Vakuummessgerät

Ein Vakuummessgerät ist eine kritische Überwachungskomponente in Vakuumsystemen, die den Grad des Vakuums (Druck unter Atmosphärendruck) in einer abgedichteten Kammer oder einem System quantitativ misst. Es liefert wesentliches Feedback für Prozesssteuerung, Systemintegritätsprüfung und Betriebssicherheit in verschiedenen industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen. Das Gerät arbeitet, indem es eine durch Restgas verursachte physikalische Eigenschaftsänderung in ein elektrisches Signal umwandelt, das zur Druckanzeige kalibriert ist. Je nach Druckbereich werden unterschiedliche Messprinzipien verwendet: Pirani-Messgeräte (Wärmeleitfähigkeit) für mittleres Vakuum, kapazitive Membranmessgeräte (CDG, mechanische Auslenkung) für niedriges bis mittleres Vakuum, Kaltkathoden- (Penning) oder Heißkathoden- (Ionisations) Messgeräte (Gasionisation) für hohes bis ultrahohes Vakuum. Typische Spezifikationen umfassen: Messbereich 1e-5 bis 1e5 Pa, Genauigkeit ±0,2% vom Messwert (kapazitiver Typ), Auflösung 0,1 Pa (digitale Modelle), Ansprechzeit ≤50 ms, Betriebstemperatur -20 bis 60 °C, Lagertemperatur -40 bis 85 °C, Versorgungsspannung 24 V DC ±10%, Leistungsaufnahme ≤2 W, Ausgangssignal 4-20 mA (Zweileiter-Schleife), Schutzart IP54 bis IP65 nach IEC 60529, Prozessanschluss DN16 bis DN50 nach ISO-KF, Mediumsberührte Teile 316L nach ASTM A240 (optional Hastelloy), Gewicht 0,5 bis 1,2 kg je nach Konfiguration. Materialien in der Datei umfassen: Edelstahl (Gehäuse), Glas oder Keramik (Sensorhülle), Wolfram oder Iridium (Heizkathodenfaden), Speziallegierungen (Membran). Diese Werte sind Referenzbereiche des Verzeichnisses; verifizieren Sie modellspezifische Werte und Normen mit dem Hersteller oder Lieferanten vor der Beschaffung.