Sensor Kopf / Rohr

Der Sensorkopf/die Messröhre ist eine kritische Komponente von Vakuummessgeräten, die den aktiven Sensormechanismus beherbergt und die Schnittstelle zwischen der Messelektronik und der Vakuumkammer bildet. Er enthält Elemente wie einen Pirani-Faden, ein Thermoelement oder eine Ionisationsquelle, je nach Messprinzip. Die Hauptfunktion besteht darin, die Vakuumintegrität zu wahren und gleichzeitig druckabhängige Signale genau an die externe Elektronik zu übertragen. Der Sensorkopf/die Messröhre wird aus Materialien wie Edelstahl, Glas oder Keramik hergestellt und ist für Langlebigkeit und Kompatibilität mit verschiedenen Vakuumprozessen ausgelegt. Er ist mit einem Messbereich von 1,0E-5 bis 1,0E+5 Pa, einer Genauigkeit von ±0,25 % vom Messwert und einer Ansprechzeit von ≤10 ms erhältlich. Der Betriebstemperaturbereich liegt bei -20 bis 80 °C, mit einem Berstdruck von ≥2,0 MPa. Der elektrische Anschluss erfolgt über einen M12×1-Steckverbinder gemäß IEC 61076-2-101, die Versorgungsspannung beträgt 24 V DC ±10 %. Das Ausgangssignal ist eine 4-20 mA Zweileiterschleife. Der Schutzgrad beträgt IP65 bis IP67 gemäß IEC 60529. Die medienberührten Teile bestehen aus 316L Edelstahl gemäß ASTM A276, der Prozessanschluss ist G1/2 gemäß ISO 228-1. Das Gewicht liegt zwischen 0,2 und 0,5 kg. Diese Spezifikationen sind typische Referenzwerte; die tatsächlichen Werte müssen mit dem Hersteller für spezifische Modelle und Anwendungen bestätigt werden. Der Sensorkopf/die Messröhre ist für die genaue Druckmessung in Vakuumsystemen unerlässlich und gewährleistet zuverlässige Prozesskontrolle und Sicherheit.

Der Sensorkopf/die Messröhre enthält ein aktives Sensorelement, dessen physikalische Eigenschaften sich als Reaktion auf den Gasdruck ändern. Beispielsweise ändert sich bei einem Pirani-Messgerät der Widerstand eines beheizten Fadens mit der Wärmeleitfähigkeit des Gases, die vom Druck abhängt. Bei einem Thermoelement-Messgerät werden Temperaturänderungen gemessen. Bei einem Ionisations-Messgerät ist der Ionenstrom proportional zum Druck. Diese Änderungen werden in elektrische Signale umgewandelt und an die externe Elektronik übertragen, die den Druck berechnet und anzeigt. Das Design stellt sicher, dass das Sensorelement der Vakuumumgebung ausgesetzt ist, während eine Abdichtung aufrechterhalten wird, um Lecks zu verhindern.