Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Präzisions-Massendurchflussregler (MFC)

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) im Bereich Maschinen- und Anlagenbau anhand von Durchflussbereich bis Genauigkeit eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) wird durch die Baugruppe aus Durchflusssensor und Regelventil beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Ein Präzisionsinstrument, das den Massendurchfluss von Gasen in industriellen Prozessen misst und regelt.

Technische Definition

Dieser Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) ist eine Komponente in Gasgemisch- und Injektionssystemen, die den Massendurchfluss von Gasen präzise regelt, um eine genaue Gaszusammensetzung und Durchflusskontrolle in Fertigungs- und Forschungsanwendungen zu gewährleisten. Das Gerät verwendet typischerweise thermische Massendurchflussmessung (Messung der Wärmeübertragung von einem beheizten Element auf das strömende Gas) oder Coriolis-Kraftmessung und kombiniert diese mit einem Regelventil, das basierend auf dem Feedback des Durchflusssensors anpasst, um den gewünschten Sollwert zu halten. Der MFC ist aus Materialien wie Edelstahl, Aluminiumlegierung, Keramik und elektronischen Komponenten gefertigt. Zu den wichtigsten Parametern gehören: Durchflussbereich 0–100 L/min (Standardbereich; andere Bereiche auf Anfrage), Genauigkeit ±1,0 % vom Sollwert (einschließlich Linearität und Wiederholbarkeit), Wiederholbarkeit ±0,2 % vom Messbereichsendwert unter konstanten Bedingungen, Ansprechzeit 1–2 s (bis innerhalb 2 % des Sollwerts). Versorgungsspannung 24 ±10 % V DC mit Verpolungsschutz, Leistungsaufnahme ≤4 W bei Nennspannung, Analogausgang isoliert 4–20 mA (24-V-Schleife). Kommunikationsschnittstelle RS-485 mit Modbus-RTU-Protokoll. Schutzart IP54–IP65 (IP65 mit optionaler Kabelverschraubung) gemäß IEC 60529. Benetzte Materialien 316L-Edelstahl (optional Hastelloy C-22) gemäß ASTM A276. Gewicht 1,2–1,8 kg je nach Anschlüssen. Vor der Beschaffung müssen die modellspezifischen Werte und Normen mit dem Hersteller oder Lieferanten verifiziert werden.

Funktionsprinzip

Der MFC misst den Massendurchfluss von Gas entweder nach dem thermischen Prinzip oder nach dem Coriolis-Prinzip. Bei der thermischen Messung überträgt ein beheiztes Element Wärme auf das Gas; die Wärmeverlustrate korreliert mit dem Massendurchfluss. Bei der Coriolis-Messung strömt das Gas durch ein schwingendes Rohr, und die induzierte Phasenverschiebung ist proportional zum Massendurchfluss. Der Sensor sendet ein Signal an einen Regler, der es mit dem Sollwert vergleicht und ein Regelventil anpasst, um den Durchfluss zu erhöhen oder zu verringern. Diese geschlossene Regelschleife gewährleistet eine präzise Regelung. Das Gerät benötigt eine stabile Stromversorgung und eine ordnungsgemäße Installation, um die Genauigkeit zu erhalten.

Technische Parameter

Technische Parameter
ParameterTypischer BereichHinweise & Auswahlkriterien
Durchflussbereich0–100 L/minStandard range; other ranges available on request
Genauigkeit±1.0 % des SollwertsIncludes linearity and repeatability
Wiederholbarkeit±0.2 % des VollausschlagsUnder constant conditions
Ansprechzeit1–2 sTo within 2% of setpoint
Betriebstemperatur0–50 °CFor electronics; sensor may have wider range
Versorgungsspannung24 ±10% V DCVerpolungsgeschützt
Leistungsaufnahme≤4 WAt nominal voltage
Analogausgang4–20 mAIsolated, 24 V loop powered
KommunikationsschnittstelleRS-485Modbus RTU protocol
SchutzartIP54–IP65IP65 with optional cable glandIEC 60529
Medienberührte Materialien316LOptional Hastelloy C-22ASTM A276
Gewicht1.2–1.8 kgDepending on fittings

Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.

Hauptmaterialien

Edelstahl Aluminiumlegierung Keramik Elektronische Komponenten

Komponenten / BOM

Components / BOM
  • Durchflusssensor
    Misst die tatsächliche Massendurchflussrate des durch den Regler strömenden Gases
    Material: Edelstahl, Keramik
  • Regelventil
    Passt den Strömungsquerschnitt basierend auf Signalen des Reglers an, um den gewünschten Durchfluss zu erreichen
    Material: Edelstahl
  • Steuerungselektronik
    Verarbeitet Sensorsignale, vergleicht mit Sollwert und steuert das Stellventil
    Material: Elektronische Bauteile, Leiterplatte
  • Gehäuse/Körper
    Bietet strukturelle Integrität und beherbergt interne Komponenten
    Material: Edelstahl, Aluminiumlegierung

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Partikelkontamination >5 μm im Gasstrom über 1000 ppm Konzentration Regelventilsitz-Erosion, die Durchflusshysterese >2 % des Sollwertes verursacht Installieren Sie einen 0,1 μm Absolutfilter mit Differenzdrucküberwachung bei 0,5 psi Alarmgrenzwert.
Umgebungstemperaturzyklen außerhalb des 0-50°C-Bereichs mit einer Rate >10°C/min Thermische Spannungsrissbildung im Borosilikatglas-Kapillarsensor bei 3,25 MPa Zugspannungsgrenze Implementieren Sie ein PID-geregeltes Thermo-Gehäuse, das 25±0,5°C mit maximaler Anstiegsrate von 0,1°C/min aufrechterhält.

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
0-1000 sccm bei 0-100 psig Einlassdruck, 0-50°C Betriebstemperatur.
Belastungs- und Ausfallgrenzen
Durchflussmessabweichung über ±0,8 % des Messwertes + ±0,2 % des Endwertes bei 25°C oder Regelventil-Ansprechzeit >150 ms.
Thermische Drift im Kapillarrohrsensor aufgrund von Seebeck-Effekt-Koeffizientenabweichung über 50 μV/K oder Regelventilsitzverschleiß, der zu einer Durchflusskoeffizienten (Cv)-Abweichung >5 % vom kalibrierten Wert führt.
Fertigungskontext
Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) wird innerhalb von Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Weitere Produktbezeichnungen

precision mass flow controller

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Industrielles Ökosystem und Lieferkette

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Betriebsdruck:0 bis 1000 psig (typisch), bis 3000 psig verfügbar
Durchflussrate:0,01 sccm bis 500 slm (modellabhängig)
Betriebstemperatur:-20°C bis 70°C (Betrieb), -40°C bis 85°C (Lagerung)
Montage- und Anwendungskompatibilität
Inerte Gase (N2, Ar, He)Korrosive Gase (HCl, Cl2) mit geeigneten benetzten MaterialienReaktive Gase (SiH4, NH3) mit kompatiblen Dichtungen
Nicht geeignet: Partikelbeladene Gase oder Suspensionen (verursachen Sensorverschmutzung und Kalibrierungsabweichung)
Auslegungsdaten
  • Erforderlicher Durchflussbereich (Minimum und Maximum)
  • Gastyp und -eigenschaften (Molekulargewicht, Viskosität)
  • Prozessdruck- und Temperaturbedingungen

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Sensorabweichung oder Kontamination
Ursache: Ablagerung von Partikeln oder Prozessrückständen auf dem thermischen Sensor oder im Strömungspfad, was zu ungenauen Durchflussmesswerten und Kalibrierungsverlust führt.
Ventilsitzverschleiß oder -klemmung
Ursache: Wiederholte Zyklen, Exposition gegenüber korrosiven oder abrasiven Medien oder thermische Zyklen, die zu mechanischer Degradation führen, was zu Durchflussregelungsinstabilität oder Regulierungsversagen führt.
Wartungsindikatoren
  • Instabile oder unregelmäßige Durchflussmesswerte trotz stabiler Prozessbedingungen
  • Hörbares Klicken, Summen oder Schleifgeräusche vom Ventilaggregat während des Betriebs
Technische Hinweise
  • Implementieren Sie regelmäßige Kalibrierungsprüfungen und Inline-Filtration, um Sensorverschmutzung zu verhindern und die Messgenauigkeit aufrechtzuerhalten.
  • Verwenden Sie kompatible, saubere, trockene Prozessgase und vermeiden Sie thermischen Schock durch ordnungsgemäßes thermisches Management während des An- und Abfahrens.

Konformität und Fertigungsnormen

Referenznormen
ISO 5167-1:2022 (Messung des Durchflusses von Fluiden mit Differenzdruckgeräten)ANSI/ISA-75.05.01-2000 (Regelventil-Terminologie)DIN EN 60534-2-1 (Stellventile für die Prozessregelung - Durchflusskapazität)
Fertigungsgenauigkeit
  • Durchflussgenauigkeit: +/-0,5 % des Endwertes
  • Wiederholgenauigkeit: +/-0,2 % des Messwertes
Qualitätsprüfung
  • Dichtheitsprüfung (Helium-Massenspektrometrie)
  • Kalibrierungsverifizierung gegen NIST-rückführbare Standards

Hersteller von Präzisions-Massendurchflussregler (MFC)

Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

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Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

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Häufige Fragen

Was ist der Durchflussbereich dieses MFC?

Der Standard-Durchflussbereich beträgt 0–100 L/min, andere Bereiche sind auf Anfrage erhältlich. Bestätigen Sie den spezifischen Bereich für Ihre Anwendung mit dem Hersteller.

Wie hoch ist die Genauigkeit des MFC?

Die Genauigkeit beträgt ±1,0 % vom Sollwert, einschließlich Linearität und Wiederholbarkeit. Dies ist ein Referenzwert; verifizieren Sie die tatsächliche Genauigkeit für Ihr Modell.

Welche Kommunikationsschnittstellen werden unterstützt?

Der MFC unterstützt RS-485 mit Modbus-RTU-Protokoll und bietet einen isolierten 4–20-mA-Analogausgang. Prüfen Sie die Kompatibilität mit Ihrem System.

Was sind die Betriebsdruck- und Temperaturgrenzen?

Die Betriebstemperatur beträgt 0–50 °C für die Elektronik; der Sensor kann einen größeren Bereich haben. Verifizieren Sie dies immer mit dem Hersteller.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.09 · Maschinen- und Anlagenbau

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.
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Was wir nicht zusichern
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