Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Vakuumkammerkörper

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Vakuumkammerkörper im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Standardkonfiguration bis Schwerlastanforderung eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Vakuumkammerkörper wird durch die Baugruppe aus Hauptgehäuse und Flansche beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Das Hauptgehäuse einer Vakuumkammer, das zur Aufrechterhaltung einer kontrollierten Niederdruckumgebung ausgelegt ist.

Technische Definition

Der Vakuumkammerkörper ist das primäre Strukturbauteil der Präzisionsoptik-Linsen-Beschichtungskammer. Er dient als dichtes Gehäuse, das den Beschichtungsprozess beherbergt und die notwendige Hochvakuumumgebung aufrechterhält, um Kontamination zu verhindern und eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung auf optischen Linsen zu gewährleisten. Seine Integrität ist entscheidend für das Erreichen der präzisen optischen Eigenschaften, die in Hochleistungslinsensystemen erforderlich sind.

Funktionsprinzip

Der Körper stellt eine gasdichte Abdichtung bereit, um das innere Volumen von der äußeren Atmosphäre zu isolieren. Er ist mit Vakuumpumpen verbunden, die Luft und andere Gase absaugen und so eine Niederdruckumgebung erzeugen. Dies ermöglicht Prozesse wie physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) oder chemische Gasphasenabscheidung (CVD), um optische Linsen ohne Störung durch atmosphärische Partikel oder reaktive Gase zu beschichten.

Hauptmaterialien

Edelstahl (z.B. 304, 316L)

Komponenten / BOM

Hauptgehäuse
Bildet den primären zylindrischen oder rechteckigen Druckbehälter.
Material: Edelstahl
Flansche
Bereitstellung von Montageflächen zur Abdichtung mit Türen, Sichtfenstern und Anschlussbaugruppen.
Material: Edelstahl
Stützstruktur/Füße
Bietet stabile Montage und Nivellierung für die Kammer auf einem Rahmen oder Boden.
Material: Edelstahl

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Zyklische thermische Belastung durch 293K bis 473K Ausheizzyklen Ermüdungsrissausbreitung an Schweißnähten über 2 mm Länge Finite-Elemente-Analyse-optimierte Versteifungsrippen mit 5 mm Kehlnähten unter Verwendung von ER316L Zusatzwerkstoff
Heliumpermeationsrate > 1e-9 mbar·L/s durch 10 mm dickes Aluminium 6061-T6 Druckanstieg auf 5e-4 mbar innerhalb von 24 Stunden, der die Spezifikation für Reinraumklasse 100 verletzt Doppel-O-Ring-Dichtungsdesign mit 70 Shore A Viton-Dichtungen und Heliumleckdetektion bei 1e-10 mbar·L/s Empfindlichkeit

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
1e-6 bis 1e-3 mbar (1e-4 bis 0,1 Pa)
Belastungs- und Ausfallgrenzen
1,0 mbar (100 Pa) Innendruckdifferenz, die 0,5 bar (50 kPa) Außendruck überschreitet
Beulinstabilität aufgrund der Euler-Knicklast, die die Materialstreckgrenze (σ_y ≥ 250 MPa für 316L Edelstahl) bei Druckdifferenz ΔP > 50 kPa überschreitet
Fertigungskontext
Vakuumkammerkörper wird innerhalb von Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Traglast:Atmosphärendruck bis 10^-9 Torr (ultrahochvakuumfähig)
Verstellbereich / Reichweite:Leckrate < 1x10^-9 mbar·L/s, Oberflächenrauheit < 0,8 µm Ra für die Abdichtung
Einsatztemperatur:-40°C bis 200°C (typisch für Edelstahl, variiert mit Material)
Montage- und Anwendungskompatibilität
Hochreine Gase (Argon, Stickstoff)Plasmaprozesse (Ätzen, Abscheidung)Halbleiterprozesschemikalien (innerhalb der Materialgrenzen)
Nicht geeignet: Flusssäure (HF) oder andere hochkorrosive Halogene ohne spezielle Auskleidung
Auslegungsdaten
  • Erforderliches Innenvolumen (L oder m³)
  • Maximaler Betriebsdruckunterschied (atm oder Pa)
  • Anschluss-/Verbindungsanforderungen (Anzahl, Größe, Flanschtyp)

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Vakuumleck
Cause: Ermüdungsrissbildung an Schweißnähten oder Flanschdichtungen aufgrund von thermischen Zyklen und Druckdifferenzen, oft verstärkt durch unsachgemäße Dichtungsinstallation oder Materialverschlechterung.
Korrosion/Pitting
Cause: Chemischer Angriff durch Prozessrückstände oder Feuchtigkeitseintritt, insbesondere in Edelstahlkammern, führt zu Wanddünnung und potenziellem Bruch unter Vakuumbelastung.
Wartungsindikatoren
  • Hörbares Zischen oder Pfeifen während des Abpumpvorgangs, das auf Lufteintritt hinweist
  • Sichtbare Kondensation oder Frostflecken auf der Kammeraußenseite, die auf thermische Lecks oder schlechte Isolierung hindeuten
Technische Hinweise
  • Regelmäßige Heliumleckprüfung mit Massenspektrometrie zur Erkennung von Mikrolecks vor deren Eskalation implementieren
  • Passivierungsbehandlungen auf Innenflächen anwenden und strenge Feuchtigkeitskontrolle im Vakuumsystem zur Verhinderung korrosiver Ablagerungen aufrechterhalten

Compliance & Manufacturing Standards

Reference Standards
ISO 21358:2020 Vakuumtechnik - Vakuummessgeräte - Kalibrierung von MembranvakuummessgerätenANSI/ASTM E595-15 Standardprüfverfahren für Gesamtmassenverlust und gesammelte flüchtige kondensierbare Materialien aus Ausgasung in einer VakuumumgebungDIN 28400-1:2016 Vakuumtechnik - Begriffe und Definitionen - Teil 1: Allgemeine Begriffe
Manufacturing Precision
  • Leckrate: <1×10⁻⁹ mbar·L/s
  • Oberflächenrauheit: Ra ≤ 0,8 µm
Quality Inspection
  • Heliumlecktest
  • Restgasanalyse (RGA)

Hersteller, die dieses Produkt fertigen

Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

Supply ChainRelated Products and Components

抗静电

A device or system designed to prevent, reduce, or eliminate the buildup of static electricity on surfaces, materials, or components.

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Asset-Tracking-Gerät

Ein elektronisches Gerät, das Ortungstechnologien nutzt, um die Position, den Status und die Bewegung physischer Assets in Echtzeit zu überwachen und aufzuzeichnen.

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Audioverstärker

Elektronische Geräte, die die Leistung von Audiosignalen erhöhen, um Lautsprecher oder andere Ausgangswandler anzusteuern.

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Automatisiertes Computergehäuse-Montagesystem

Industrielles Robotersystem zur automatisierten Montage von Computergehäusen und Verkleidungen.

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Häufige Fragen

Welche Edelstahlgüten werden für Vakuumkammerkörper in der Elektronikfertigung empfohlen?

304 und 316L Edelstahl werden aufgrund ihrer ausgezeichneten Korrosionsbeständigkeit, geringen Ausgasungseigenschaften und Kompatibilität mit Hochvakuumumgebungen häufig für Vakuumkammerkörper in der Elektronikfertigung verwendet.

Wie hält der Vakuumkammerkörper eine kontrollierte Niederdruckumgebung aufrecht?

Der Vakuumkammerkörper bietet ein dichtes Strukturgehäuse, das in Kombination mit Vakuumpumpen und Dichtungskomponenten kontrollierte Niederdruckumgebungen erzeugt und aufrechterhält, die für Prozesse wie Halbleiterfertigung, Optikbeschichtung und Elektronikkomponententests unerlässlich sind.

Welche Hauptkomponenten sind in einer Vakuumkammerkörperbaugruppe enthalten?

Eine vollständige Vakuumkammerkörperbaugruppe umfasst typischerweise das Hauptgehäuse, Flansche für Anschlüsse und Abdichtung sowie eine Stützstruktur/Füße für Stabilität, alle aus hochwertigem Edelstahl für optimale Leistung in Elektronikfertigungsanwendungen gefertigt.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.05 · Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.

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