Technische Definition
Der Gasinjektionsverteiler ist ein kritisches Bauteil in Gas-Spüleinheiten und Vakuumpumpensystemen und dient als zentrale Verteilungsstelle für die Einführung kontrollierter Gase in Vakuumkammern. Er verwaltet Gasdurchflussraten, Druckverteilung und gewährleistet eine gleichmäßige Gaszufuhr zu mehreren Injektionspunkten während Prozessen wie Inertgasspülung, Rückbefüllung oder Erzeugung kontrollierter Atmosphären. Der Verteiler erhält Gas von einer Versorgungsquelle über einen Haupteingang und verteilt es über interne Kanäle und Ventile an mehrere Ausgangsanschlüsse. Druckregler und Durchflussregler halten eine präzise Gaszufuhr zu verschiedenen Zonen des Vakuumsystems aufrecht und ermöglichen so ein kontrolliertes Atmosphärenmanagement während verschiedener industrieller Prozesse. Der Verteiler ist aus Edelstahl 316L oder Aluminiumlegierung gefertigt und für Langlebigkeit und Korrosionsbeständigkeit ausgelegt, insbesondere für hochreine Gase. Zu den wichtigsten Parametern gehören: Betriebsdruckbereich 1,0–1,6 MPa, 4–12 Anschlüsse, Anschlussgrößen von 1/4 bis 1 Zoll (Gewindeart G oder NPT), Durchflusskoeffizient (Cv) 0,5–2,5, Helium-Leckrate ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, Betriebstemperaturbereich -20–80°C, Gehäusematerial 316L, Dichtungsmaterial Viton, Oberflächenrauheit ≤0,8 μm Ra, Gewicht 2,5–8,0 kg, Montageart Flansch (ISO 5211) und Schutzart IP54–IP65. Der Verteiler ist heliumleckgetestet und für staubdichten und wasserfesten Betrieb ausgelegt. Referenznormen umfassen, ISO 228-1, ISO 15848-1, ASTM A276, ASTM D2000, ISO 4287, ISO 5211 und IEC 60529. Diese sind Beschaffungsreferenzen; verifizieren Sie modellspezifische Werte und Normen mit dem Hersteller oder Lieferanten.
Funktionsprinzip
Der Verteiler erhält Gas von einer Versorgungsquelle über einen Haupteingang und verteilt es über interne Kanäle und Ventile an mehrere Ausgangsanschlüsse. Druckregler und Durchflussregler halten eine präzise Gaszufuhr zu verschiedenen Zonen des Vakuumsystems aufrecht und ermöglichen so ein kontrolliertes Atmosphärenmanagement während verschiedener industrieller Prozesse. Das interne Design gewährleistet eine gleichmäßige Durchflussverteilung, während die Ventile eine individuelle Steuerung jedes Anschlusses ermöglichen. Der Betriebsdruckbereich beträgt 1,0–1,6 MPa, und der Durchflusskoeffizient (Cv) liegt je nach Anschlusskonfiguration zwischen 0,5 und 2,5. Der Verteiler ist heliumleckgetestet auf ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, was die Integrität sicherstellt. Die Flanschmontage (ISO 5211) ermöglicht die direkte Befestigung an der Vakuumkammer, und die Schutzart (IP54–IP65) gewährleistet staubdichten und wasserfesten Betrieb.
