Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Präzisionsstufe

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Präzisionsstufe im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Verfahrbereich (X/Y) bis Positioniergenauigkeit eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Präzisionsstufe wird durch die Baugruppe aus Grundplatte und Linearmotor beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Eine hochpräzise Positionierplattform, die in Wafer-Prober-Systemen verwendet wird, um Wafer während elektrischer Tests genau auszurichten und zu bewegen.

Technische Definition

Die Präzisionsstufe ist eine kritische Komponente von Wafer-Prober-Systemen, die eine Positioniergenauigkeit im Nanometerbereich für Halbleiterwafer während elektrischer Tests bietet. Sie ermöglicht die präzise Ausrichtung von Wafer-Pads mit Probernadeln, erleichtert Schritt- und Wiederholmuster über die Waferoberfläche und gewährleistet eine konsistente Kontaktkraft während der Sondierungsvorgänge. Die Stufe verfügt typischerweise über eine Basis aus Granit oder Aluminium für Stabilität, wobei bewegliche Teile aus Aluminiumlegierung, Edelstahl oder Keramik bestehen. Sie wird durch Linearmotoren oder piezoelektrische Aktuatoren angetrieben, mit Positionsrückmeldung durch Laserinterferometer oder optische Encoder. Die Stufe bewegt den Wafer in X-, Y- und manchmal Z-Achse mit Submikrometergenauigkeit und kompensiert thermische Ausdehnung, Vibration und mechanische Drift. Zu den wichtigsten Parametern gehören ein Verfahrweg von 200–300 mm, Positioniergenauigkeit von ±0,5 µm, Wiederholbarkeit von ±0,1 µm, Auflösung von 0,01 µm und Rückmeldeauflösung von 0,005 µm. Die maximale Lastkapazität beträgt 10–20 kg, die maximale Geschwindigkeit 200–500 mm/s. Geradheit und Ebenheit liegen innerhalb von ±1 µm. Der Betriebstemperaturbereich beträgt 15–30 °C, der Feuchtigkeitsbereich 20–80 % relative Luftfeuchtigkeit. Die Stufe hat eine Schutzart von IP54. Das Basismaterial ist typischerweise Aluminium 6061-T6, Granit ist für höhere Steifigkeit erhältlich. Das Gewicht der Stufe beträgt 50–100 kg. Diese Werte sind Referenzbereiche und müssen mit dem Hersteller für spezifische Modelle verifiziert werden. Die Stufe ist für Reinraumumgebungen ausgelegt und erfordert eine ordnungsgemäße Vibrationsisolierung. Regelmäßige Wartung umfasst die Überprüfung auf Verschleiß, Kalibrierung und Sauberkeit. Fehlerzustände umfassen Drift, Genauigkeitsverlust und mechanischen Verschleiß. Verifizierungsfragen sollten Kalibrierzertifikate, Einhaltung von ISO 230-2 und Umgebungsbedingungen ansprechen.

Funktionsprinzip

Die Präzisionsstufe arbeitet mit hochauflösenden Linearmotoren oder piezoelektrischen Aktuatoren, kombiniert mit Laserinterferometern oder optischen Encodern für die Positionsrückmeldung. Sie empfängt Koordinatenbefehle vom Steuerungssystem des Probers und bewegt den Wafer in X-, Y- und manchmal Z-Achse mit Submikrometergenauigkeit, wobei thermische Ausdehnung, Vibration und mechanische Drift kompensiert werden. Das Steuerungssystem verwendet eine geschlossene Regelschleife, um die Position in Echtzeit anzupassen und eine präzise Ausrichtung zu gewährleisten. Das Bewegungsprofil der Stufe ist für Schritt- und Wiederholtests optimiert, mit Überlegungen zu hoher Geschwindigkeit und Einschwingzeit. Der Antriebstyp ist typischerweise ein Linearmotor für direkten Antrieb, der hohe Geschwindigkeit und Präzision bietet; eine Kugelgewindespindel-Alternative kann für geringere Kosten verwendet werden. Die Rückmeldeauflösung beträgt 0,005 µm und ermöglicht eine feine Positionierung. Die Steifigkeit und Dämpfungseigenschaften der Stufe sind entscheidend, um Vibrationen zu minimieren und die Genauigkeit zu erhalten. Thermomanagement ist wichtig, um Drift zu reduzieren, und die Stufe kann Kompensationsalgorithmen enthalten. Das Arbeitsprinzip gewährleistet eine konsistente Kontaktkraft während der Sondierung, was für zuverlässige elektrische Tests wesentlich ist.

Technische Parameter

Technische Parameter
ParameterTypischer BereichHinweise & Auswahlkriterien
Verfahrbereich (X/Y)200–300 mmLarger travel requires larger footprint and lower stiffness.
Positioniergenauigkeit±0.5 µmCritical for wafer alignment; tighter tolerance increases cost.ISO 230-2
Wiederholgenauigkeit±0.1 µmEnsures consistent probing across multiple wafers.ISO 230-2
Auflösung0.01 µmMinimum step size for fine positioning.
Maximale Tragfähigkeit10–20 kgIncludes wafer chuck and fixture weight.
AntriebsartLinear motorDirect drive for high speed and precision; ball screw alternative for lower cost.
Feedback Auflösung0.005 µmOptical encoder resolution; higher resolution improves accuracy.
Maximale Geschwindigkeit200–500 mm/sHigher speed reduces test time but may affect settling time.
Geradheit/Ebenheit±1 µmAffects focus and probe contact uniformity.ISO 230-2
Betriebstemperaturbereich15–30 °CThermal drift affects accuracy; keep within range for specified performance.
Betriebsfeuchtigkeitsbereich20–80 % RHNon-condensing; high humidity may cause corrosion.
SchutzartIP54Protects against dust and water splashes; higher rating for harsh environments.IEC 60529
Material (Basis/Tisch)Aluminum 6061-T6Lightweight and stable; granite available for higher stiffness.ASTM B221
Gewicht50–100 kgAffects installation and vibration isolation requirements.

Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.

Hauptmaterialien

Granit Aluminiumlegierung Edelstahl Keramik

Komponenten / BOM

Components / BOM
  • Grundplatte
    Bietet starre Grundlage und Schwingungsdämpfung
    Material: Granit oder Polymerbeton
  • Linearmotor
    Erzeugt präzise lineare Bewegung ohne mechanischen Kontakt
    Material: Kupferwicklungen, Neodym-Magnete
  • Luftlager
    Erzeugt reibungsfreie Bewegung mittels Druckluft
    Material: Poröse Keramik oder Kohlenstoff
  • Messskala
    Liefert Positionsrückmeldung mit Nanometerauflösung
    Material: Glas mit Chromgitter
  • Spannfutter-Baugruppe
    Hält und sichert den Wafer während des Tests
    Material: Aluminium oder Keramik mit Vakuumkanälen
  • Piezoaktoren
    Feinantrieb, der anstelle des Linearmotors für Sub-Mikrometer-Positionierung verwendet wird.
  • Laser-Interferometer (Plural)
    Alternative Positionsrückmeldevorrichtung zur optischen Encoderskala.

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Partikelkontamination > ISO-Klasse 3 (≥ 0,5 µm Partikel) auf Luftlagerflächen Erhöhter Reibungskoeffizient von 0,001 auf > 0,005, verursacht Positionierungsüberschwingen > 1 µm Installation redundanter HEPA-Filtration zur Aufrechterhaltung der ISO-Klasse 2-Reinheit, Implementierung von Partikelüberwachung mit 0,3 µm-Empfindlichkeit
PZT-Aktor-Depolarisation bei anhaltenden Temperaturen > 80°C Reduzierung des piezoelektrischen Koeffizienten von 500 pm/V auf < 200 pm/V, resultierend in 60% Positionierungsauflösungsverlust Einbau thermoelektrischer Kühler zur Aufrechterhaltung der PZT-Temperatur bei 25±5°C, Implementierung von Temperaturregelung mit 0,1°C-Auflösung

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
0,1-100 µm Positioniergenauigkeit, 0,01-10 µm/s Geschwindigkeitsbereich, 50-200 mm Verfahrbereich
Belastungs- und Ausfallgrenzen
Positionierfehler überschreitet 0,5 µm RMS, Schwingungsamplitude > 10 nm RMS bei 100 Hz, thermische Drift > 0,1 µm/°C
Haftreibung-induzierte Hysterese in Luftlagerflächen bei Geschwindigkeiten < 0,1 µm/s, thermische Ausdehnungsdifferenz zwischen Keramiktisch und Stahlbasis bei ΔT > 2°C, piezoelektrisches Kriechen in PZT-Aktoren bei > 50 V Dauererregung
Fertigungskontext
Präzisionsstufe wird innerhalb von Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Weitere Produktbezeichnungen

Wafer Stage XY Stage Positioning Stage

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Industrielles Ökosystem und Lieferkette

Ergänzende Systeme
Spezialwerkzeuge

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Betriebsdruck:Atmosphärisch (vakuumkompatible Versionen verfügbar)
Weitere Spezifikationen:Positioniergenauigkeit: ±0,1 μm, Wiederholgenauigkeit: ±0,05 μm, maximale Geschwindigkeit: 200 mm/s
Betriebstemperatur:15°C bis 30°C (Betrieb), 5°C bis 40°C (Lagerung)
Montage- und Anwendungskompatibilität
Reinraumumgebungen (ISO-Klasse 1-5)StickstoffatmosphäreElektrostatische Entladung (ESD)-sichere Bedingungen
Nicht geeignet: Hochvibrationsindustrieböden oder Umgebungen mit Partikelkontamination
Auslegungsdaten
  • Maximale Wafergröße (z.B. 200 mm, 300 mm, 450 mm)
  • Erforderliche Positioniergenauigkeits- und Wiederholgenauigkeitsspezifikationen
  • Gesamtbewegungsmasse (Wafer + Chuck + Vorrichtungen)

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Verschleiß durch Fehlausrichtung
Ursache: Unsachgemäße Installation oder thermische Ausdehnung, die zu einer Fehlausrichtung von Welle/Lager führt, was zu ungleichmäßiger Lastverteilung und beschleunigtem Komponentenverschleiß führt.
Schmierungsversagen
Ursache: Kontamination, Degradation oder unzureichendes Schmiermittel, was zu erhöhter Reibung, Überhitzung und schließlich zum Fressen oder vorzeitigem Verschleiß beweglicher Teile führt.
Wartungsindikatoren
  • Ungewöhnliche hochfrequente Vibration oder hörbares Klopfen während des Betriebs
  • Sichtbarer Schmiermittelaustritt oder Verfärbung um Dichtungen und Verbindungen herum
Technische Hinweise
  • Implementierung einer Laserausrichtung während der Installation und periodische Nachjustierungen, um die optimale Welle/Lager-Ausrichtung unter Betriebsbedingungen aufrechtzuerhalten.
  • Etablierung eines rigorosen Schmierungsmanagementprogramms mit geplanter Ölanalyse, ordnungsgemäßer Filtration und Verwendung von herstellerspezifischen Schmierstoffen, um Kontamination und Degradation zu verhindern.

Konformität und Fertigungsnormen

Referenznormen
ISO 286-1:2010 (Geometrische Produktspezifikationen - Grenzmaße und Passungen)ANSI B4.1-1967 (Bevorzugte Grenzmaße und Passungen für zylindrische Teile)
Fertigungsgenauigkeit
  • Bohrungsdurchmesser: +/-0,01 mm
  • Oberflächenebenheit: 0,05 mm pro 100 mm
Qualitätsprüfung
  • Koordinatenmessmaschine (KMM) zur dimensionalen Verifizierung
  • Oberflächenrauheitsmessung nach ISO 4287

Hersteller von Präzisionsstufe

1 Unternehmen führen dieses Produkt in ihrem eigenen Sortiment. Die Unternehmensangaben stammen von der jeweils eigenen Website; jede Karte nennt die Grundlage der Zuordnung.

Suzhou JiuJun Intelligent Equipment Co., Ltd.
· CN
Fertigt außerdem: Linear Motor、Precision CNC Machining Center、Linear Guideways und 7 weitere
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Precision Stage”
Quellseite ansehen ↗ tparobot.com · geprüft am 2026-08-22

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

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Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

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Häufige Fragen

Was ist die typische Positioniergenauigkeit einer Präzisionsstufe?

Die Positioniergenauigkeit beträgt typischerweise ±0,5 µm gemäß ISO 230-2, aber dies ist ein Referenzbereich. Der tatsächliche Wert hängt vom spezifischen Modell ab und muss mit dem Hersteller verifiziert werden.

Welche Materialien werden üblicherweise für die Stufenbasis verwendet?

Übliche Materialien sind Aluminium 6061-T6 für die Basis, Granit ist für höhere Steifigkeit erhältlich. Andere Komponenten können Edelstahl oder Keramik verwenden. Die Materialwahl beeinflusst Stabilität und Gewicht.

Wie erreicht die Stufe Submikrometergenauigkeit?

Sie verwendet hochauflösende Linearmotoren oder piezoelektrische Aktuatoren mit Laserinterferometern oder optischen Encodern für die Rückmeldung. Das Steuerungssystem kompensiert thermische Ausdehnung, Vibration und Drift.

Welche Umgebungsbedingungen sind für den Betrieb erforderlich?

Der Betriebstemperaturbereich beträgt 15–30 °C und die Luftfeuchtigkeit 20–80 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend). Die Stufe hat eine Schutzart von IP54, die vor Staub und Spritzwasser schützt. Spezifische Anforderungen mit dem Hersteller verifizieren.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.09 · Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.
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