Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Präzisions-Massenstromregler (MFC)

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Präzisions-Massenstromregler (MFC) im Bereich Maschinen- und Anlagenbau anhand von Standardkonfiguration bis Schwerlastanforderung eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Präzisions-Massenstromregler (MFC) wird durch die Baugruppe aus Durchflusssensor und Regelventil beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Ein Präzisionsinstrument, das den Massenstrom von Gasen in industriellen Prozessen misst und regelt.

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Technische Definition

Eine kritische Komponente in Gas-Misch- und Einspritzsystemen, die den Massenstrom von Gasen präzise regelt, um eine genaue Gaszusammensetzung und Durchflusskontrolle in verschiedenen Fertigungs- und Forschungsanwendungen sicherzustellen.

Funktionsprinzip

Typischerweise wird die thermische Massenstrommessung (Messung des Wärmeübergangs von einem beheizten Element zum strömenden Gas) oder die Coriolis-Kraftmessung verwendet, kombiniert mit einem Regelventil, das basierend auf Rückmeldungen vom Durchflusssensor den gewünschten Sollwert einstellt.

Hauptmaterialien

Edelstahl Aluminiumlegierung Keramik Elektronische Komponenten

Komponenten / BOM

Durchflusssensor
Misst die tatsächliche Massendurchflussrate des durch den Regler strömenden Gases
Material: Edelstahl, Keramik
Regelventil
Passt den Strömungsquerschnitt basierend auf Signalen des Reglers an, um den gewünschten Durchfluss zu erreichen
Material: Edelstahl
Steuerungselektronik
Verarbeitet Sensorsignale, vergleicht mit Sollwert und steuert das Stellventil
Material: Elektronische Bauteile, Leiterplatte
Gehäuse/Körper
Bietet strukturelle Integrität und beherbergt interne Komponenten
Material: Edelstahl, Aluminiumlegierung

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Partikelkontamination >5 μm im Gasstrom über 1000 ppm Konzentration → Regelventilsitz-Erosion, die Durchflusshysterese >2 % des Sollwertes verursacht → Installieren Sie einen 0,1 μm Absolutfilter mit Differenzdrucküberwachung bei 0,5 psi Alarmgrenzwert.
Umgebungstemperaturzyklen außerhalb des 0-50°C-Bereichs mit einer Rate >10°C/min → Thermische Spannungsrissbildung im Borosilikatglas-Kapillarsensor bei 3,25 MPa Zugspannungsgrenze → Implementieren Sie ein PID-geregeltes Thermo-Gehäuse, das 25±0,5°C mit maximaler Anstiegsrate von 0,1°C/min aufrechterhält.

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
0-1000 sccm bei 0-100 psig Einlassdruck, 0-50°C Betriebstemperatur.
Belastungs- und Ausfallgrenzen
Durchflussmessabweichung über ±0,8 % des Messwertes + ±0,2 % des Endwertes bei 25°C oder Regelventil-Ansprechzeit >150 ms.
Thermische Drift im Kapillarrohrsensor aufgrund von Seebeck-Effekt-Koeffizientenabweichung über 50 μV/K oder Regelventilsitzverschleiß, der zu einer Durchflusskoeffizienten (Cv)-Abweichung >5 % vom kalibrierten Wert führt.
Fertigungskontext
Präzisions-Massenstromregler (MFC) wird innerhalb von Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Massenstromregler MFC Gasdurchflussregelung Präzisionsinstrument industrielle Prozesssteuerung DIN-Standard thermische Durchflussmessung Coriolis-Durchflussmessung

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Gasmisch- und Injektionssystem
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Industrielles Ökosystem und Lieferkette

Ergänzende Systeme
Nachgelagerte Anwendungen
Spezialwerkzeuge

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Traglast:0 bis 1000 psig (typisch), bis 3000 psig verfügbar
Verstellbereich / Reichweite:0,01 sccm bis 500 slm (modellabhängig)
Einsatztemperatur:-20°C bis 70°C (Betrieb), -40°C bis 85°C (Lagerung)
Montage- und Anwendungskompatibilität
Inerte Gase (N2, Ar, He)Korrosive Gase (HCl, Cl2) mit geeigneten benetzten MaterialienReaktive Gase (SiH4, NH3) mit kompatiblen Dichtungen
Nicht geeignet: Partikelbeladene Gase oder Suspensionen (verursachen Sensorverschmutzung und Kalibrierungsabweichung)
Auslegungsdaten
  • Erforderlicher Durchflussbereich (Minimum und Maximum)
  • Gastyp und -eigenschaften (Molekulargewicht, Viskosität)
  • Prozessdruck- und Temperaturbedingungen

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Sensorabweichung oder Kontamination
Cause: Ablagerung von Partikeln oder Prozessrückständen auf dem thermischen Sensor oder im Strömungspfad, was zu ungenauen Durchflussmesswerten und Kalibrierungsverlust führt.
Ventilsitzverschleiß oder -klemmung
Cause: Wiederholte Zyklen, Exposition gegenüber korrosiven oder abrasiven Medien oder thermische Zyklen, die zu mechanischer Degradation führen, was zu Durchflussregelungsinstabilität oder Regulierungsversagen führt.
Wartungsindikatoren
  • Instabile oder unregelmäßige Durchflussmesswerte trotz stabiler Prozessbedingungen
  • Hörbares Klicken, Summen oder Schleifgeräusche vom Ventilaggregat während des Betriebs
Technische Hinweise
  • Implementieren Sie regelmäßige Kalibrierungsprüfungen und Inline-Filtration, um Sensorverschmutzung zu verhindern und die Messgenauigkeit aufrechtzuerhalten.
  • Verwenden Sie kompatible, saubere, trockene Prozessgase und vermeiden Sie thermischen Schock durch ordnungsgemäßes thermisches Management während des An- und Abfahrens.

Compliance & Manufacturing Standards

Reference Standards
ISO 5167-1:2022 (Messung des Durchflusses von Fluiden mit Differenzdruckgeräten)ANSI/ISA-75.05.01-2000 (Regelventil-Terminologie)DIN EN 60534-2-1 (Stellventile für die Prozessregelung - Durchflusskapazität)
Manufacturing Precision
  • Durchflussgenauigkeit: +/-0,5 % des Endwertes
  • Wiederholgenauigkeit: +/-0,2 % des Messwertes
Quality Inspection
  • Dichtheitsprüfung (Helium-Massenspektrometrie)
  • Kalibrierungsverifizierung gegen NIST-rückführbare Standards

Hersteller, die dieses Produkt fertigen

Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.

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Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

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Häufige Fragen

Welche Materialien werden für die Konstruktion dieses Präzisions-Massenstromreglers verwendet?

Unser MFC ist aus langlebigem Edelstahl und Aluminiumlegierungsgehäuse, keramischen Durchflusssensoren und hochwertigen elektronischen Komponenten für zuverlässige Leistung in industriellen Umgebungen aufgebaut.

Wie hält der Präzisions-Massenstromregler die Genauigkeit bei der Gasdurchflussmessung aufrecht?

Der Regler verwendet einen präzisen Durchflusssensor in Kombination mit einem elektronischen Regelventil und anspruchsvoller Steuerelektronik, um Gasdurchflussraten kontinuierlich mit hoher Genauigkeit zu überwachen und anzupassen.

Für welche industriellen Anwendungen in der Maschinenfertigung ist dieser MFC geeignet?

Dieser Präzisions-Massenstromregler ist ideal für Anwendungen, die eine präzise Gasregelung in der Maschinenfertigung erfordern, einschließlich Prozessautomatisierung, Gerätekalibrierung und industriellen Gasversorgungssystemen.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.
CNFX Industrial Index v2.6.05 · Maschinen- und Anlagenbau

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.

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