Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Präzisionsstufe im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Verfahrbereich (X/Y) bis Positioniergenauigkeit eingeordnet.
Ein typisches Präzisionsstufe wird durch die Baugruppe aus Grundplatte und Linearmotor beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.
Eine hochpräzise Positionierplattform, die in Wafer-Prober-Systemen verwendet wird, um Wafer während elektrischer Tests genau auszurichten und zu bewegen.
Die Präzisionsstufe arbeitet mit hochauflösenden Linearmotoren oder piezoelektrischen Aktuatoren, kombiniert mit Laserinterferometern oder optischen Encodern für die Positionsrückmeldung. Sie empfängt Koordinatenbefehle vom Steuerungssystem des Probers und bewegt den Wafer in X-, Y- und manchmal Z-Achse mit Submikrometergenauigkeit, wobei thermische Ausdehnung, Vibration und mechanische Drift kompensiert werden. Das Steuerungssystem verwendet eine geschlossene Regelschleife, um die Position in Echtzeit anzupassen und eine präzise Ausrichtung zu gewährleisten. Das Bewegungsprofil der Stufe ist für Schritt- und Wiederholtests optimiert, mit Überlegungen zu hoher Geschwindigkeit und Einschwingzeit. Der Antriebstyp ist typischerweise ein Linearmotor für direkten Antrieb, der hohe Geschwindigkeit und Präzision bietet; eine Kugelgewindespindel-Alternative kann für geringere Kosten verwendet werden. Die Rückmeldeauflösung beträgt 0,005 µm und ermöglicht eine feine Positionierung. Die Steifigkeit und Dämpfungseigenschaften der Stufe sind entscheidend, um Vibrationen zu minimieren und die Genauigkeit zu erhalten. Thermomanagement ist wichtig, um Drift zu reduzieren, und die Stufe kann Kompensationsalgorithmen enthalten. Das Arbeitsprinzip gewährleistet eine konsistente Kontaktkraft während der Sondierung, was für zuverlässige elektrische Tests wesentlich ist.
| Parameter | Typischer Bereich | Hinweise & Auswahlkriterien |
|---|---|---|
| Verfahrbereich (X/Y) | 200–300 mm | Larger travel requires larger footprint and lower stiffness. |
| Positioniergenauigkeit | ±0.5 µm | Critical for wafer alignment; tighter tolerance increases cost.ISO 230-2 |
| Wiederholgenauigkeit | ±0.1 µm | Ensures consistent probing across multiple wafers.ISO 230-2 |
| Auflösung | 0.01 µm | Minimum step size for fine positioning. |
| Maximale Tragfähigkeit | 10–20 kg | Includes wafer chuck and fixture weight. |
| Antriebsart | Linear motor | Direct drive for high speed and precision; ball screw alternative for lower cost. |
| Feedback Auflösung | 0.005 µm | Optical encoder resolution; higher resolution improves accuracy. |
| Maximale Geschwindigkeit | 200–500 mm/s | Higher speed reduces test time but may affect settling time. |
| Geradheit/Ebenheit | ±1 µm | Affects focus and probe contact uniformity.ISO 230-2 |
| Betriebstemperaturbereich | 15–30 °C | Thermal drift affects accuracy; keep within range for specified performance. |
| Betriebsfeuchtigkeitsbereich | 20–80 % RH | Non-condensing; high humidity may cause corrosion. |
| Schutzart | IP54 | Protects against dust and water splashes; higher rating for harsh environments.IEC 60529 |
| Material (Basis/Tisch) | Aluminum 6061-T6 | Lightweight and stable; granite available for higher stiffness.ASTM B221 |
| Gewicht | 50–100 kg | Affects installation and vibration isolation requirements. |
Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.
Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme
Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.
Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.
| Betriebsdruck: | Atmosphärisch (vakuumkompatible Versionen verfügbar) |
| Weitere Spezifikationen: | Positioniergenauigkeit: ±0,1 μm, Wiederholgenauigkeit: ±0,05 μm, maximale Geschwindigkeit: 200 mm/s |
| Betriebstemperatur: | 15°C bis 30°C (Betrieb), 5°C bis 40°C (Lagerung) |
1 Unternehmen führen dieses Produkt in ihrem eigenen Sortiment. Die Unternehmensangaben stammen von der jeweils eigenen Website; jede Karte nennt die Grundlage der Zuordnung.
Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.
Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.
Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.
Die Positioniergenauigkeit beträgt typischerweise ±0,5 µm gemäß ISO 230-2, aber dies ist ein Referenzbereich. Der tatsächliche Wert hängt vom spezifischen Modell ab und muss mit dem Hersteller verifiziert werden.
Übliche Materialien sind Aluminium 6061-T6 für die Basis, Granit ist für höhere Steifigkeit erhältlich. Andere Komponenten können Edelstahl oder Keramik verwenden. Die Materialwahl beeinflusst Stabilität und Gewicht.
Sie verwendet hochauflösende Linearmotoren oder piezoelektrische Aktuatoren mit Laserinterferometern oder optischen Encodern für die Rückmeldung. Das Steuerungssystem kompensiert thermische Ausdehnung, Vibration und Drift.
Der Betriebstemperaturbereich beträgt 15–30 °C und die Luftfeuchtigkeit 20–80 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht kondensierend). Die Stufe hat eine Schutzart von IP54, die vor Staub und Spritzwasser schützt. Spezifische Anforderungen mit dem Hersteller verifizieren.
CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.
Informationen zu Einsatzbereich, Spezifikationsgrenzen, Lieferantentypen und RFQ-Vorbereitung anfragen.
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