Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Präzisions-Massendurchflussregler (MFC)

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) im Bereich Maschinen- und Anlagenbau anhand von Durchflussbereich bis Genauigkeit eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) wird durch die Baugruppe aus Durchflusssensor und Regelventil beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Ein Präzisionsinstrument, das den Massendurchfluss von Gasen in industriellen Prozessen misst und regelt.

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Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) in einer industriellen Fertigungsumgebung — Repräsentative Produktabbildung. Aussehen und Spezifikationen mit dem Hersteller bestätigen.

Produktspezifikationen

Technische Details und Fertigungskontext für Präzisions-Massendurchflussregler (MFC)

Technische Definition

Dieser Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) ist eine Komponente in Gasgemisch- und Injektionssystemen, die den Massendurchfluss von Gasen präzise regelt, um eine genaue Gaszusammensetzung und Durchflusskontrolle in Fertigungs- und Forschungsanwendungen zu gewährleisten. Das Gerät verwendet typischerweise thermische Massendurchflussmessung (Messung der Wärmeübertragung von einem beheizten Element auf das strömende Gas) oder Coriolis-Kraftmessung und kombiniert diese mit einem Regelventil, das basierend auf dem Feedback des Durchflusssensors anpasst, um den gewünschten Sollwert zu halten. Der MFC ist aus Materialien wie Edelstahl, Aluminiumlegierung, Keramik und elektronischen Komponenten gefertigt. Zu den wichtigsten Parametern gehören: Durchflussbereich 0–100 L/min (Standardbereich; andere Bereiche auf Anfrage), Genauigkeit ±1,0 % vom Sollwert (einschließlich Linearität und Wiederholbarkeit), Wiederholbarkeit ±0,2 % vom Messbereichsendwert unter konstanten Bedingungen, Ansprechzeit 1–2 s (bis innerhalb 2 % des Sollwerts). Versorgungsspannung 24 ±10 % V DC mit Verpolungsschutz, Leistungsaufnahme ≤4 W bei Nennspannung, Analogausgang isoliert 4–20 mA (24-V-Schleife). Kommunikationsschnittstelle RS-485 mit Modbus-RTU-Protokoll. Schutzart IP54–IP65 (IP65 mit optionaler Kabelverschraubung) gemäß IEC 60529. Benetzte Materialien 316L-Edelstahl (optional Hastelloy C-22) gemäß ASTM A276. Gewicht 1,2–1,8 kg je nach Anschlüssen. Vor der Beschaffung müssen die modellspezifischen Werte und Normen mit dem Hersteller oder Lieferanten verifiziert werden.

Funktionsprinzip

Der MFC misst den Massendurchfluss von Gas entweder nach dem thermischen Prinzip oder nach dem Coriolis-Prinzip. Bei der thermischen Messung überträgt ein beheiztes Element Wärme auf das Gas; die Wärmeverlustrate korreliert mit dem Massendurchfluss. Bei der Coriolis-Messung strömt das Gas durch ein schwingendes Rohr, und die induzierte Phasenverschiebung ist proportional zum Massendurchfluss. Der Sensor sendet ein Signal an einen Regler, der es mit dem Sollwert vergleicht und ein Regelventil anpasst, um den Durchfluss zu erhöhen oder zu verringern. Diese geschlossene Regelschleife gewährleistet eine präzise Regelung. Das Gerät benötigt eine stabile Stromversorgung und eine ordnungsgemäße Installation, um die Genauigkeit zu erhalten.

Hauptmaterialien

Edelstahl, Aluminiumlegierung, Keramik, Elektronische Komponenten

Technische Parameter

Parameter	Typischer Bereich	Hinweise & Auswahlkriterien
Durchflussbereich	0–100 L/min	Standard range; other ranges available on request
Genauigkeit	±1.0 % des Sollwerts	Includes linearity and repeatability
Wiederholbarkeit	±0.2 % des Vollausschlags	Under constant conditions
Ansprechzeit	1–2 s	To within 2% of setpoint
Betriebstemperatur	0–50 °C	For electronics; sensor may have wider range
Versorgungsspannung	24 ±10% V DC	Verpolungsgeschützt
Leistungsaufnahme	≤4 W	At nominal voltage
Analogausgang	4–20 mA	Isolated, 24 V loop powered
Kommunikationsschnittstelle	RS-485	Modbus RTU protocol
Schutzart	IP54–IP65	IP65 with optional cable glandIEC 60529
Medienberührte Materialien	316L	Optional Hastelloy C-22ASTM A276
Gewicht	1.2–1.8 kg	Depending on fittings

Die Bereiche sind branchenübliche Richtwerte zur Angebotsvorbereitung und keine Zusage des Lieferanten. Bestätigen Sie jeden Wert und jede Norm vor der Bestellung beim rechtlichen Hersteller.

Komponenten / BOM

Durchflusssensor
Misst die tatsächliche Massendurchflussrate des durch den Regler strömenden Gases
Material: Edelstahl, Keramik
Regelventil
Passt den Strömungsquerschnitt basierend auf Signalen des Reglers an, um den gewünschten Durchfluss zu erreichen
Material: Edelstahl
Steuerungselektronik
Verarbeitet Sensorsignale, vergleicht mit Sollwert und steuert das Stellventil
Material: Elektronische Bauteile, Leiterplatte
Gehäuse/Körper
Bietet strukturelle Integrität und beherbergt interne Komponenten
Material: Edelstahl, Aluminiumlegierung

Anwendung und Auswahl

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen

Betriebsdruck:	0 bis 1000 psig (typisch), bis 3000 psig verfügbar
Durchflussrate:	0,01 sccm bis 500 slm (modellabhängig)
Betriebstemperatur:	-20°C bis 70°C (Betrieb), -40°C bis 85°C (Lagerung)

Montage- und Anwendungskompatibilität

Inerte Gase (N2, Ar, He)Korrosive Gase (HCl, Cl2) mit geeigneten benetzten MaterialienReaktive Gase (SiH4, NH3) mit kompatiblen Dichtungen

Nicht geeignet: Partikelbeladene Gase oder Suspensionen (verursachen Sensorverschmutzung und Kalibrierungsabweichung)

Auslegungsdaten

Erforderlicher Durchflussbereich (Minimum und Maximum)
Gastyp und -eigenschaften (Molekulargewicht, Viskosität)
Prozessdruck- und Temperaturbedingungen

Ergänzende technische Angaben

Technische Bewertung

Betriebsbereich

0-1000 sccm bei 0-100 psig Einlassdruck, 0-50°C Betriebstemperatur.

Belastungs- und Ausfallgrenzen

Durchflussmessabweichung über ±0,8 % des Messwertes + ±0,2 % des Endwertes bei 25°C oder Regelventil-Ansprechzeit >150 ms.

Thermische Drift im Kapillarrohrsensor aufgrund von Seebeck-Effekt-Koeffizientenabweichung über 50 μV/K oder Regelventilsitzverschleiß, der zu einer Durchflusskoeffizienten (Cv)-Abweichung >5 % vom kalibrierten Wert führt.

Fertigungskontext

Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) wird innerhalb von Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Risiken, Wartung und Normen

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache

Sensorabweichung oder Kontamination

Ursache: Ablagerung von Partikeln oder Prozessrückständen auf dem thermischen Sensor oder im Strömungspfad, was zu ungenauen Durchflussmesswerten und Kalibrierungsverlust führt.

Ventilsitzverschleiß oder -klemmung

Ursache: Wiederholte Zyklen, Exposition gegenüber korrosiven oder abrasiven Medien oder thermische Zyklen, die zu mechanischer Degradation führen, was zu Durchflussregelungsinstabilität oder Regulierungsversagen führt.

Wartungsindikatoren

Instabile oder unregelmäßige Durchflussmesswerte trotz stabiler Prozessbedingungen
Hörbares Klicken, Summen oder Schleifgeräusche vom Ventilaggregat während des Betriebs

Technische Hinweise

Implementieren Sie regelmäßige Kalibrierungsprüfungen und Inline-Filtration, um Sensorverschmutzung zu verhindern und die Messgenauigkeit aufrechtzuerhalten.
Verwenden Sie kompatible, saubere, trockene Prozessgase und vermeiden Sie thermischen Schock durch ordnungsgemäßes thermisches Management während des An- und Abfahrens.

Konformität und Fertigungsnormen

Referenznormen

ISO 5167-1:2022 (Messung des Durchflusses von Fluiden mit Differenzdruckgeräten)ANSI/ISA-75.05.01-2000 (Regelventil-Terminologie)DIN EN 60534-2-1 (Stellventile für die Prozessregelung - Durchflusskapazität)

Fertigungsgenauigkeit

Durchflussgenauigkeit: +/-0,5 % des Endwertes
Wiederholgenauigkeit: +/-0,2 % des Messwertes

Qualitätsprüfung

Dichtheitsprüfung (Helium-Massenspektrometrie)
Kalibrierungsverifizierung gegen NIST-rückführbare Standards

Fehleranalyse

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Partikelkontamination >5 μm im Gasstrom über 1000 ppm Konzentration → Regelventilsitz-Erosion, die Durchflusshysterese >2 % des Sollwertes verursacht → Installieren Sie einen 0,1 μm Absolutfilter mit Differenzdrucküberwachung bei 0,5 psi Alarmgrenzwert.

Umgebungstemperaturzyklen außerhalb des 0-50°C-Bereichs mit einer Rate >10°C/min → Thermische Spannungsrissbildung im Borosilikatglas-Kapillarsensor bei 3,25 MPa Zugspannungsgrenze → Implementieren Sie ein PID-geregeltes Thermo-Gehäuse, das 25±0,5°C mit maximaler Anstiegsrate von 0,1°C/min aufrechterhält.

Beschaffungscheckliste

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Prüfen Sie diese Unterlagen vor einer Bestellung.

Technische Dokumentation

Aktuelle Zeichnungen, Revisionsstand und Spezifikationsblatt anfordern.

Fertigungsfähigkeit

Anlagen, Prozessgrenzen und nachvollziehbare Fertigungsbelege prüfen.

Prüfbarkeit

Prüfmethoden, Messmittel und rückverfolgbare Prüfberichte bestätigen.

Lieferantentransparenz

Rechtsträger, Standort, Zertifikatsumfang und direkte Kontakte prüfen.

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

Hersteller von Präzisions-Massendurchflussregler (MFC)

Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.

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Ihre Daten bleiben hier: Wir verkaufen oder vermieten keine Anfragedaten und nehmen Sie in keinen Verteiler auf. Nutzung ausschließlich zur Beantwortung dieser Anfrage.
Keine Provision, kein Zwischenhändler: CNFX ist ein Verzeichnis. Wir nehmen keinen Anteil an Aufträgen und verhandeln nicht im Namen eines Lieferanten.
Angaben für Ihre Anfrage: Nennen Sie Produktspezifikationen, Menge, Lieferort und gewünschten Termin.

Häufige Fragen

Was ist der Durchflussbereich dieses MFC?

Der Standard-Durchflussbereich beträgt 0–100 L/min, andere Bereiche sind auf Anfrage erhältlich. Bestätigen Sie den spezifischen Bereich für Ihre Anwendung mit dem Hersteller.

Wie hoch ist die Genauigkeit des MFC?

Die Genauigkeit beträgt ±1,0 % vom Sollwert, einschließlich Linearität und Wiederholbarkeit. Dies ist ein Referenzwert; verifizieren Sie die tatsächliche Genauigkeit für Ihr Modell.

Welche Kommunikationsschnittstellen werden unterstützt?

Der MFC unterstützt RS-485 mit Modbus-RTU-Protokoll und bietet einen isolierten 4–20-mA-Analogausgang. Prüfen Sie die Kompatibilität mit Ihrem System.

Was sind die Betriebsdruck- und Temperaturgrenzen?

Die Betriebstemperatur beträgt 0–50 °C für die Elektronik; der Sensor kann einen größeren Bereich haben. Verifizieren Sie dies immer mit dem Hersteller.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.11 · Maschinen- und Anlagenbau