Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Wafer-Handhabungsroboter im Bereich Herstellung von Computern, elektronischen und optischen Erzeugnissen anhand von Nutzlast bis Wafergröße eingeordnet.
Ein typisches Wafer-Handhabungsroboter wird durch die Baugruppe aus Endeffektor und Roboterarm beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.
Automatisiertes Robotersystem zur präzisen Handhabung und zum Transport von Halbleiterwafern in Fertigungsanlagen
Der Wafer-Handhabungsroboter verwendet Präzisions-Servomotoren und Linearantriebe, um seinen Roboterarm anzutreiben. Endeffektoren wie Vakuum- oder Kantengreifmechanismen nehmen Wafer sicher auf, transportieren und platzieren sie gemäß programmierten Trajektorien. Sensoren liefern Positionsfeedback und Kollisionsvermeidung, um genaue und sichere Operationen zu gewährleisten. Das Steuerungssystem interpretiert Befehle und koordiniert Bewegungen, oft mit mehreren Achsen für Flexibilität. Das Arbeitsprinzip betont Kontaminationskontrolle, da der Roboter in Reinraumumgebungen arbeitet, um Partikelbildung zu minimieren und die Waferreinheit zu erhalten.
| Parameter | Typischer Bereich | Hinweise & Auswahlkriterien |
|---|---|---|
| Nutzlast | 2–10 kg | Includes end effector and wafer cassette weight |
| Wafergröße | 150–300 mm | Supports 6, 8, and 12 inch wafersSEMI M1 |
| Wiederholgenauigkeit | ±0.02–±0.05 mm | Critical for wafer alignment in lithographyISO 9283 |
| Maximale Reichweite | 600–1200 mm | Determines equipment footprint and accessibility |
| Taktzeit | 2–5 s | Per wafer transfer, affects throughput |
| Betriebstemperatur | 15–35 °C | Cleanroom environment typical |
| Reinraumklasse | ISO 1–ISO 4 | Particle emission control for wafer integrityISO 14644-1 |
| Betriebsfeuchte | 20–60 % RH | Non-condensing |
| Stromversorgung | 200–240 V AC | Single phase, 50/60 HzIEC 60038 |
| Leistungsaufnahme | 0.5–2.0 kW | Depends on motion frequency and payload |
| Schutzart | IP54–IP65 | Higher rating for harsh environmentsIEC 60529 |
| Gewicht | 150–500 kg | Including controller and cables |
Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.
Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme
Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.
Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.
| Betriebsdruck: | Atmosphärisch (Reinraumumgebung) |
| Durchflussrate: | Nicht zutreffend für mechanische Handhabung |
| Betriebstemperatur: | 15-30°C (Reinraumumgebung) |
Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.
Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.
Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.
Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.
Laut den Referenzdaten unterstützt der Roboter Wafergrößen von 150–300 mm, was 6, 8 und 12 Zoll Wafern entspricht, gemäß SEMI M1. Die tatsächlich unterstützten Größen können jedoch je nach Modell variieren, daher ist es wichtig, dies mit dem Hersteller zu bestätigen.
Die Positionierwiederholbarkeit ist mit ±0,02–±0,05 mm gemäß ISO 9283 angegeben. Dies zeigt die Fähigkeit des Roboters, zu einer programmierten Position zurückzukehren, was für die Waferausrichtung in Prozessen wie Lithographie entscheidend ist. Verifizieren Sie den genauen Wert für das spezifische Modell.
Der Roboter ist für Reinraumumgebungen ausgelegt und für Reinheitsklassen von ISO 1 bis ISO 4 gemäß ISO 14644-1 bewertet. Dies gewährleistet geringe Partikelemission, aber die tatsächlich erreichte Klasse hängt vom Modell und den Installationsbedingungen ab.
Die Stromversorgung beträgt 200–240 V AC, einphasig, 50/60 Hz, gemäß IEC 60038. Die Leistungsaufnahme liegt zwischen 0,5 und 2,0 kW, abhängig von Bewegungsfrequenz und Nutzlast. Überprüfen Sie immer das Typenschild und bestätigen Sie mit dem Lieferanten.
CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.
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