Strukturierte Fertigungsdaten · 2026

Hochvakuumpumpe

Auf Basis strukturierter CNFX-Herstellerprofile wird Hochvakuumpumpe im Bereich Maschinen- und Anlagenbau anhand von Standardkonfiguration bis Schwerlastanforderung eingeordnet.

Technische Definition und Kernbaugruppe

Ein typisches Hochvakuumpumpe wird durch die Baugruppe aus Rotor und Stator beschrieben. Für industrielle Anwendungen werden Materialauswahl, Fertigungsprozess und Prüfbarkeit gemeinsam bewertet.

Eine spezialisierte Pumpe, die entwickelt wurde, um sehr niedrige Druckniveaus (typischerweise unter 10^-3 mbar) in einem Vakuumsystem zu erreichen und aufrechtzuerhalten.

Technische Definition

Eine Hochvakuumpumpe ist eine kritische Komponente eines Vakuumpumpsystems, die für die Erzeugung und Aufrechterhaltung des Hochvakuumumfelds verantwortlich ist, das für verschiedene industrielle und wissenschaftliche Prozesse erforderlich ist. Sie arbeitet, nachdem eine Vorpumpe (Grobvakuumpumpe) den Druck auf ein Niveau reduziert hat, bei dem Hochvakuumpumpmechanismen wirksam werden, wodurch das System seinen endgültigen Niederdruck-Betriebsbereich erreichen kann.

Funktionsprinzip

Hochvakuumpumpen arbeiten typischerweise nach Prinzipien wie Impulsübertragung (z.B. Turbomolekularpumpen, die hochrotierende Schaufeln verwenden, um Gasmoleküle zum Auslass zu leiten) oder Gasaufnahme (z.B. Kryopumpen, die Gasmoleküle auf extrem kalten Oberflächen kondensieren und einfangen, oder Ionenzerstäubungspumpen, die elektrische Felder verwenden, um Gase zu ionisieren und in einem Kathodenmaterial einzulagern).

Hauptmaterialien

Edelstahl Aluminiumlegierungen Spezialkeramiken

Komponenten / BOM

Rotor
Hochgeschwindigkeits-Rotorkomponente (in Turbomolekularpumpen), die Impuls auf Gasmoleküle überträgt und sie zur Auslassseite lenkt.
Material: Aluminiumlegierung oder Titan
Stationäre Komponente mit Schaufeln, die in Verbindung mit dem Rotor arbeiten, um den Gasfluss zu führen und die Pumpeneffizienz zu steigern.
Material: Edelstahl oder Aluminium
Trägt den Hochgeschwindigkeitsrotor, typischerweise unter Verwendung von Magnetlagerung oder Keramikkugellagern zur Minimierung von Reibung und Kontamination.
Material: Keramiken, Speziallegierungen

FMEA · Fehleranalyse

Ursache → Fehlermodus → Engineering-Maßnahme

Ölkontamination über 100 ppm Partikelkonzentration Rotierende Flügelblockierung bei 3000 U/min Betriebsdrehzahl Integriertes 0,1 µm Absolutfiltersystem mit Differenzdrucküberwachung bei 0,5 bar Schwellenwert
Kühlwassertemperatur über 25°C für 60 Minuten Thermische Ausdehnung verursacht 0,05 mm Rotor-Stator-Spielverletzung Redundante thermoelektrische Kühlung, die 15±2°C mit 2×10³ W Wärmeabfuhrkapazität aufrechterhält

Technische Bewertung

Betriebsbereich
Betriebsbereich
1×10⁻⁹ bis 1×10⁻³ mbar
Belastungs- und Ausfallgrenzen
1×10⁻⁹ mbar Enddruckschwelle
Molekulare Rückströmung über 1×10⁻⁶ mbar·L/s bei Enddruck aufgrund von Dampfdruckgrenzen der Pumpenflüssigkeiten und Ausgasung von Innenflächen
Fertigungskontext
Hochvakuumpumpe wird innerhalb von Maschinen- und Anlagenbau nach Material, Prozessfenster und Prüfanforderungen bewertet.

Taxonomie und Suchbegriffe

Suchbegriffe, Aliase und technische Bezeichnungen für diesen CNFX Datensatz.

Anwendungen / Eingebaute Systeme

Dieses Teil oder Produkt erscheint in den folgenden Systemen und Maschinen.

Industrielles Ökosystem und Lieferkette

Eignung und Auslegungsdaten

Betriebsgrenzen
Traglast:Endvakuum: <10^-3 mbar, Einlassdruckbereich: 10^-3 bis 1013 mbar
Verstellbereich / Reichweite:Saugvermögen: 1-1000 m³/h (modellabhängig), Leistungsaufnahme: 0,5-15 kW, Maximale Partikelgröße: <5 µm, Ölfreier Betrieb
Einsatztemperatur:-20°C bis +80°C (Betrieb), -40°C bis +100°C (Lagerung)
Montage- und Anwendungskompatibilität
Trockene Gase (N2, Ar, He)Halbleiterprozessgase (SF6, CF4)Hochreine analytische Anwendungen
Nicht geeignet: Korrosive oder reaktive Gase (HCl, Cl2) ohne spezielle Beschichtungen
Auslegungsdaten
  • Erforderliches Endvakuumniveau (mbar)
  • Erforderliches Saugvermögen bei Betriebsdruck (m³/h)
  • Prozessgaszusammensetzung und Durchflussrate (sccm oder slm)

Zuverlässigkeits- und Risikoanalyse

Ausfallmodus und Ursache
Ölkontamination und -abbau
Cause: Eindringen von Prozessgasen, Feuchtigkeit oder Partikeln in das Pumpenöl, was zu chemischem Abbau, erhöhter Viskosität und Verlust der Schmiereigenschaften führt, oft aufgrund unzureichender Filtration, unsachgemäßer Gasballastung oder Dichtungsversagens.
Lagerausfall
Cause: Hochgeschwindigkeitsbetrieb unter Last ohne ausreichende Schmierung oder Kühlung, verschärft durch Fehlausrichtung, Vibration oder thermische Belastung, was zu Verschleiß, Überhitzung und schließlich Blockierung oder katastrophalem Ausfall führt.
Wartungsindikatoren
  • Ungewöhnliche hochfrequente Quietsch- oder Schleifgeräusche aus dem Pumpengehäuse, die auf Lager verschleiß oder Rotorkontakt hinweisen.
  • Sichtbare Ölverfärbung (z.B. milchiges oder dunkles Aussehen) oder übermäßiger Ölverbrauch, was auf Kontamination oder interne Lecks hindeutet.
Technische Hinweise
  • Strikte Ölanalysen und Wechselintervalle unter Verwendung von herstellere mpfohlenen Hochvakuumölen implementieren, kombiniert mit korrekter Gasballastung zur Entfernung von Kondensaten und Aufrechterhaltung der Ölreinheit.
  • Präzise Ausrichtung während der Installation sicherstellen, Vibrationsüberwachung zur Früherkennung von Lagerproblemen einsetzen und konsequente Kühlung zur Vermeidung thermischer Überlastung und Verlängerung der Lebensdauer mechanischer Komponenten gewährleisten.

Compliance & Manufacturing Standards

Reference Standards
ISO 21360-1:2019 Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der VakuumpumpenleistungANSI/AVS 4.1-2003(R2014) Prüfverfahren für VerdrängervakuumpumpenDIN 28400-1:2012 Vakuumtechnik - Abnahmebedingungen für Vakuumpumpen - Teil 1: Messung der Leistungskennwerte
Manufacturing Precision
  • Laufradspiel: +/-0,01 mm
  • Dichtflächenebenheit: 0,05 mm
Quality Inspection
  • Heliumlecktest (Vakuumdichtheit)
  • Schwingungsanalyse (Rotationsauswuchtung)

Hersteller, die dieses Produkt fertigen

Herstellerprofile mit passender Produktionsfähigkeit in China.

Die Herstellerliste dient der Vorrecherche und Einordnung von Fertigungskapazitäten. Sie ist keine Zertifizierung, kein Ranking und keine Transaktionsgarantie.

Beispielhafte Bewertungskriterien aus Einkaufsprozessen

Keine Kundenbewertung und keine Echtzeitdaten. Die Werte zeigen typische Prüfkriterien in RFQ- und Lieferantenbewertungsprozessen.

Technische Dokumentation
4/5
Fertigungsfähigkeit
4/5
Prüfbarkeit
5/5
Lieferantentransparenz
3/5

Die Kriterien dienen als Orientierung für technische Einkaufsprüfungen. Konkrete Kunden, Länder, Bewertungsdaten oder Live-Nachfragen werden nur angezeigt, wenn entsprechende belastbare Daten vorliegen.

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Häufige Fragen

Welche Druckniveaus kann diese Hochvakuumpumpe erreichen?

Diese Pumpe ist darauf ausgelegt, Druckniveaus unter 10^-3 mbar (Millibar) zu erreichen und aufrechtzuerhalten, was sie für Anwendungen geeignet macht, die sehr niedrige Vakuumbedingungen in industriellen Umgebungen erfordern.

Welche Materialien werden im Bau dieser Vakuumpumpe verwendet?

Die Pumpe ist aus langlebigen Materialien gefertigt, darunter Edelstahl für Korrosionsbeständigkeit, Aluminiumlegierungen für leichte Komponenten und spezialisierte Keramiken für verschleißfeste Teile in den Lager- und Dichtungssystemen.

Was sind die Hauptkomponenten in der Stückliste (BOM)?

Die primären BOM-Komponenten sind der Rotor (rotierendes Element), der Stator (stationäres Gehäuse) und das Lagersystem, die zusammenarbeiten, um durch präzisen mechanischen Betrieb das Hochvakuum zu erzeugen und aufrechtzuerhalten.

Kann ich Hersteller direkt kontaktieren?

CNFX ist ein offenes Verzeichnis, keine Handelsplattform und kein Beschaffungsagent. Herstellerprofile und Formulare helfen bei der Vorbereitung des direkten Kontakts.

CNFX Industrial Index v2.6.05 · Maschinen- und Anlagenbau

Datenbasis

CNFX-Herstellerprofile, technische Klassifikation, öffentlich verfügbare Produktinformationen und fortlaufende Plausibilitätsprüfung.

Vorläufige technische Einordnung
Diese Seite dient der strukturierten Vorbereitung von Recherche, RFQ und Lieferantenbewertung. Sie ersetzt keine Lieferantenqualifizierung, keine Normenprüfung und keine technische Freigabe durch den Käufer.

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