Technische Definition
Ein Halbleiter-Testhandler ist ein automatisiertes Materialhandhabungssystem, das in der Halbleiterfertigung eingesetzt wird, um integrierte Schaltungen (ICs) oder andere Halbleiterbauelemente während elektrischer Tests zu transportieren, zu positionieren und zu sortieren. Es kommuniziert mit automatischen Testgeräten (ATE), um funktionale, parametrische und Zuverlässigkeitstests an gehäusten Bauelementen durchzuführen und sortiert sie dann basierend auf den Testergebnissen (z. B. bestanden/nicht bestanden, Geschwindigkeitsklassen) in Behälter. Der Handler empfängt Bauelemente von Eingabeschalen oder -röhren und verwendet Pick-and-Place-Mechanismen, Förderbänder oder schwerkraftgespeiste Bahnen, um einzelne Bauelemente zu Teststellen zu transportieren. An jeder Teststelle stellt das Bauelement elektrischen Kontakt mit Testsockeln her, die mit ATE verbunden sind. Nach dem Test bewegt der Handler das Bauelement zu einem Ausgabeort, der seiner Testergebniskategorie entspricht. Fortschrittliche Handler können Temperaturkontrollsysteme für Tests bei bestimmten Temperaturen und Vision-Systeme für Ausrichtung und Inspektion umfassen. Typische Spezifikationen umfassen Durchsatz von 3000–8000 Einheiten pro Stunde, Temperaturbereich von -40 bis 125 °C, Bauelementgrößenbereich von 2×2 bis 45×45 mm, 4–16 Teststellen, 8–32 Sortierbehälter, Platzierungsgenauigkeit von ±0,05 mm, Indexzeit von 0,5–2,0 Sekunden, Eingangsspannung von 220–480 V AC, Leistungsaufnahme von 2–5 kW, Luftversorgungsdruck von 0,5–0,7 MPa, Betriebsfeuchtigkeit von 20–80 % relative Feuchte, Maschinengewicht von 1500–3000 kg, Stellfläche von 2,5–5,0 m² und Schutzart IP54–IP65 (gemäß IEC 60529). Verwendete Materialien umfassen Edelstahl, Aluminiumlegierung, technische Kunststoffe und Keramik. Diese Werte sind Referenzbereiche und müssen mit dem Hersteller für spezifische Modelle und Anwendungen verifiziert werden. Der Handler ist für die Hochvolumenprüfung und Sortierung von Halbleiterbauelementen unerlässlich und gewährleistet Qualität und Leistungseinstufung.
Funktionsprinzip
Der Handler empfängt Halbleiterbauelemente von Eingabeschalen oder -röhren und verwendet dann Pick-and-Place-Mechanismen, Förderbänder oder schwerkraftgespeiste Bahnen, um einzelne Bauelemente zu Teststellen zu transportieren. An jeder Teststelle stellt das Bauelement elektrischen Kontakt mit Testsockeln her, die mit automatischen Testgeräten (ATE) verbunden sind. Nach dem Test bewegt der Handler das Bauelement zu einem Ausgabeort, der seiner Testergebniskategorie entspricht. Fortschrittliche Handler können Temperaturkontrollsysteme für Tests bei bestimmten Temperaturen und Vision-Systeme für Ausrichtung und Inspektion umfassen.
