Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Load Port im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Wafergröße bis Kassetten Slotabstand eingeordnet.
Ein typisches Load Port wird durch die Baugruppe aus Andockmechanismus und Türöffner-Baugruppe beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.
Schnittstellenkomponente in Wafer-Fertigungssystemen für das automatisierte Laden und Entladen von Waferkassetten.
Der Load Port funktioniert, indem er eine Waferkassette vom Fabrikautomatisierungssystem empfängt. Er richtet die Kassette mithilfe einer kinematischen Kopplung aus und sichert sie, öffnet dann die Kassettentür über einen Türöffner, der mit der Umgebungsdichtung der Kassette zusammenwirkt. Sensoren überprüfen die korrekte Positionierung und die Identität der Kassette. Nach dem Öffnen werden Wafer an das interne Handhabungssystem des Geräts übertragen, während Stickstoffspülung oder Vakuumbedingungen aufrechterhalten werden, um Kontamination zu verhindern. Der Load Port überwacht auch Parameter wie Türöffnungszeit, Leckrate und Betriebsdruck, um die Integrität des Reinraums und die Prozesszuverlässigkeit sicherzustellen.
| Parameter | Typischer Bereich | Hinweise & Auswahlkriterien |
|---|---|---|
| Wafergröße | 300 mm | Standard for 300 mm wafer fabsSEMI M1 |
| Kassetten Slotabstand | 10 mm | For 25-slot FOUPSEMI E47.1 |
| Kassettenkapazität | 25 Wafer | Standard FOUP capacitySEMI E47.1 |
| Türöffnungszeit | ≤3 s | Affects throughputSEMI E84 |
| Wiederholgenauigkeit | ±0.05 mm | For kinematic couplingSEMI E57 |
| Leckrate | ≤1.0e-6 Pa·m³/s | For cleanroom integritySEMI E54 |
| Betriebsdruck | 0.1–0.6 MPa | For purge gas supplySEMI E54 |
| Betriebstemperatur | 15–35 °C | Cleanroom ambientSEMI E54 |
| Luftfeuchtigkeitsbereich | 30–70 %RH | Non-condensing |
| Versorgungsspannung | 24 ±10% V DC | For sensors and actuators |
| Leistungsaufnahme | ≤100 W | Peak during door actuation |
| Werkstoff | Aluminum 6061 | Anodized for particle controlASTM B221 |
| Gewicht | 25–40 kg | Depends on options |
| Stellfläche | 600×600 mm | Width × depth |
Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.
Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme
Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.
Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.
| Betriebsdruck: | Atmosphärendruck bis 0,5 psi Überdruck |
| Durchflussrate: | entfällt (mechanische Schnittstelle) |
| Betriebstemperatur: | 15-30 °C (Betrieb), 5-40 °C (Lagerung) |
Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.
Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.
Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.
Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.
Ein Load Port ist eine Schnittstellenkomponente, die das automatisierte Laden und Entladen von Waferkassetten (FOUPs oder SMIF-Pods) in und aus Halbleiterverarbeitungsgeräten ermöglicht. Er hält die saubere Umgebung aufrecht und gewährleistet korrekte Ausrichtung und Abdichtung.
Relevante Normen umfassen SEMI M1 (Wafergröße), SEMI E47.1 (Kassetten-Slot-Abstand und -Kapazität), SEMI E84 (Türöffnungszeit), SEMI E57 (Positionierwiederholbarkeit) und SEMI E54 (Leckrate, Betriebsdruck, Temperatur). Dies sind Referenznormen; bestätigen Sie die Konformität mit dem Hersteller.
Er verwendet einen Andockmechanismus, der die Kassette an den Port abdichtet, einen Türöffner, der mit der Umgebungsdichtung der Kassette zusammenwirkt, und Sensoren zur Positionsprüfung. Er kann auch Stickstoffspülung oder Vakuumbedingungen bereitstellen, um Kontamination zu verhindern.
Verifizieren Sie modellspezifische Parameter wie Wafergröße, Kassettenkapazität, Türöffnungszeit, Positionierwiederholbarkeit, Leckrate, Betriebsdruck, Temperaturbereich und physische Abmessungen. Bestätigen Sie diese Werte mit dem rechtlichen Hersteller oder Lieferanten.
CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.
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