XY-Positioniertisch

Ein XY-Positioniertisch ist eine kritische Unterkomponente eines Handlers oder Probers, der in automatisierten Testgeräten (ATE) für Halbleiter- und elektronische Komponententests verwendet wird. Er positioniert Prüflinge (DUTs) oder Testnadeln präzise in einer zweidimensionalen Ebene relativ zu Testkontakten oder Messinstrumenten und ermöglicht so automatisierte, hochdurchsatzfähige elektrische und funktionale Tests. Der Tisch besteht typischerweise aus einer starren Basis, zwei gestapelten linearen Achsen und präzisen Führungssystemen. Jede Achse wird von einem Motor angetrieben – entweder einem Schritt- oder Servomotor – über einen Kugelgewindetrieb oder einen Linearmotor, abhängig von erforderlichem Schub und Geschwindigkeit. Hochpräzise Linearkugelführungen oder Kreuzrollenlager gewährleisten eine reibungslose, genaue und wiederholbare Bewegung. Die Positionsrückmeldung erfolgt über lineare Encoder oder Resolver und bildet ein geschlossenes Regelungssystem, um eine Genauigkeit im Mikrometer- oder Submikrometerbereich zu erreichen. Der Tisch wird üblicherweise mit einem Aluminiumlegierungsrahmen, Edelstahlführungen und -spindeln sowie Keramik- oder Polymerverbundlagern hergestellt. Standardverfahrwege betragen 100–300 mm in X- und Y-Richtung, mit einer Positioniergenauigkeit von ±0,005 bis ±0,02 mm (einschließlich Umkehrspiel und Umkehrfehler) und einer unidirektionalen Wiederholbarkeit von ±0,002 bis ±0,01 mm, jeweils nach ISO 230-2. Die maximale Last beträgt 50–200 kg in horizontaler Ausrichtung, und die maximale Geschwindigkeit beträgt 100–500 mm/s, abhängig von Last und Motor. Die Betriebstemperatur beträgt 5–40 °C (nicht kondensierend), die Lagertemperatur -10–60 °C und die relative Luftfeuchtigkeit 20–80 % RH (nicht kondensierend). Die Schutzart ist IP40–IP54 nach IEC 60529. Die Versorgungsspannung beträgt 24 V DC ±10 % für Motoren und Steuerungen. Das Gewicht liegt je nach Verfahrweg und Lastkapazität zwischen 20 und 80 kg. Diese Werte sind Standardbereiche; kundenspezifische Konfigurationen sind verfügbar. Überprüfen Sie vor der Beschaffung oder Integration immer die modellspezifischen Werte und Normen mit dem Hersteller oder Lieferanten.

Der XY-Positioniertisch funktioniert, indem er die Rotationsbewegung von Motoren in präzise lineare Bewegung entlang zweier orthogonaler Achsen umwandelt. Jede Achse wird unabhängig angetrieben: Ein Servo- oder Schrittmotor dreht einen Kugelgewindetrieb oder treibt einen Linearmotor an, wodurch die Tischplatte bewegt wird. Hochpräzise Linearkugelführungen oder Kreuzrollenlager begrenzen die Bewegung auf eine einzelne Achse und minimieren Reibung und Verschleiß. Eine Bewegungssteuerung sendet Positionierbefehle an die Motorantriebe, und lineare Encoder oder Resolver liefern eine Echtzeit-Positionsrückmeldung. Die Steuerung vergleicht die befohlene Position mit der tatsächlichen Position und passt die Motorleistung an, wodurch ein geschlossener Regelkreis entsteht, der Fehler korrigiert und hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit erreicht. Die starre Konstruktion und vorgespannte Lager reduzieren Durchbiegung und Umkehrspiel und gewährleisten eine stabile Positionierung unter wechselnden Lasten.