsprozess beherbergt und die erforderliche Hochvakuumumgebung aufrechterhält, um Kontamination zu verhindern und eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung auf optischen Linsen zu gewährleisten. Seine Integrität ist entscheidend für die Erzielung der präzisen optischen Eigenschaften, die in Hochleistungslinsensystemen erforderlich sind. Der Körper wird typischerweise aus Edelstahlqualitäten wie 304 oder 316L gefertigt, wobei 316L eine bessere Korrosionsbeständigkeit bietet. Zu den wichtigsten Dimensionsparametern gehören ein Innendurchmesser von 300 bis 1200 mm, eine Innenhöhe von 300 bis 1500 mm und eine Wandstärke von 8 bis 30 mm. Das Enddruckvermögen liegt zwischen 1e-3 und 1e-5 Pa, mit einer Leckrate von 1e-9 bis 1e-10 Pa·m³/s, was eine zuverlässige Vakuumdichtung gewährleistet. Die Oberflächenrauheit ist mit Ra 0,4–0,8 μm spezifiziert, um Ausgasung und Partikelkontamination zu minimieren. Der Betriebstemperaturbereich beträgt -20 bis 150 °C, und der Auslegungsdruck für externen Vakuumbetrieb beträgt 0,1–0,5 MPa, unter Bezugnahme auf GB 150. Das Gewicht des Körpers variiert zwischen 50 und 500 kg, was Handhabung und Installation beeinflusst. Diese Werte sind Referenzbereiche des Verzeichnisses und müssen für das spezifische Modell und die Anwendung mit dem rechtlichen Hersteller oder Lieferanten bestätigt werden. Das Design und die Materialauswahl des Körpers sind entscheidend für die Aufrechterhaltung der Vakuumintegrität und die Erzielung der erforderlichen Beschichtungsqualität.