Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Probe Card

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Probe Card im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Anzahl der Nadeln bis Teilung eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Probe Card wird durch die Baugruppe aus Prüfnadeln und Substrat/Leiterplatte beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Eine Schnittstellenkomponente in der Wafer-Testung, die elektrische Verbindungen zwischen Testgeräten und Halbleiter-Wafer-Chips herstellt.

Technische Definition

Eine Probe Card ist eine kritische Komponente von Wafer-Probern und stellt die physische und elektrische Schnittstelle zwischen automatisierten Testgeräten (ATE) und einzelnen Halbleiter-Chips auf einem Wafer während der elektrischen Prüfung bereit. Sie enthält präzise angeordnete Prüfnadeln oder Kontakte, die temporäre Verbindungen zu den Bondpads oder Bumps des Wafers herstellen, um funktionale und parametrische Tests vor dem Vereinzeln durchzuführen. Die Probe Card wird in der Herstellung von Computer-, Elektronik- und optischen Produkten verwendet, insbesondere in der Halbleiterfertigung. Es handelt sich um eine Komponente auf Bauteilebene, nicht um ein komplettes System, und sie ist für den Einsatz in Wafer-Level-Testanwendungen konzipiert.

Probe Cards werden durch mehrere Schlüsselparameter charakterisiert, die ihre Leistung und Eignung für bestimmte Testanwendungen bestimmen. Die Anzahl der Pins liegt typischerweise zwischen 100 und 10.000, was die Parallelität und den Testdurchsatz beeinflusst. Der Pitch, also der Abstand zwischen benachbarten Sonden, muss dem Wafer-Pad-Pitch entsprechen und liegt typischerweise zwischen 40 und 200 Mikrometern; kleinere Pitches erhöhen die Kosten. Der Kontaktwiderstand wird bei 0,5 Ohm oder darunter gehalten, um Fehlausfälle zu vermeiden. Die Strombelastbarkeit pro Pin liegt zwischen 0,5 und 2,0 Ampere; unzureichende Kapazität kann zu Überhitzung führen. Bandbreite und maximale Testfrequenz liegen beide zwischen 1 und 10 GHz, wobei höhere Werte für Hochgeschwindigkeitssignale erforderlich sind. Der Leckstrom ist auf 1 Nanoampere oder weniger begrenzt, um genaue Niedrigstrommessungen zu gewährleisten. Der Betriebstemperaturbereich liegt zwischen -40 und 150 Grad Celsius, wobei die Wärmeausdehnung für die Ausrichtung berücksichtigt werden muss. Sondenspitzenmaterialien umfassen Wolfram, Berylliumkupfer und Palladiumlegierung, die Härte, Leitfähigkeit und Verschleißfestigkeit beeinflussen. Substratmaterialien umfassen Keramik, Polyimid und FR-4, die die thermische Stabilität und elektrische Leistung beeinflussen. Die Planarität, also die Ebenheit der Sondenspitzen, muss innerhalb von 10 Mikrometern liegen, um einen gleichmäßigen Kontakt zu gewährleisten. Die Lebensdauer der Sonde liegt zwischen 100.000 und 1.000.000 Kontaktierungen, was die Kosten pro Test beeinflusst. Kapazität und Induktivität sind jeweils auf 1 Picofarad bzw. 1 Nanohenry begrenzt, um die Signalintegrität zu erhalten.

Diese Parameter werden als Referenzbereiche bereitgestellt und müssen für das spezifische Modell und die Anwendung mit dem rechtlichen Hersteller oder Lieferanten verifiziert werden. Die Probe Card ist kein standardisiertes Produkt; jedes Design ist auf das Wafer-Layout und die Testanforderungen zugeschnitten. Benutzer sollten vor dem Kauf oder der Verwendung alle Spezifikationen, einschließlich Materialien, Abmessungen und Leistungswerte, bestätigen.

Funktionsprinzip

Die Probe Card positioniert Prüfnadeln oder Kontakte auf den Bondpads der Halbleiter-Chips auf einem Wafer. Wenn der Wafer-Prober den Wafer in Kontakt bringt, stellen die Sonden temporäre elektrische Verbindungen her, sodass Testsignale vom ATE durch die Probe Card zum Chip gesendet und Testergebnisse zurückgegeben werden können. Dies ermöglicht die elektrische Charakterisierung, Funktionsverifikation und das Binning von Halbleiterbauelementen auf Wafer-Ebene. Die Probe Card muss eine präzise Ausrichtung und Planarität aufrechterhalten, um einen zuverlässigen Kontakt über alle Pins zu gewährleisten. Die Materialien und das Design der Sonden und des Substrats beeinflussen die elektrische Leistung, thermische Stabilität und Haltbarkeit. Während des Tests erfährt die Probe Card mechanischen Verschleiß und thermische Zyklen, was ihre Leistung im Laufe der Zeit beeinträchtigen kann. Regelmäßige Inspektion und Wartung sind notwendig, um konsistente Testergebnisse zu gewährleisten. Die Probe Card ist eine kritische Schnittstelle, die sich direkt auf Testausbeute und Durchsatz auswirkt.

Technische Parameter

Technische Parameter
ParameterTypischer BereichHinweise & Auswahlkriterien
Anzahl der Nadeln100–10000 PinsDetermines parallelism and test throughput.
Teilung40–200 µmMust match wafer pad pitch; smaller pitch increases cost.
Kontaktwiderstand≤0.5 ΩHigher resistance causes false failures.
Strombelastbarkeit pro Nadel0.5–2.0 AInsufficient current capacity leads to overheating.
Bandbreite1–10 GHzHigher bandwidth required for high-speed signals.
Leckstrom≤1 nAExcessive leakage affects low-current measurements.
Betriebstemperatur-40–150 °CMust cover test temperature range; thermal expansion affects alignment.
Material der NadelspitzeTungsten, Beryllium Copper, Palladium AlloyAffects hardness, conductivity, and wear resistance.
SubstratmaterialCeramic, Polyimide, FR-4Influences thermal stability and electrical performance.
Planarität≤10 µmPoor planarity causes uneven contact and probe damage.
Lebensdauer der Nadeln100k–1M LandungenLonger life reduces cost per test.
Maximale Testfrequenz1–10 GHzHigher frequency requires careful impedance matching.
Kapazität≤1 pFHigh capacitance distorts high-speed signals.
Induktivität≤1 nHHigh inductance causes signal integrity issues.

Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.

Hauptmaterialien

Wolfram-Rhenium-Legierung Beryllium-Kupfer Keramiksubstrat Polyimidfolie Vergoldung

Komponenten / BOM

Components / BOM
  • Prüfnadeln
    Herstellen von physikalischem und elektrischem Kontakt mit Wafer-Bondpads
    Material: Wolfram-Rhenium-Legierung mit Vergoldung
  • Substrat/Leiterplatte
    Bietet strukturelle Unterstützung und elektrische Leitwegbildung zwischen Sonden und Schnittstellensteckern
    Material: Keramik oder Hochfrequenz-Leiterplattenmaterial
  • Raumtransformator
    Wandelt feinrasterige Prüfspitzenanordnung in gröberes Raster für Anschluss an Prüfkopf um
    Material: Mehrschichtkeramik- oder organisches Substrat
  • Schnittstellenstecker
    Verbindet Prüfkarte mit automatisiertem Testgerät (ATE)
    Material: Metallkontakte mit Kunststoffgehäuse

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Elektrostatische Entladung über 100 V während der Handhabung Dielektrischer Durchschlag im Keramiksubstrat (Al₂O₃, εᵣ=9,8) Integrierter Funkenstreckenschutz mit 50 µm Spaltabstand, leitfähige Epoxid-Erdungswege
Zyklische mechanische Belastung durch 500.000+ Touchdown-Zyklen Plastische Verformung der Prüfnadel über 0,2 % Dehnung Wolfram-Rhenium-Legierungs-Prüfnadenspitzen (UTS 1,2 GPa), optimierte Kragarmgeometrie mit 200 µm Overdrive

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
0,5-2,5 N Kontaktkraft pro Prüfnadenspitze, 25-125°C Temperaturbereich, 0,1-10 mA pro Pin-Strom
Belastungs- und Ausfallgrenzen
Prüfnadenspitzenverschleiß über 15 µm vertikale Verschiebung, Kontaktwiderstand > 500 mΩ, Substrattemperatur > 150°C
Elektromigration bei Stromdichten > 1×10⁶ A/cm², thermische Ausdehnungsdifferenz zwischen Wolfram-Prüfnadenspitzen (4,5×10⁻⁶/°C) und Silizium-Wafer (2,6×10⁻⁶/°C), Kaltverfestigung von Beryllium-Kupfer-Prüfnadeln
Fertigungskontext
Probe Card wird innerhalb von Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Weitere Produktbezeichnungen

Test Probe Card Wafer Probe Card

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Industrielles Ökosystem und Lieferkette

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Betriebsdruck:0-50 psi (Kontaktkraft pro Prüfnadel)
Weitere Spezifikationen:Strom pro Prüfnadel: 0,1-500 mA, Frequenz: DC bis 10 GHz
Betriebstemperatur:-40°C bis +125°C (Betriebsbereich)
Montage- und Anwendungskompatibilität
Halbleiter-Wafer (Si, GaAs, SiC)Prüfgeräteschnittstellen (ATE-Systeme)Reinraumumgebungen (ISO-Klasse 1-5)
Nicht geeignet: Korrosive chemische Umgebungen (Säuren, starke Lösungsmittel)
Auslegungsdaten
  • Anzahl der DUTs (Devices Under Test) und Pitch-Anforderungen
  • Prüfsignal-Spezifikationen (Frequenz, Strom, Spannung)
  • Wafergröße und Die-Layout-Muster

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Prüfnadenspitzenverschleiß/-beschädigung
Ursache: Wiederholter Kontakt mit Wafer-Pads verursacht mechanischen Abrieb, Fehlausrichtung oder Überfahrten, die zu Spitzenverformung, Oxidation oder Kontaminationsansammlung führen.
Elektrische Leistungsverschlechterung
Ursache: Oxidation/Korrosion von Prüfnadenspitzen oder Kontaktoberflächen, Kontamination durch Waferrückstände oder Umgebungspartikel, oder Isolationsdurchschlag aufgrund von Feuchtigkeitseintritt oder thermischem Zyklieren.
Wartungsindikatoren
  • Erhöhte Kontaktwiderstandswerte oder inkonsistente elektrische Prüfergebnisse während des Wafer-Probing.
  • Sichtbare Prüfnadenspitzenverformung, Verfärbung oder Rückstandsansammlung unter Mikroskopinspektion.
Technische Hinweise
  • Implementieren Sie regelmäßige Reinigungszyklen mit geeigneten Lösungsmitteln und Techniken (z.B. Trockenbürsten, Ultraschallreinigung), um Kontamination zu entfernen, ohne Prüfnadenspitzen zu beschädigen.
  • Etablieren und wahren Sie korrekte Overdrive-Einstellungen, Ausrichtungsverfahren und Umgebungskontrollen (Feuchtigkeit, Temperatur, Sauberkeit), um mechanische Belastung und Korrosion zu minimieren.

Konformität und Fertigungsnormen

Fertigungsgenauigkeit
  • Prüfnadenspitzenposition: +/- 2 µm
  • Kontaktwiderstand: +/- 5 mΩ
Qualitätsprüfung
  • Optische Prüfnadenspitzeninspektion
  • Elektrischer Durchgangstest

Hersteller von Probe Card

8 Unternehmen führen dieses Produkt in ihrem eigenen Sortiment. Die Unternehmensangaben stammen von der jeweils eigenen Website; jede Karte nennt die Grundlage der Zuordnung.

Shenzhen Fastprint Circuit Tech Co., Ltd.
Shenzhen · CN
Gegründet 1993
Fertigt außerdem: IC Substrate、Flexible Printed Circuit (FPC)、Semiconductor Test Board
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Quellseite ansehen ↗ chinafastprint.com · geprüft am 2026-08-18
Shenzhen Sunshine Global Circuits Co., Ltd. (SGC)
Shenzhen · CN
Gegründet 2001over 2,500 (incl. subsidiaries) Mitarbeiter
ISO9001:2008ISO/TS16949:2009ISO14001:2004ISO13485:2003+5
Fertigt außerdem: Multilayer PCB、Semiconductor Test Board、Heavy Copper PCB
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Quellseite ansehen ↗ sunshinepcb.com · geprüft am 2026-08-18
EFPCB
· CN
Fertigt außerdem: Multilayer PCB、Printed Circuit Board (PCB)、Rf Pcb und 9 weitere
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Probe Card PCB | Hard Gold PCB”
Quellseite ansehen ↗ efpcb.com · geprüft am 2026-08-30
KKPCB
Shenzhen · CN
Fertigt außerdem: Multilayer PCB、Flexible PCB、Flexible Printed Circuit (FPC) und 6 weitere
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “ATE PCB & Probe Card”
Quellseite ansehen ↗ kkpcba.com · geprüft am 2026-09-13
Nidec SV Probe
· CN
Fertigt außerdem: Space Transformer、Sensor Probe
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Trio Vertical Probe Card”
Quellseite ansehen ↗ nidecsvprobe.com · geprüft am 2026-09-01
Shenzhen Dougte Technology Co., Ltd.
Shenzhen · CN
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Flash Probe Card”
Quellseite ansehen ↗ dgtteco.com · geprüft am 2026-09-10
Suzhou Silicon Test System Co., Ltd.
Suzhou · CN
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Probe card”
Quellseite ansehen ↗ sststech.com · geprüft am 2026-09-10
Venture Electronics
· CN
Fertigt außerdem: Rf Pcb、Heavy Copper PCB、Metal Core PCB und 8 weitere
Laut Produktseite der eigenen Website · Profil von CNFX aus öffentlichen Quellen zusammengestellt
Bezeichnung auf der Website: “Probe Card”
Quellseite ansehen ↗ venture-mfg.com · geprüft am 2026-08-29

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

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Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

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Häufige Fragen

Wie viele Pins hat eine Probe Card typischerweise?

Die Anzahl der Pins liegt typischerweise zwischen 100 und 10.000, abhängig vom Wafer-Layout und den Testanforderungen. Dieser Parameter beeinflusst die Parallelität und den Testdurchsatz. Bestätigen Sie die genaue Pin-Anzahl für Ihre spezifische Anwendung immer mit dem Hersteller.

Welche Materialien werden üblicherweise für Sondenspitzen verwendet?

Übliche Sondenspitzenmaterialien sind Wolfram, Berylliumkupfer und Palladiumlegierung. Diese Materialien beeinflussen Härte, Leitfähigkeit und Verschleißfestigkeit. Die Wahl hängt von den Testanforderungen und dem Wafer-Pad-Material ab. Verifizieren Sie das verwendete Material mit dem Lieferanten.

Wie beeinflusst der Pitch die Kosten einer Probe Card?

Der Pitch, also der Abstand zwischen benachbarten Sonden, muss dem Wafer-Pad-Pitch entsprechen. Kleinere Pitches erhöhen die Fertigungskomplexität und die Kosten. Der typische Pitchbereich liegt zwischen 40 und 200 Mikrometern. Bestätigen Sie den erforderlichen Pitch für Ihr Wafer-Design mit dem Hersteller.

Was ist der Betriebstemperaturbereich für Probe Cards?

Der Betriebstemperaturbereich liegt typischerweise zwischen -40 und 150 Grad Celsius. Wärmeausdehnung kann die Ausrichtung beeinflussen, daher muss die Probe Card für die vorgesehene Testtemperatur ausgelegt sein. Bestätigen Sie den Temperaturbereich immer mit dem Hersteller für Ihre spezifischen Testbedingungen.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.09 · Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
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Anfrage

Beschaffungsinformationen anfragenfür Probe Card

Informationen zu Einsatzbereich, Spezifikationsgrenzen, Lieferantentypen und RFQ-Vorbereitung anfragen.

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Direkt an die CNFX-Redaktion — und an den Hersteller, sofern dieses Produkt mit einem bestätigten Profil verknüpft ist. Keine Weitergabe an eine Lieferantenliste.
Ihre Daten bleiben hier
Wir verkaufen oder vermieten keine Anfragedaten und nehmen Sie in keinen Verteiler auf. Nutzung ausschließlich zur Beantwortung dieser Anfrage.
Keine Provision, kein Zwischenhändler
CNFX ist ein Verzeichnis. Wir nehmen keinen Anteil an Aufträgen und verhandeln nicht im Namen eines Lieferanten.
Was wir nicht zusichern
Eine Listung ist keine Empfehlung. Prüfen Sie jeden Lieferanten und jeden Wert vor der Bestellung selbst.

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