Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Vakuumspannfutter

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Vakuumspannfutter im Bereich Maschinen- und Anlagenbau anhand von Haltekraft bis Vakuumniveau eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Vakuumspannfutter wird durch die Baugruppe aus Vakuumkanäle und Dichtfläche beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Eine Komponente eines beheizten Tisches, die mithilfe von Unterdruck Werkstücke während des Fertigungsprozesses sicher hält.

Technische Definition

Das Vakuumspannfutter ist eine kritische Komponente von beheizten Tischsystemen (Spannfuttern), die in der Präzisionsfertigung eingesetzt werden. Es erzeugt eine Vakuumdichtung gegen die Werkstückoberfläche und bietet so eine sichere, nicht markierende Spannung ohne mechanische Vorrichtungen. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Erwärmung und Verarbeitung von Materialien bei gleichzeitiger präziser Positionierung und Verhinderung von Bewegungen während Prozessen wie der Halbleiterherstellung, der Herstellung optischer Komponenten und der Präzisionsbearbeitung. Das Spannfutter wird typischerweise aus Materialien wie Aluminiumlegierung, Edelstahl oder Keramik hergestellt, die aufgrund ihrer thermischen und mechanischen Eigenschaften ausgewählt werden. Zu den wichtigsten Parametern gehören Haltekraft (0,5–2,5 kN), Vakuumniveau (-80 bis -60 kPa relativ zum Atmosphärendruck), Betriebsdruck (0,4–0,8 MPa), Temperaturbereich (-20 bis 80 °C), Leckrate (≤0,1 Pa·m³/s), Ebenheit (±0,02 mm), Oberflächenrauheit (Ra 0,8–1,6 µm) und Gewicht (5–20 kg). Die Abmessungen reichen von 200×200 mm bis 600×600 mm, Sondergrößen sind verfügbar. Das Spannfutter kann eine IP-Schutzart von IP54–IP65 für Staub- und Wasserschutz aufweisen. Materialspezifikationen wie Aluminium 6061-T6 gemäß ASTM B221 dienen als Referenz. Bitte verifizieren Sie modellspezifische Werte und Normen vor dem Kauf mit dem Hersteller oder Lieferanten.

Funktionsprinzip

Das Vakuumspannfutter funktioniert, indem es einen Druckunterschied zwischen seiner Oberfläche und der Umgebung erzeugt. Wenn es an eine Vakuumquelle angeschlossen wird, wird Luft aus Kanälen oder porösem Material im Spannfutterkörper evakuiert, wodurch ein Sog entsteht, der das Werkstück gegen die Spannfutteroberfläche hält. Dies bietet eine sichere Spannung ohne physische Kontaktpunkte, die die Heizgleichmäßigkeit beeinträchtigen oder empfindliche Materialien beschädigen könnten.

Technische Parameter

Technische Parameter
ParameterTypischer BereichHinweise & Auswahlkriterien
Haltekraft0.5–2.5 kNDepends on vacuum level and surface area
Vakuumniveau-80–-60 kPaRelative to atmospheric pressure
Betriebsdruck0.4–0.8 MPaSupply pressure for vacuum generator
Temperaturbereich-20–80 °CContinuous operation
Leckrate≤0.1 Pa·m³/sAt rated vacuum
Ebenheit±0.02 mmOver entire chuck surface
OberflächenrauheitRa 0.8–1.6 µmFor sealing and workpiece contact
WerkstoffAluminum 6061-T6Corrosion resistant, lightweightASTM B221
Gewicht5–20 kgDepends on size
Abmessungen200×200–600×600 mmCustom sizes available
SchutzartIP54–IP65Dust and water resistanceIEC 60529

Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.

Hauptmaterialien

Aluminiumlegierung Edelstahl Keramik

Komponenten / BOM

Components / BOM
  • Vakuumkanäle
    Gleichmäßige Verteilung des Vakuumdrucks über die Spannfläche
    Material: Gleiches Material wie Spannkörper
  • Dichtfläche
    Bietet luftdichten Kontakt mit dem Werkstück
    Material: Dichtungsmaterial aus Gummi oder Polymer
  • Vakuumanschluss
    Anschlusspunkt für Vakuumschlauch oder -leitung
    Material: Edelstahl- oder Messinganschluss
  • Poröses Material
    Poröser Körper, durch den das Vakuum gezogen wird, anstelle von bearbeiteten Kanälen.

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Partikelkontamination über ISO 4406 16/14/11 am Vakuumanschluss Dichtungsabrasion verursacht Vakuumzerfallsrate >0,5 mbar/min Integriere 5 μm Absolutfilter mit Differenzdrucksensor, der bei 0,2 bar ΔP auslöst
Thermische Zyklen zwischen 20°C und 150°C mit >2°C/min Rate Differentialausdehnung des Aluminiumspannkörpers (α=23,1×10⁻⁶/K) übersteigt Dichtungselastizitätsgrenze Implementiere Nickel-Chrom-Wärmebarrierenbeschichtung mit CTE=12,3×10⁻⁶/K und aktive Temperaturrampensteuerung

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
0,1-0,9 bar Absolutdruck (10-90 kPa)
Belastungs- und Ausfallgrenzen
0,05 bar Absolutdruck (5 kPa) minimales Haltvakuum, 1,2 bar Absolutdruck (120 kPa) Maximum vor Dichtungsverformung
Dichtungskompression über 15% permanente Verformung bei 1,2 bar, Vakuumleckrate über 0,1 mbar·L/s bei 0,05 bar aufgrund von Molekularströmungsregimeübergang
Fertigungskontext
Vakuumspannfutter wird innerhalb von Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Weitere Produktbezeichnungen

Vacuum Plate Suction Chuck

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Betriebsdruck:Bis zu -0,9 bar Vakuum (typisch), 1-2 bar Überdruck für Spülung/Reinigung
Durchflussrate:0,5-5 L/min (abhängig von Vakuumpumpenkapazität)
Betriebstemperatur:-20°C bis 200°C (Betriebsbereich, abhängig von Dichtungsmaterial)
Montage- und Anwendungskompatibilität
SiliziumwaferGlassubstrateLeiterplatten
Nicht geeignet: Hochviskose Flüssigkeiten oder abrasive Suspensionen (Risiko der Verstopfung von Vakuumkanälen)
Auslegungsdaten
  • Werkstückabmessungen und Gewicht
  • Erforderliche Haltekraft (basierend auf Prozesskräften)
  • Vakuumpumpenkapazität und Ansprechzeit

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Dichtungsdegradation
Ursache: Chemischer Angriff durch Kühlmittel oder Reinigungsmittel, thermische Zyklen oder mechanischer Verschleiß durch Partikelkontamination, führt zu Vakuumlecks und Verlust der Haltekraft.
Verstopfung von Vakuumanschlüssen oder -kanälen
Ursache: Akkumulation von Bearbeitungsrückständen, Kühlmittelrückständen oder feinen Partikeln, behindert Luftstrom und reduziert Vakuumeffizienz.
Wartungsindikatoren
  • Hörbares Zischen oder Pfeifen vom Spannkörper während des Betriebs, deutet auf Vakuumleck hin.
  • Sichtbare Kühlmittel- oder Rückstandsansammlung um Vakuumanschlüsse, oder inkonsistentes Werkstückhalten (Rutschen oder Fehlausrichtung).
Technische Hinweise
  • Regelmäßige, schonende Reinigung von Vakuumanschlüssen und Dichtungen mit kompatiblen, nicht aggressiven Lösungsmitteln durchführen, gefolgt von Inspektion auf Verschleiß oder Beschädigung.
  • Feinfiltration (z.B. 5-Mikron oder feiner) in der Vakuumleitung verwenden, um Partikeleintritt zu verhindern, und sicherstellen, dass Werkstücke vor dem Spannen frei von übermäßigen Rückständen sind.

Konformität und Fertigungsnormen

Referenznormen
ANSI B46.1 - Oberflächentextur (Rauheit, Welligkeit, Riefenrichtung)DIN 8601 - Vakuumtechnik; Vakuumflansche
Fertigungsgenauigkeit
  • Ebenheit: 0,05 mm/m
  • Oberflächenrauheit: Ra ≤ 0,8 μm
Qualitätsprüfung
  • Vakuumlecktest (Helium-Massenspektrometrie)
  • Oberflächenebenheitsprüfung (Laserinterferometrie)

Hersteller von Vakuumspannfutter

2 Unternehmen führen dieses Produkt in ihrem eigenen Sortiment. Die Unternehmensangaben stammen von der jeweils eigenen Website; jede Karte nennt die Grundlage der Zuordnung.

Semicorex Advanced Material Technology Co.,Ltd
Ningbo · CN
Fertigt außerdem: Mechanical Seal、End-Effector、Wafer Chuck und 2 weitere
Vom Hersteller selbst gepflegt
Laut Produktseite der eigenen Website
Bezeichnung auf der Website: “Wafer Vacuum Chucks”
Quellseite ansehen ↗ semicorex.com · geprüft am 2026-08-22
Nanjing Geekung Hydraulic Machinery Co., Ltd.
Nanjing · CN
Fertigt außerdem: Silicone Injection Molding Machine、Injection Molding Machine、Hydraulic Press Brake
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Automatic Vacuum Plate...”
Quellseite ansehen ↗ geekungpress.com · geprüft am 2026-09-03

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

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Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

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Häufige Fragen

Was ist der Haltekraftbereich dieses Vakuumspannfutters?

Die Haltekraft beträgt typischerweise 0,5–2,5 kN, abhängig von Vakuumniveau und Oberfläche. Bestätigen Sie den genauen Wert für Ihr spezifisches Modell mit dem Hersteller.

Welche Materialien sind für das Vakuumspannfutter verfügbar?

Verfügbare Materialien umfassen Aluminiumlegierung, Edelstahl und Keramik. Die spezifische Güte, wie Aluminium 6061-T6, ist als Referenz aufgeführt und sollte verifiziert werden.

Was ist der Betriebstemperaturbereich?

Das Spannfutter ist für den Dauerbetrieb in einem Temperaturbereich von -20 bis 80 °C ausgelegt. Stellen Sie sicher, dass Ihr Prozess innerhalb dieses Bereichs bleibt.

Wie überprüfe ich Ebenheit und Oberflächenrauheit?

Die Ebenheit beträgt ±0,02 mm über die gesamte Spannfutteroberfläche, und die Oberflächenrauheit beträgt Ra 0,8–1,6 µm. Diese Werte sollten mit dem Hersteller für Ihre spezifische Einheit bestätigt werden.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.09 · Maschinen- und Anlagenbau

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.
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