Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Massenstromregler (MFC)

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Massenstromregler (MFC) im Bereich Chemische Herstellung anhand von Standardkonfiguration bis Schwerlastanforderung eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Massenstromregler (MFC) wird durch die Baugruppe aus Durchflusssensor und Regelventil beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Ein Präzisionsinstrument, das die Durchflussrate von Gasen in einem System misst und regelt.

Technische Definition

Eine kritische Komponente innerhalb von Gasregelsystemen, die den Massenstrom von Gasen präzise misst und regelt, um spezifische Prozessbedingungen aufrechtzuerhalten und eine genaue Gaszufuhr für verschiedene industrielle Anwendungen sicherzustellt.

Funktionsprinzip

Typischerweise werden thermische Messprinzipien verwendet, bei denen der Gasstrom einen beheizten Sensor kühlt, wobei die Temperaturänderung proportional zum Massenstrom ist, kombiniert mit einem Regelventil, das basierend auf Rückmeldungen zur Aufrechterhaltung des Soll-Durchflusses angepasst wird.

Hauptmaterialien

Edelstahl

Komponenten / BOM

Misst die tatsächliche Gasdurchflussrate mittels thermischer oder anderer Messprinzipien
Material: Edelstahl
Regelt den Gasfluss basierend auf Sensorrückmeldungen zur Einhaltung des Sollwerts
Material: Edelstahl
Verarbeitet Sensordaten und steuert die Ventilposition
Material: Elektronische Bauteile

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Korrosive Gasexposition (z.B. HCl bei >10 ppm Konzentration) reagiert mit 316L-Edelstahl-benetzten Oberflächen Sensorkorrosion führt zu Nullpunktabweichung über 1 % FS/Tag und Durchflussregelfehler >5 % Hastelloy C-276 benetzter Pfadkonstruktion mit elektropolierten Oberflächen (Ra <0,4 μm) und Feuchtigkeitsspülsystem
Partikelkontamination (ISO 14644-1 Klasse 6 Umgebung) sammelt sich im laminaren Durchflusselement Durchflussbehinderung verursacht Druckabfallanstieg >0,15 bar und nichtlineare Antwort (R² <0,995) Zweistufige 0,1 μm Absolutfilterung mit Differenzdrucküberwachung und automatischem Rückspülen bei ΔP >0,1 bar

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
0,5-5000 sccm (Standardkubikzentimeter pro Minute) bei 0-100 psig Einlassdruck, 0-5 VDC oder 4-20 mA Steuersignal
Belastungs- und Ausfallgrenzen
Durchflussgenauigkeitsverschlechterung über ±0,8 % des Endwertes bei 25°C oder Ansprechzeit über 2 Sekunden für 98 % Sprungänderung
Thermische Sensorabweichung aufgrund von Seebeck-Koeffizient-Variation über 50 μV/K in thermischen Massenstromsensoren oder Verstopfung des laminaren Durchflusselements bei Partikelkontamination über 0,3 μm bei einer Dichte >1000 Partikel/cm³
Fertigungskontext
Massenstromregler (MFC) wird innerhalb von Chemische Herstellung nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Traglast:Bis zu 1000 psig (69 bar) Standard, bis zu 3000 psig (207 bar) Hochdruckmodelle
Verstellbereich / Reichweite:0-5 sccm bis 0-500 slpm (Standardbereich), kundenspezifische Bereiche verfügbar
Einsatztemperatur:-20°C bis 70°C (typisch), bis zu 150°C für Hochtemperaturmodelle
Montage- und Anwendungskompatibilität
Inerte Gase (N2, Ar, He)Prozessgase (O2, H2, CO2)Korrosive Gase (Cl2, HCl) mit kompatiblen benetzten Materialien
Nicht geeignet: Partikelbeladene Gase oder Suspensionen (erfordern saubere, trockene Gase, um Verstopfungen und Sensorsschäden zu verhindern)
Auslegungsdaten
  • Erforderlicher Durchflussbereich (minimale und maximale Durchflussraten)
  • Prozessgastyp und -eigenschaften (Dichte, Viskosität, Molekulargewicht)
  • Betriebsdruck- und Temperaturbedingungen

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Sensorabweichung oder Kalibrierungsverlust
Cause: Kontamination durch Prozessgase, thermische Zyklen oder Alterung von Sensorkomponenten, die zu ungenauen Durchflussmesswerten führen.
Ventilkleben oder unregelmäßige Regelung
Cause: Partikelablagerungen auf Ventilsitzen, Korrosion durch aggressive Medien oder mechanischer Verschleiß im Aktuatorbaugruppe.
Wartungsindikatoren
  • Durchflussmesswerte weichen trotz stabiler Prozessbedingungen signifikant vom Sollwert ab
  • Hörbares Rattern oder unregelmäßige Geräusche vom Regelventil während des Betriebs
Technische Hinweise
  • Regelmäßige Kalibrierungspläne mit rückführbaren Standards implementieren und saubere, trockene Instrumentenluft-/Gasversorgung gewährleisten
  • Geeignete Filtration stromaufwärts installieren und Gasverträglichkeit mit MFC-Materialien sicherstellen, um Korrosion und Kontamination zu verhindern

Compliance & Manufacturing Standards

Reference Standards
ISO 5167-1:2022 Messung des Durchflusses von Fluiden mit DifferenzdruckgerätenANSI/ISA-75.05.01-2000 Regelventil-AuslegungsgleichungenDIN EN 60534-2-1:2011 Stellventile für die Prozessregelung - Teil 2-1: Durchflussfähigkeit - Auslegungsgleichungen für den Durchfluss von Fluiden unter Einbaubedingungen
Manufacturing Precision
  • Durchflussgenauigkeit: +/-0,5 % des Endwertes
  • Wiederholbarkeit: +/-0,2 % des Endwertes
Quality Inspection
  • Dichtheitsprüfung: Helium-Massenspektrometer-Lecksuche bei 1x10^-9 atm·cc/s
  • Kalibrierungsverifizierung: NIST-rückführbare Durchflussverifizierung über den gesamten Betriebsbereich

Hersteller, die dieses Produkt fertigen

Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

Supply ChainRelated Products and Components

Rührwerk

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抗菌剂

A chemical agent or substance that inhibits the growth of microorganisms or destroys them.

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Häufige Fragen

Was macht diesen Massenstromregler für Anwendungen in der chemischen Fertigung geeignet?

Dieser MFC ist speziell für die chemische Fertigung mit korrosionsbeständiger Edelstahlkonstruktion, präzisen Gasdurchflussmessfähigkeiten und robusten Komponenten ausgelegt, die rauen chemischen Umgebungen standhalten und dabei die Genauigkeit beibehalten.

Wie stellt der Durchflusssensor in diesem MFC eine genaue Gasdurchflussmessung sicher?

Der integrierte Durchflusssensor nutzt fortschrittliche thermische oder druckbasierte Technologie, um Gasdurchflussraten kontinuierlich zu überwachen und Echtzeitdaten an die Elektronikeinheit für präzise Steuerung und Anpassung des Regelventils zu liefern.

Welche Wartung ist für diesen Edelstahl-Massenstromregler erforderlich?

Regelmäßige Kalibrierungsprüfungen, Reinigung der Durchflusswege zur Verhinderung von Kontaminationsablagerungen sowie Inspektion des Regelventils und der Elektronikverbindungen werden empfohlen, um eine optimale Leistung in chemischen Fertigungsprozessen aufrechtzuerhalten.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.05 · Chemische Herstellung

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.

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